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超高精度定位系统及线性补偿研究
被引量：
7
1
作者
刘红忠
卢秉恒
+2 位作者
丁玉成
李寒松
严乐
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期277-281,共5页
依据一个带有宏定位和微定位的超高精度定位系统设计 ,应用弹性力学理论进行精定位台的静、动参数的分析和估算 ,确定了系统的自然频率 ,并由此设计出双伺服环的控制系统 .控制系统由 2根循环滚珠丝杠构成宏定位 ,3个压电驱动器构成微定...
依据一个带有宏定位和微定位的超高精度定位系统设计 ,应用弹性力学理论进行精定位台的静、动参数的分析和估算 ,确定了系统的自然频率 ,并由此设计出双伺服环的控制系统 .控制系统由 2根循环滚珠丝杠构成宏定位 ,3个压电驱动器构成微定位 .在系统软件中 ,采用Chebyshev数字滤波器进行去噪 ,使整个定位系统控制在 2 0 0mm的行程中 ,其定位精度达到了 8nm .对于由压电驱动器 (PZT)的迟滞和非线性特性而产生的系统重复运动误差 ,系统采用EMM (ExactModelMatching)控制策略 ,最终实现正向和反向运行的误差量比补偿前降低 5倍以上 ,使得正反向运动几乎落在同一曲线内 。
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关键词
超高精度
定位
系统
线性补偿
宏定位台
精
定位
台
双伺服控制
弹性力学
集成电路
压印光刻工艺
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职称材料
题名
超高精度定位系统及线性补偿研究
被引量：
7
1
作者
刘红忠
卢秉恒
丁玉成
李寒松
严乐
机构
西安交通大学机械工程学院
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期277-281,共5页
基金
国家"八六三"计划重点资助项目 (2 0 0 2AA42 0 0 5 0 )
国家自然科学基金资助项目 (5 0 2 75 118)
文摘
依据一个带有宏定位和微定位的超高精度定位系统设计 ,应用弹性力学理论进行精定位台的静、动参数的分析和估算 ,确定了系统的自然频率 ,并由此设计出双伺服环的控制系统 .控制系统由 2根循环滚珠丝杠构成宏定位 ,3个压电驱动器构成微定位 .在系统软件中 ,采用Chebyshev数字滤波器进行去噪 ,使整个定位系统控制在 2 0 0mm的行程中 ,其定位精度达到了 8nm .对于由压电驱动器 (PZT)的迟滞和非线性特性而产生的系统重复运动误差 ,系统采用EMM (ExactModelMatching)控制策略 ,最终实现正向和反向运行的误差量比补偿前降低 5倍以上 ,使得正反向运动几乎落在同一曲线内 。
关键词
超高精度
定位
系统
线性补偿
宏定位台
精
定位
台
双伺服控制
弹性力学
集成电路
压印光刻工艺
Keywords
Control nonlinearities
Digital filters
Hysteresis
Motors
分类号
TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
超高精度定位系统及线性补偿研究
刘红忠
卢秉恒
丁玉成
李寒松
严乐
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
7
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参考文献
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