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题名红外超宽带分光镜研究
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作者
张静
孙文瀚
付秀华
潘永刚
王奔
林兆文
石澎
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机构
长春理工大学光电工程学院
长春理工大学中山研究院光电工程学院
中山火炬职业技术学院光电信息学院
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出处
《应用光学》
CAS
北大核心
2024年第6期1270-1276,共7页
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基金
国家自然科学基金(11973040)
中山市社会公益科技研究项目(2022B2005)
长春市激光智造与检测装备科技创新中心长科技合(2014219)。
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文摘
超宽带分光镜是光谱分析系统中不可缺少的光学元件,其性能直接影响傅里叶红外光谱仪的测试精度。依据光学薄膜理论,选用Ge、ZnSe和YbF_(3)作为镀膜材料,结合基板实际光谱曲线,通过光谱补偿设计方法,结合TFC软件完成膜系设计。采用电子束蒸发离子束辅助沉积技术进行薄膜制备,通过优化沉积工艺,解决了分光镜制备过程中膜厚控制误差大导致光谱差的问题。使用Spectrum Two傅里叶红外光谱仪进行检测,在45°入射时,2.5μm~20μm波段的平均分光比为52:45.5,且环境测试结果显示,分光镜具有良好的稳定性。
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关键词
光学薄膜
宽光谱红外分光镜
光谱分析
膜厚误差
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Keywords
optical film
wide-spectrum infrared spectroscope
spectral analysis
film thickness error
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分类号
TN206
[电子电信—物理电子学]
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