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一种应用于激光干涉仪的等比例偏移定量准直装置 被引量:6
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作者 刘红光 路瑞军 +3 位作者 李青 李凌梅 李元耀 陈洁 《计量学报》 CSCD 北大核心 2018年第6期801-803,共3页
设计一种用于激光干涉仪的等比例偏移定量调整的准直装置,利用该装置可以方便快捷、精准定量、一次性实现光路准直。实验表明:对于校准坐标测量机单轴6 m的定位误差,利用该装置调整准直光路的方法只需要调整一次,所用时间小于2 min。
关键词 计量学 激光干涉仪 等比例偏移 定量准直装置
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