检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

超高加速度宏微运动平台连接臂瞬态分析及优化设计: 1; 作者张璐凡孙贺贺 +4 位作者闫恒张鹏启李兴冲李奥楠席政扬《机床与液压》北大核心 2025年第6期16-20,共5页; 对超高加速度宏微运动平台柔性定位平台的连接臂进行优化设计,以提高定位过程中的稳定性和寿命。在SolidWorks中构建三维模型,将模型进行参数化后导入Workbench中,通过静力分析得到最大总变形云图和等效应力云图,通过nCode模块得到疲劳... 展开更多; 关键词超高加速度宏微运动平台瞬态动力学超精密定位响应面优化疲劳寿命; 在线阅读下载PDF 职称材料

宏微定位平台运动切换减振问题研究态势被引量：1: 2; 作者张揽宇高健《制造技术与机床》北大核心 2014年第11期48-54,共7页; 高速高精密定位平台是微电子制造装备领域的核心部件,决定着微电子产品的性能与质量。近年来,宏微复合定位平台技术得到了快速发展,高速度与高精密度等性能不断提升,然而,运动切换环节的振动问题也日益凸显,成为制约宏微定位平台进一步... 展开更多; 关键词微电子制造装备宏微高速高精密定位平台运动切换环节减振压电陶瓷主动减振; 在线阅读下载PDF 职称材料

超高加速宏微运动平台研发设计动态被引量：1: 3; 作者马兵张璐凡 +3 位作者吕彭民聂福全周强刘永刚《机械设计》 CSCD 北大核心 2020年第S01期19-23,共5页; 随着微电子制造业装备对加速度和精度的要求的不断提高,宏微运动平台作为微电子制造业的关键设备,突破加速度和提高重复定位精度是宏微运动平台热点研究的核心问题。因此,面向超高加速超精密定位宏微运动平台的研发凸显的尤为重要。文... 展开更多; 关键词微电子制造业宏微运动平台超高加速超精密定位关键技术与发展方向; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种应用正态分布理论的直线超声电机精密定位控制方法被引量：14: 4; 作者周丽平孙志峻 +1 位作者张泉郭语《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第27期60-65,183,共6页; 针对直线超声电机在精密驱动过程中存在较强的非线性、时变性及控制模型复杂等问题,提出了一种基于正态分布理论统计直线超声电机驱动电压与速度/位移关系的方法,结合模糊逻辑控制技术,实现了对直线超声电机精密定位控制。利用宏微驱动... 展开更多; 关键词直线超声电机定位平台宏微驱动大行程精密定位; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于Hexapod的精密跟瞄平台研究被引量：4: 5; 作者李伟鹏黄海《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期681-686,共6页; 针对精密光学设备的空间应用,设计了基于并联机构的空间高稳定精密跟瞄系统。利用所设计的宏/微双重驱动复合作动器和精密铰接元件,研制了精密跟瞄Hexapod平台原理样机,考虑到精密跟瞄系统的特点,开发了包括宏动控制系统、微动控制系统... 展开更多; 关键词 HEXAPOD 跟瞄平台宏微双重驱动精密定位振动控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超高加速度宏微运动平台连接臂瞬态分析及优化设计: 1; 作者张璐凡孙贺贺闫恒张鹏启李兴冲李奥楠席政扬; 机构河南工业大学机电工程学院; 出处《机床与液压》北大核心 2025年第6期16-20,共5页; 基金国家自然科学基金青年科学基金项目(51705132) 河南省科技厅自然科学项目(222102220088) 河南省教育厅自然科学项目(21A460006)。; 文摘对超高加速度宏微运动平台柔性定位平台的连接臂进行优化设计,以提高定位过程中的稳定性和寿命。在SolidWorks中构建三维模型,将模型进行参数化后导入Workbench中,通过静力分析得到最大总变形云图和等效应力云图,通过nCode模块得到疲劳寿命云图,从而得到连接臂的危险部位;对危险部位进行优化设计,通过响应面优化法选择优化参数和优化目标;最后,从优化方案中选取最佳方案进行验证。结果表明:最大总变形降低1.1%,优化后的连接臂等效应力降低16.3%,疲劳寿命提高30.4%。通过响应面优化方法很大程度上提高了超精密定位平台的稳定性和安全性。; 关键词超高加速度宏微运动平台瞬态动力学超精密定位响应面优化疲劳寿命; Keywords ultra-high acceleration macro and micro motion platform transient dynamics ultra-precision positioning response surface optimization fatigue life; 分类号 TH132 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名宏微定位平台运动切换减振问题研究态势被引量：1: 2; 作者张揽宇高健; 机构广东工业大学机械装备制造与控制技术教育部重点实验室; 出处《制造技术与机床》北大核心 2014年第11期48-54,共7页; 基金国家自然科学基金(U1134004) 国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2011CB013104) +1 种基金广东省战略性新兴产业专项(2012A080303004); 文摘高速高精密定位平台是微电子制造装备领域的核心部件,决定着微电子产品的性能与质量。近年来,宏微复合定位平台技术得到了快速发展,高速度与高精密度等性能不断提升,然而,运动切换环节的振动问题也日益凸显,成为制约宏微定位平台进一步发展的瓶颈。基于此,首先对当前国内外宏微定位平台及其运动切换环节振动问题的研究现状进行介绍,继而分别介绍与分析了宏微定位平台系统的机构形式、驱动方式、导轨及其他因素对运动切换环节振动问题的影响,最后对目前运动切换减振方法进行概述,重点提出基于压电陶瓷的新型减振方法,以期对未来宏微定位平台运动切换的减振研究提供一定的参考作用。; 关键词微电子制造装备宏微高速高精密定位平台运动切换环节减振压电陶瓷主动减振; Keywords microelectronics manufacturing equipment macro-micro high-speed high-precision position platform vibration damping in the positioning handover active vibration damping based on PZT; 分类号 TB535.1 [理学—声学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超高加速宏微运动平台研发设计动态被引量：1: 3; 作者马兵张璐凡吕彭民聂福全周强刘永刚; 机构长安大学道路施工技术与装备教育部重点实验室河南卫华重型机械股份有限公司山西潞安煤炭技术装备有限责任公司河南工业大学机电工程学院; 出处《机械设计》 CSCD 北大核心 2020年第S01期19-23,共5页; 基金国家青年科学基金项目(51705132) 河南省科技厅自然科学项目(172102210215) +1 种基金河南工业大学青年骨干教师培育计划项目; 文摘随着微电子制造业装备对加速度和精度的要求的不断提高,宏微运动平台作为微电子制造业的关键设备,突破加速度和提高重复定位精度是宏微运动平台热点研究的核心问题。因此,面向超高加速超精密定位宏微运动平台的研发凸显的尤为重要。文中首先分析了宏微运动平台的国内外的研究现状。其次,针对加速度与重复定位精度之间存在的相对矛盾的研究基础上,对加速度与重复定位精度提升策略进行阐明。最后,阐述了超高加速宏微运动平台的研发关键技术与未来的发展方向,为进一步超高加速宏微运动平台的创新设计提供参考建议。; 关键词微电子制造业宏微运动平台超高加速超精密定位关键技术与发展方向; Keywords microelectronics manufacturing industry macro-micro motion platform ultra-high acceleration and ultra-precise positioning the core technology and development direction; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种应用正态分布理论的直线超声电机精密定位控制方法被引量：14: 4; 作者周丽平孙志峻张泉郭语; 机构南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室; 出处《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第27期60-65,183,共6页; 文摘针对直线超声电机在精密驱动过程中存在较强的非线性、时变性及控制模型复杂等问题,提出了一种基于正态分布理论统计直线超声电机驱动电压与速度/位移关系的方法,结合模糊逻辑控制技术,实现了对直线超声电机精密定位控制。利用宏微驱动控制模式对超声电机驱动的平台进行大行程、高精度定位实验研究,实验结果表明采用所提方法,当行程为5 mm时,稳态误差小于5 nm,能抑制系统的超调,改善系统动态性能。同时,由于直线超声电机动态保持力非常大,使得系统具有良好的抗扰动能力。; 关键词直线超声电机定位平台宏微驱动大行程精密定位; 分类号 TP242 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于Hexapod的精密跟瞄平台研究被引量：4: 5; 作者李伟鹏黄海; 机构北京航空航天大学宇航学院; 出处《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期681-686,共6页; 基金航天科技创新基金(CASC200902) 中国博士后科学基金(20090460188); 文摘针对精密光学设备的空间应用,设计了基于并联机构的空间高稳定精密跟瞄系统。利用所设计的宏/微双重驱动复合作动器和精密铰接元件,研制了精密跟瞄Hexapod平台原理样机,考虑到精密跟瞄系统的特点,开发了包括宏动控制系统、微动控制系统和检测系统在内的实验测试系统,并利用实验初步测试了Hexapod平台原理样机关键性能。由实验结果可知,平台原理样机的转动范围超过10°,最高开环转动速度大于5deg/s,经压电微动部分补偿后的平台静态定位误差小于5μrad,通过主动控制使扰动振幅衰减至噪声水平,可用于驱动有效载荷以较高的速度在较大范围内搜索目标并具有较好的静态定位精度和稳定性。; 关键词 HEXAPOD 跟瞄平台宏微双重驱动精密定位振动控制; Keywords Hexapod Tracking and pointing platform Macro/micro dual driving Precise positioning Vibration control; 分类号 V41 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	超高加速度宏微运动平台连接臂瞬态分析及优化设计	张璐凡孙贺贺闫恒张鹏启李兴冲李奥楠席政扬	《机床与液压》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	宏微定位平台运动切换减振问题研究态势	张揽宇高健	《制造技术与机床》北大核心	2014	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	超高加速宏微运动平台研发设计动态	马兵张璐凡吕彭民聂福全周强刘永刚	《机械设计》 CSCD 北大核心	2020	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	一种应用正态分布理论的直线超声电机精密定位控制方法	周丽平孙志峻张泉郭语	《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心	2012	14	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于Hexapod的精密跟瞄平台研究	李伟鹏黄海	《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	4	在线阅读下载PDF 职称材料