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极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备
被引量：
3
1
作者
匡尚奇
李硕
+2 位作者
杨海贵
霍同林
周洪军
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第10期2395-2406,共12页
极紫外(EUV)宽带多层膜的光谱性能对膜厚控制精度要求较高,仅由时间控制膜厚的镀膜系统难以满足其精度控制要求。本文提出了基于进化算法的宽带EUV多层膜离散化膜系设计方法,与传统膜系设计相比,离散化膜系所制备多层膜具有更为优良的EU...
极紫外(EUV)宽带多层膜的光谱性能对膜厚控制精度要求较高,仅由时间控制膜厚的镀膜系统难以满足其精度控制要求。本文提出了基于进化算法的宽带EUV多层膜离散化膜系设计方法,与传统膜系设计相比,离散化膜系所制备多层膜具有更为优良的EUV反射光谱性能。为验证离散化膜系设计在宽带EUV多层膜研制中的优越性,采用磁控溅射方法对具有离散化膜系的宽带多层膜反射镜进行了制备和测试。测试结果表明:研制的宽角度多层膜反射镜可实现入射角带宽为0°～17°,高于41%的反射率;研制的堆栈宽角度多层膜反射镜可实现入射角带宽为0°～18.5°,高于35%的反射率;研制的宽光谱多层膜反射镜可实现波长带宽为12.9～14.9 nm,高于21%的反射率。
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关键词
多层
膜
设计
极紫外
离散化设计
宽带多层膜
在线阅读
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职称材料
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用
被引量：
4
2
作者
匡尚奇
张超
+2 位作者
王一名
周祥燕
谢耀
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第8期2046-2056,共11页
为提高基于量子进化算法(QEA)在宽带极紫外(EUV)多层膜设计中的求解效率和精度,本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA,建立具有明确进化方向的适用于宽带EUV多层膜设计的改进型量子进化算法(IQEA)。对比分析了基于IQE...
为提高基于量子进化算法(QEA)在宽带极紫外(EUV)多层膜设计中的求解效率和精度,本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA,建立具有明确进化方向的适用于宽带EUV多层膜设计的改进型量子进化算法(IQEA)。对比分析了基于IQEA和QEA的宽带Mo/Si多层膜的膜系设计过程和结果,结果表明,基于IQEA的多层膜膜系设计理论方法具有更优越的求解效率和精度;同时,IQEA同样可以小种群规模进行多参数优化。基于IQEA的宽带Mo/Si多层膜的设计理论实现了包括入射角为0°~18°,反射率达50%的宽角度多层膜,以及反射光谱带宽为13~15nm,反射率达25%的宽光谱多层膜的设计。基于IQEA的宽带高反射率EUV多层膜的理论膜系设计方法为复杂多层膜的理论设计提供了一种可供选择的高效膜系设计方法。
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关键词
薄
膜
光学
多层
膜
设计
改进型量子进化算法
宽带
极紫外
多层
膜
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职称材料
基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制
3
作者
匡尚奇
张超
+3 位作者
李硕
杨海贵
霍同林
周洪军
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第4期46-54,共9页
提出了一种基于量子遗传算法的宽带极紫外多层膜的离散化设计方法,解决了在膜系设计中普遍采用的遗传算法存在求解精度低的问题.同时在基于量子遗传算法的膜系设计方法中对膜系进行了离散化设计,解决了在仅由时间控制膜厚且沉积速率较...
提出了一种基于量子遗传算法的宽带极紫外多层膜的离散化设计方法,解决了在膜系设计中普遍采用的遗传算法存在求解精度低的问题.同时在基于量子遗传算法的膜系设计方法中对膜系进行了离散化设计,解决了在仅由时间控制膜厚且沉积速率较大的镀膜系统中的膜厚高精度控制的问题.依据量子遗传算法的膜系设计结果采用磁控溅射镀膜系统镀制宽带极紫外多层膜.测试结果表明,宽角度极紫外多层膜的入射角为0°~15°,反射率达45%以上;宽光谱极紫外多层膜的入射波长为13~15nm,反射率达20%以上.相关研究工作为宽带极紫外多层膜的研发提供了另一种可供选择的且较优的搜索优化算法,同时该算法结合实验,实现膜厚的离散化设计,使镀制出的多层膜具有较好的光谱性能.
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关键词
光学
多层
膜
膜
系设计
量子遗传算法
宽带
极紫外
多层
膜
离散化设计
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职称材料
题名
极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备
被引量：
3
1
作者
匡尚奇
李硕
杨海贵
霍同林
周洪军
机构
长春理工大学理学院
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第10期2395-2406,共12页
基金
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.61405189)
吉林省科技发展计划资助项目(No.20150101019JC
20170312024ZG)
文摘
极紫外(EUV)宽带多层膜的光谱性能对膜厚控制精度要求较高,仅由时间控制膜厚的镀膜系统难以满足其精度控制要求。本文提出了基于进化算法的宽带EUV多层膜离散化膜系设计方法,与传统膜系设计相比,离散化膜系所制备多层膜具有更为优良的EUV反射光谱性能。为验证离散化膜系设计在宽带EUV多层膜研制中的优越性,采用磁控溅射方法对具有离散化膜系的宽带多层膜反射镜进行了制备和测试。测试结果表明:研制的宽角度多层膜反射镜可实现入射角带宽为0°～17°,高于41%的反射率;研制的堆栈宽角度多层膜反射镜可实现入射角带宽为0°～18.5°,高于35%的反射率;研制的宽光谱多层膜反射镜可实现波长带宽为12.9～14.9 nm,高于21%的反射率。
关键词
多层
膜
设计
极紫外
离散化设计
宽带多层膜
Keywords
multilayer design
extreme ultraviolet
discrete design
broadband multilayer
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用
被引量：
4
2
作者
匡尚奇
张超
王一名
周祥燕
谢耀
机构
长春理工大学理学院
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第8期2046-2056,共11页
基金
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.61405189)
吉林省科技发展计划资助项目(No.20150101019JC
20170312024ZG)
文摘
为提高基于量子进化算法(QEA)在宽带极紫外(EUV)多层膜设计中的求解效率和精度,本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA,建立具有明确进化方向的适用于宽带EUV多层膜设计的改进型量子进化算法(IQEA)。对比分析了基于IQEA和QEA的宽带Mo/Si多层膜的膜系设计过程和结果,结果表明,基于IQEA的多层膜膜系设计理论方法具有更优越的求解效率和精度;同时,IQEA同样可以小种群规模进行多参数优化。基于IQEA的宽带Mo/Si多层膜的设计理论实现了包括入射角为0°~18°,反射率达50%的宽角度多层膜,以及反射光谱带宽为13~15nm,反射率达25%的宽光谱多层膜的设计。基于IQEA的宽带高反射率EUV多层膜的理论膜系设计方法为复杂多层膜的理论设计提供了一种可供选择的高效膜系设计方法。
关键词
薄
膜
光学
多层
膜
设计
改进型量子进化算法
宽带
极紫外
多层
膜
Keywords
film optics
design of multilayer coatings
improved quantum evolutionary algorithm
broadband EUV multilayer
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制
3
作者
匡尚奇
张超
李硕
杨海贵
霍同林
周洪军
机构
长春理工大学理学院
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第4期46-54,共9页
基金
国家自然科学基金青年基金(No.61405189)
吉林省科技发展计划(Nos.20150101019JC
20170312024ZG)资助~~
文摘
提出了一种基于量子遗传算法的宽带极紫外多层膜的离散化设计方法,解决了在膜系设计中普遍采用的遗传算法存在求解精度低的问题.同时在基于量子遗传算法的膜系设计方法中对膜系进行了离散化设计,解决了在仅由时间控制膜厚且沉积速率较大的镀膜系统中的膜厚高精度控制的问题.依据量子遗传算法的膜系设计结果采用磁控溅射镀膜系统镀制宽带极紫外多层膜.测试结果表明,宽角度极紫外多层膜的入射角为0°~15°,反射率达45%以上;宽光谱极紫外多层膜的入射波长为13~15nm,反射率达20%以上.相关研究工作为宽带极紫外多层膜的研发提供了另一种可供选择的且较优的搜索优化算法,同时该算法结合实验,实现膜厚的离散化设计,使镀制出的多层膜具有较好的光谱性能.
关键词
光学
多层
膜
膜
系设计
量子遗传算法
宽带
极紫外
多层
膜
离散化设计
Keywords
Optic multilayer
Design of multilayer coating
Quantum state genetic algorithm
Broadband extreme-ultraviolet multilayer
Discrete design
分类号
O434 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备
匡尚奇
李硕
杨海贵
霍同林
周洪军
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用
匡尚奇
张超
王一名
周祥燕
谢耀
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
4
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职称材料
3
基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制
匡尚奇
张超
李硕
杨海贵
霍同林
周洪军
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
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