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任意奇阶和部分偶阶幻方的构造方法——宏微控制法和自我扩张法
被引量：
1
1
作者
温世清
王利达
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
1992年第4期140-144,共5页
提出了一种研究幻方的新方法——宏微控制法和自我扩张法。应用宏微控制法可以构造任何奇阶幻方;应用自我扩张法可以将一个小幻方扩展为一个大幻方(也可将小的偶阶幻方扩展为大的偶阶幻方)。本文提出的2n+1(n≥1)阶幻方的构造方法,对于3...
提出了一种研究幻方的新方法——宏微控制法和自我扩张法。应用宏微控制法可以构造任何奇阶幻方;应用自我扩张法可以将一个小幻方扩展为一个大幻方(也可将小的偶阶幻方扩展为大的偶阶幻方)。本文提出的2n+1(n≥1)阶幻方的构造方法,对于3n阶幻方也是适用的。这种方法的特点是每行、每列以及任一对角线上各数之代数和均为中位数乘以(2n+1)。
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关键词
幻方
宏微控制
法
自我扩张法
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职称材料
光刻机工件台宏微系统的滑模变结构控制
被引量：
8
2
作者
武志鹏
陈兴林
刘川
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第9期50-54,共5页
为提高光刻机工件台的跟踪精度和响应速度,采用了以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构。微动台完成高精度小行程运动,宏动台实现大行程运动同时保证音圈电机不出现位移饱和。通过滑模变结构方法设计控制器以提高控制系统的鲁棒...
为提高光刻机工件台的跟踪精度和响应速度,采用了以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构。微动台完成高精度小行程运动,宏动台实现大行程运动同时保证音圈电机不出现位移饱和。通过滑模变结构方法设计控制器以提高控制系统的鲁棒性。根据频率整型法设计了时变滑模面,可以起到低通滤波的效果。变增益切换控制律可以有效地减小抖振现象。仿真结果表明,曝光扫描过程中的最大位置偏差为8.7nm,标准差为2.2nm。扫描速度保持平稳,同时位置偏差信号的高频分量被有效抑制。
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关键词
宏微控制
最优积分滑模面
滑模
控制
工件台
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职称材料
纳米光栅动静态校准工作台
被引量：
1
3
作者
张海波
匡也
唐杨超
《计量学报》
CSCD
北大核心
2018年第4期465-470,共6页
为了改善纳米光栅校准装置校准精度、校准量程及动态频响难以兼顾的问题,采用宏微运动控制方法驱动校准装置作快速、精密、大范围运动。宏动平台由静压气浮导轨和直线电机组合而成,微动平台由柔性铰链和压电陶瓷构成。对宏动平台和微动...
为了改善纳米光栅校准装置校准精度、校准量程及动态频响难以兼顾的问题,采用宏微运动控制方法驱动校准装置作快速、精密、大范围运动。宏动平台由静压气浮导轨和直线电机组合而成,微动平台由柔性铰链和压电陶瓷构成。对宏动平台和微动平台进行动力学建模,并获得宏微运动平台的传递函数。设计微动跟随宏动和宏动跟随微动两种控制策略,并进行建模和仿真分析,利用搭建的实验平台进行了校准装置的性能测试。实验结果表明:宏动跟随微动控制策略具有较高的动态频响性能,校准装置在全行程20 mm内分辨力达到5 nm;在幅值为0.05 mm的正弦频率响应实验中,动态频响达到100 Hz,可满足纳米光栅的动静态校准要求。
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关键词
计量学
纳米光栅校准
宏
微
运动
控制
动静态校准
动力学建模
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职称材料
题名
任意奇阶和部分偶阶幻方的构造方法——宏微控制法和自我扩张法
被引量：
1
1
作者
温世清
王利达
机构
重庆第七人民医院
重庆南泉职业中学
出处
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
1992年第4期140-144,共5页
文摘
提出了一种研究幻方的新方法——宏微控制法和自我扩张法。应用宏微控制法可以构造任何奇阶幻方;应用自我扩张法可以将一个小幻方扩展为一个大幻方(也可将小的偶阶幻方扩展为大的偶阶幻方)。本文提出的2n+1(n≥1)阶幻方的构造方法,对于3n阶幻方也是适用的。这种方法的特点是每行、每列以及任一对角线上各数之代数和均为中位数乘以(2n+1)。
关键词
幻方
宏微控制
法
自我扩张法
Keywords
magic square,medians
macro-miero control method
Self-Expansion method
分类号
O156 [理学—基础数学]
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职称材料
题名
光刻机工件台宏微系统的滑模变结构控制
被引量：
8
2
作者
武志鹏
陈兴林
刘川
机构
哈尔滨工业大学控制科学与工程系
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第9期50-54,共5页
基金
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207)
文摘
为提高光刻机工件台的跟踪精度和响应速度,采用了以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构。微动台完成高精度小行程运动,宏动台实现大行程运动同时保证音圈电机不出现位移饱和。通过滑模变结构方法设计控制器以提高控制系统的鲁棒性。根据频率整型法设计了时变滑模面,可以起到低通滤波的效果。变增益切换控制律可以有效地减小抖振现象。仿真结果表明,曝光扫描过程中的最大位置偏差为8.7nm,标准差为2.2nm。扫描速度保持平稳,同时位置偏差信号的高频分量被有效抑制。
关键词
宏微控制
最优积分滑模面
滑模
控制
工件台
Keywords
macro-micro control
optimal integral sliding surface
sliding mode control
wafer stage
分类号
TP273.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
纳米光栅动静态校准工作台
被引量：
1
3
作者
张海波
匡也
唐杨超
机构
黑龙江省计量检定测试研究院
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2018年第4期465-470,共6页
基金
国家质量监督检验检疫总局科技计划项目(2016QK051)
文摘
为了改善纳米光栅校准装置校准精度、校准量程及动态频响难以兼顾的问题,采用宏微运动控制方法驱动校准装置作快速、精密、大范围运动。宏动平台由静压气浮导轨和直线电机组合而成,微动平台由柔性铰链和压电陶瓷构成。对宏动平台和微动平台进行动力学建模,并获得宏微运动平台的传递函数。设计微动跟随宏动和宏动跟随微动两种控制策略,并进行建模和仿真分析,利用搭建的实验平台进行了校准装置的性能测试。实验结果表明:宏动跟随微动控制策略具有较高的动态频响性能,校准装置在全行程20 mm内分辨力达到5 nm;在幅值为0.05 mm的正弦频率响应实验中,动态频响达到100 Hz,可满足纳米光栅的动静态校准要求。
关键词
计量学
纳米光栅校准
宏
微
运动
控制
动静态校准
动力学建模
Keywords
metrology
nanogratingr
macro/micro motion control
dynamic and static calibration
dynamic modeling
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
任意奇阶和部分偶阶幻方的构造方法——宏微控制法和自我扩张法
温世清
王利达
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
1992
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
光刻机工件台宏微系统的滑模变结构控制
武志鹏
陈兴林
刘川
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2011
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
纳米光栅动静态校准工作台
张海波
匡也
唐杨超
《计量学报》
CSCD
北大核心
2018
1
在线阅读
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职称材料
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