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高功率激光宽光谱减反膜的溶胶-凝胶旋转法制备工艺
被引量：
4
1
作者
魏芸
吕海兵
+3 位作者
蒋晓东
唐灿
任寰
李珂
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第7期647-650,共4页
采用溶胶 凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅 SiO2双层减反膜。考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺。透射...
采用溶胶 凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅 SiO2双层减反膜。考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺。透射光谱测量表明,采用本文工艺条件制备的有机硅 SiO2双层膜在430～800nm范围内透射率达99%以上。
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关键词
溶胶-凝胶法
高功率激光
宽光谱减反膜
制备工艺
SIO2
二氧化硅
旋转镀
膜
工艺
有机硅薄
膜
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职称材料
题名
高功率激光宽光谱减反膜的溶胶-凝胶旋转法制备工艺
被引量：
4
1
作者
魏芸
吕海兵
蒋晓东
唐灿
任寰
李珂
机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第7期647-650,共4页
基金
国家自然科学基金重点项目资助课题(2013304)
中国工程物理研究院预研基金资助课题(421020607)
文摘
采用溶胶 凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅 SiO2双层减反膜。考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺。透射光谱测量表明,采用本文工艺条件制备的有机硅 SiO2双层膜在430～800nm范围内透射率达99%以上。
关键词
溶胶-凝胶法
高功率激光
宽光谱减反膜
制备工艺
SIO2
二氧化硅
旋转镀
膜
工艺
有机硅薄
膜
Keywords
Sol-gel spin coating
SiO_2 antireflective film
Broadband antireflective film
High power lasers
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
TN249 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
高功率激光宽光谱减反膜的溶胶-凝胶旋转法制备工艺
魏芸
吕海兵
蒋晓东
唐灿
任寰
李珂
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
4
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