期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器研究
被引量：
1
1
作者
李刘合
夏立芳
+3 位作者
马欣新
孙跃
李光
于伟东
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1999年第3期207-212,共6页
介绍了一种新型无辅助阳极式磁过滤器的基本结构 ,测量了在弯曲弧磁过滤器出口处的离子分布规律。SEM分析表明 ,无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器消除了等离子体中的宏观粒子团。采用无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器在玻璃基体上镀铜可以使表面...
介绍了一种新型无辅助阳极式磁过滤器的基本结构 ,测量了在弯曲弧磁过滤器出口处的离子分布规律。SEM分析表明 ,无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器消除了等离子体中的宏观粒子团。采用无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器在玻璃基体上镀铜可以使表面粗糙度Ra 从 0 44 μm降低到 0 0 0 3μm。
展开更多
关键词
真空阴极弧
离子镀
磁过滤器
宏观粒子团
薄膜
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器研究
被引量：
1
1
作者
李刘合
夏立芳
马欣新
孙跃
李光
于伟东
机构
哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1999年第3期207-212,共6页
文摘
介绍了一种新型无辅助阳极式磁过滤器的基本结构 ,测量了在弯曲弧磁过滤器出口处的离子分布规律。SEM分析表明 ,无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器消除了等离子体中的宏观粒子团。采用无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器在玻璃基体上镀铜可以使表面粗糙度Ra 从 0 44 μm降低到 0 0 0 3μm。
关键词
真空阴极弧
离子镀
磁过滤器
宏观粒子团
薄膜
Keywords
Vacuum cathodic arc deposition,Magnetic filter,Macroparticle
分类号
TN305.8 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器研究
李刘合
夏立芳
马欣新
孙跃
李光
于伟东
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1999
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
