期刊文献+
共找到10篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
容性耦合射频(CCRF)放电等离子体特性实验研究 被引量:6
1
作者 黄建军 刘正之 +1 位作者 梁荣庆 D.Teuner 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期408-411,共4页
利用自行研制的传感器和测量装置 ,通过对射频放电电压电流以及其相位角的测定 ,算出放电管的总阻抗 ,结合放电管的等效电路 ,对容性耦合射频 (CCRF)激励激光器放电特性进行研究 ,得出容性耦合射频激励激光器等离子体的伏安特性的曲线 ... 利用自行研制的传感器和测量装置 ,通过对射频放电电压电流以及其相位角的测定 ,算出放电管的总阻抗 ,结合放电管的等效电路 ,对容性耦合射频 (CCRF)激励激光器放电特性进行研究 ,得出容性耦合射频激励激光器等离子体的伏安特性的曲线 ,以及等离子体电阻、容抗与气体压强、放电电流之间的实验曲线 ,在Godyak射频放电模型的基础上得出等离子体的电子密度 ,并同内置铜电极射频激励铜离子激光器阻抗特性进行了比较。 展开更多
关键词 容性耦合射频放电 等离子体 实验研究 等效电路模型 放电特性
在线阅读 下载PDF
容性耦合射频放电等离子体的仿真模拟与实验诊断研究 被引量:20
2
作者 朱寒 何湘 +1 位作者 陈秉岩 陈建平 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第16期3504-3511,共8页
针对工业生产与军事应用上低气压、低温非热平衡等离子体的制备和实验诊断问题,采用COMSOL软件等离子体模块进行仿真模拟,建立容性耦合射频等离子体放电的一维流体模型,设定He气为工作气体,数值研究不同电压、不同气压条件下等离子体电... 针对工业生产与军事应用上低气压、低温非热平衡等离子体的制备和实验诊断问题,采用COMSOL软件等离子体模块进行仿真模拟,建立容性耦合射频等离子体放电的一维流体模型,设定He气为工作气体,数值研究不同电压、不同气压条件下等离子体电子数密度和电子温度的轴向分布。搭建等离子体产生及诊断实验平台,根据均匀射频放电的等效回路计算得到电子密度ne与电子温度Te,将所得数据与流体模型仿真模拟相比较,得到了一致的结果。研究表明:当气体压强为100~250Pa时,极板间电子密度沿轴向先增大后减小,平均电子密度随驱动电压与输入功率的增加而增加;电子温度在极板中心处取得最小值,极板边缘存在两个峰值,平均电子温度仅是气压与腔体尺寸的函数,随驱动电压和功率的变化不明显,仅随气压的增大而减小。随着输入功率的增加,电子密度由逐渐上升转变为迅速上升,且在不同气压下这种电子密度的跃变出现在不同的电压幅值处,这标志着容性耦合放电中的α-γ模式转变。所得结论扩大了模拟仿真与实验快速无干扰诊断的应用范围,为进一步研究低温等离子体放电性质提供了技术支持。 展开更多
关键词 容性耦合射频放电 等离子体 实验诊断 COMSOL仿真
在线阅读 下载PDF
容性耦合射频氩等离子体放电诊断研究及仿真模拟 被引量:6
3
作者 庞佳鑫 何湘 +2 位作者 陈秉岩 刘冲 朱寒 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期8-15,共8页
针对中等气压、中等功率下射频容性耦合(CCRF)等离子体的放电特性,采用基于流体模型的COMSOL软件仿真,建立一维等离子体放电模型,以Ar为工作气体,研究同一气压时不同射频输入功率下等离子体电子温度和电子密度的分布规律。同时依据仿真... 针对中等气压、中等功率下射频容性耦合(CCRF)等离子体的放电特性,采用基于流体模型的COMSOL软件仿真,建立一维等离子体放电模型,以Ar为工作气体,研究同一气压时不同射频输入功率下等离子体电子温度和电子密度的分布规律。同时依据仿真模型设计制作相同尺寸的密闭玻璃腔体和平板电极,实验测量了不同射频输入功率时放电等离子体的有效电流电压及发射光谱,进而计算等离子体的电子温度及电子密度;利用玻耳兹曼双线测温法,得到光谱法下等离子体的电子温度及电子密度。结果表明:当气体压强为250Pa、输入功率为100~450W时,等离子体电压电流呈线性关系,电子密度随功率的增大而增大,而电子温度并未随功率的变化而有明显变化,其与功率无关。运用仿真模拟验证了实验的准确性,通过比较,三种方法所得的结果相近。通过结合等效回路法、光谱法和数值模拟仿真法初步诊断出中等气压下等离子体的放电参数,提出了结合三种方法作为实验研究的方法,使实验结果更具说服力,证明其方法的可靠性,也为进一步的等离子体特性研究提供依据。 展开更多
关键词 容性耦合射频放电 等离子体 COMSOL仿真模拟 光谱法诊断 等效电路法
在线阅读 下载PDF
氢气甚高频与高频容性耦合放电等离子体特征的比较
4
作者 姚福宝 郝莹莹 +1 位作者 张连珠 赵海涛 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期320-326,共7页
开发了氢气甚高频(60MHz)容性耦合放电的PIC/MC模型。在模型中考虑了带电粒子(e,H+,H2+,H3+)与H2的21种碰撞反应过程,模拟了氢气甚高频放电射频电场和电势分布以及电子和氢离子(H+,H2+,H3+)粒子密度和平均能量分布,并与频率为13.56MHz... 开发了氢气甚高频(60MHz)容性耦合放电的PIC/MC模型。在模型中考虑了带电粒子(e,H+,H2+,H3+)与H2的21种碰撞反应过程,模拟了氢气甚高频放电射频电场和电势分布以及电子和氢离子(H+,H2+,H3+)粒子密度和平均能量分布,并与频率为13.56MHz的放电结果进行了比较。结果表明,相对于频率13.56MHz的放电,氢气甚高频放电等离子体电势增高,导致两电极附近的电场增强;另外,两鞘层厚度变窄并且电子和H3+离子平均能量减小,其总密度却增加。H3+离子为氢气甚高频放电空间的主要离子,H2+离子密度比H3+离子小约2~3个数量级。 展开更多
关键词 氢气甚高频容性耦合放电 PIC/MC模拟 H2等离子体
在线阅读 下载PDF
基于空心电极增强的容性耦合射频等离子体特性 被引量:2
5
作者 白志丽 何锋 +3 位作者 李佩贞 贺柳良 缪劲松 欧阳吉庭 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期4069-4076,共8页
为了提高容性耦合射频放电所产生的等离子体密度,在射频放电中利用空心电极结构替代平板电极,实验研究射频空心电极放电的等离子体特性。利用Langmuir探针诊断了电极间距、孔径和孔深对等离子体电子数密度的影响,并且对不同放电参数下... 为了提高容性耦合射频放电所产生的等离子体密度,在射频放电中利用空心电极结构替代平板电极,实验研究射频空心电极放电的等离子体特性。利用Langmuir探针诊断了电极间距、孔径和孔深对等离子体电子数密度的影响,并且对不同放电参数下空心电极上的自偏压进行了比较。实验结果表明:当空心电极孔径d=20 mm、电极间距L=3 cm、孔深h=3 mm、气压p为50~300 Pa时,在孔外获得的等离子体电子数密度最高,约为10^17~10^18m^-3。同时实验测得不同放电参数下射频空心电极上的自偏压也完全与鞘电压分布的"面积比"规律相符,即小电极处的鞘电压更高。射频振荡加热和空心阴极效应相互耦合能够产生稳定性好、电离率高、密度高的等离子体,电极几何参数和自偏压对获得高密度等离子体有着重要的影响。 展开更多
关键词 容性耦合射频放电 空心电极 放电参数 电子密度 自偏压
在线阅读 下载PDF
一种基于提高安全生产水平的放电棒设计
6
作者 方文田 李斯琳 《农村电气化》 2023年第8期77-80,共4页
为提高电力安全生产水平,消除高压容性设备残余电荷对设备运维人员造成的威胁,分析了容性设备放电模型,提出了一种具接地自检与放电过程可视化的放电棒设计,该放电棒采用穿芯设计,便于拆卸;具有接地通路自检功能,保证了放电回路的导通;... 为提高电力安全生产水平,消除高压容性设备残余电荷对设备运维人员造成的威胁,分析了容性设备放电模型,提出了一种具接地自检与放电过程可视化的放电棒设计,该放电棒采用穿芯设计,便于拆卸;具有接地通路自检功能,保证了放电回路的导通;最终利用数据拟合算法实现了放电指示功能,极大程度提高了安全生产水平。 展开更多
关键词 放电 容性设备放电 电力安全生产
在线阅读 下载PDF
基于先进等离子体的低温钝化氮化硅薄膜的研究 被引量:2
7
作者 周晶晶 肖少庆 +1 位作者 姚尧 顾晓峰 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期623-628,共6页
本文利用容性放电模式(E-mode)的电感耦合等离子体(ICP)化学气相沉积技术,在低温(100℃)下采用硅烷(Si H_4)、氮气(N_2)和氢气(H_2)作为先驱反应气体制备氢化氮化硅薄膜(Si Nx∶H),并通过傅里叶红外光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)和X... 本文利用容性放电模式(E-mode)的电感耦合等离子体(ICP)化学气相沉积技术,在低温(100℃)下采用硅烷(Si H_4)、氮气(N_2)和氢气(H_2)作为先驱反应气体制备氢化氮化硅薄膜(Si Nx∶H),并通过傅里叶红外光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的键结构、键密度、氢含量以及化学组成进行表征。采用少子寿命测试仪(Sinton WCT-120)研究薄膜在n型晶硅表面的钝化效果。结果表明,氮硅原子比为0.4的Si N0.4∶H薄膜具有最高的氢含量,高达29%,而且其钝化效果最好。最高少子寿命达到251μs,表面复合速率降低至85 cm/s,Suns-Voc测到的提示开路电压达到652 m V。 展开更多
关键词 SINX 等离子体化学气相沉积 表面钝化 容性放电
在线阅读 下载PDF
High-performance porous carbon for supercapacitors prepared by one-step pyrolysis of PF/gelatin blends 被引量:1
8
作者 易斌 陈小华 +4 位作者 刘云泉 郭凯敏 陈传盛 曾斌 龙慧 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2012年第1期41-45,共5页
A high-performance porous carbon material for supercapacitor electrodes was prepared by using a polymer blend method. Phenol-formaldehyde resin and gelatin were used as carbon precursor polymer and pore former polymer... A high-performance porous carbon material for supercapacitor electrodes was prepared by using a polymer blend method. Phenol-formaldehyde resin and gelatin were used as carbon precursor polymer and pore former polymer, respectively. The blends were carbonized at 800℃ in nitrogen. SEM, BET measurement and BJH method reveal that the obtained carbon possesses a mesoporous characteristic, with the average pore size between 3.0 nm and 5.0 nm. The electrochemical properties of supercapacitor using these carbons as electrode material were investigated by cyclic voltammetry and constant current charge-discharge. The results indicate that the composition of blended polymers has a strong effect on the specific capacitance. When the mass ratio of PF to gelatin is kept at 1:1, the largest surface area of 222 m2/g is obtained, and the specific capacitance reaches 161 F/g. 展开更多
关键词 mesoporous carbon polymer blend SUPERCAPACITOR PSEUDOCAPACITANCE electrochemical properties
在线阅读 下载PDF
Structure and electrochemical hydrogen storage characteristics of La_(0.8-x)Pr_xMg_(0.2)Ni_(3.15)Co_(0.2)Al_(0.1)Si_(0.05) (x=0-0.4) electrode alloys 被引量:3
9
作者 张羊换 侯忠辉 +3 位作者 杨泰 张国芳 李霞 赵栋梁 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2013年第5期1142-1150,共9页
For the purpose of improving the electrochemical cycle stability of the La-Mg-Ni based A2BT-type electrode alloys, both reducing Mg content and substituting La with Pr were adopted. The Lao.8-xPrxMg0.2Ni3.15Co0.2A10.1... For the purpose of improving the electrochemical cycle stability of the La-Mg-Ni based A2BT-type electrode alloys, both reducing Mg content and substituting La with Pr were adopted. The Lao.8-xPrxMg0.2Ni3.15Co0.2A10.1Si0.05 (x=0, 0.1, 0.2, 0.3, 0.4) electrode alloys were fabricated by casting and annealing. The investigation on the structures and electrochemical performances of the alloys was performed. The obtained results reveal that the as-cast and annealed alloys comprise two major phases, (La, Mg)2Ni7 phase with the hexagonal Ce2NiT-type structure and LaNi5 phase with the hexagonal CaCus-type structure, as well as a little residual LaNi3 phase. It is also found that the addition of Pr element observably affects the electrochemical hydrogen storage characteristics of the alloys, just as the discharge capacity and high rate discharge ability (HRD) first rise then fall with the growing of Pr content, and among all the alloys, the as-cast and annealed (x=0.3) alloys generate the largest discharge capacities of 360.8 and 386.5 mA.h/g, respectively. Additionally, the electrochemical cycle stability of all the alloys markedly grows with the increase of Pr content. The capacity retaining rate (S100) at the 100th charging and discharging cycle is enhanced from 64.98% to 77.55% for the as-cast alloy, and from 76.60% to 95.72% for the as-annealed alloy by rising Pr content from 0 to 0.4. Furthermore, the substitution of Pr for La results in first increase and then decrease in the hydrogen diffusion coefficient (D), the limiting current density (IL) as well as the electrochemical impedance. 展开更多
关键词 A2B7-type electrode alloy LA PR STRUCTURE electrochemical performances
在线阅读 下载PDF
Liquid-phase preparation and electrochemical property of LiFePO_4/C nanowires 被引量:2
10
作者 田俐 陈琳 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2014年第2期477-481,共5页
Olivine LiFePO4/C nanowires have been successfully synthesized by a simple and eco-friendly solution preparation.The phase,structure,morphology and composition of the as-prepared products were characterized by powder ... Olivine LiFePO4/C nanowires have been successfully synthesized by a simple and eco-friendly solution preparation.The phase,structure,morphology and composition of the as-prepared products were characterized by powder X-ray diffraction(XRD),scanning electron microscopy(SEM),thermogravimetric and differential-thermogravimetric analysis(TG-DTA) and energy dispersive X-ray spectrometry(EDS) techniques,showing uniform nanowire shape of LiFePO4/C with a diameter of 80-150 nm and a length of several microns.The heat-treated LiFePO4/C nanowires show excellent electrochemical properties of specific discharge capacity,rate capacity and cycling stability.In particular,the LiFePO4/C nanowires heat-treated at 400 °C show preferable first discharge specific capacity of 161 mA·h/g at 0.1C rate,while the voltage platform is 3.4 V and the first discharge specific capacity is 93 mA·h/g at 20C rate.The specific capacity retention is 98% after 50 cycles at 5C rate. 展开更多
关键词 liquid-phase preparation LIFEPO4 NANOWIRES electrochemical property
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部