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子孔径拼接和计算全息混合补偿检测大口径凸非球面(特邀) 被引量:7
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作者 苏航 王孝坤 +7 位作者 程强 李凌众 王晶 李雯研 吴琼 唐瓦 罗霄 张学军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第9期67-75,共9页
为了实现大口径凸非球面的高精度检测,提出了将子孔径拼接检测法和计算全息补偿检测法相结合的检测方法。由于其中心的非球面度较小,采用球面波直接检测;而外圈的非球面度较大,采用子孔径拼接和计算全息混合补偿的方法进行测量,再通过... 为了实现大口径凸非球面的高精度检测,提出了将子孔径拼接检测法和计算全息补偿检测法相结合的检测方法。由于其中心的非球面度较小,采用球面波直接检测;而外圈的非球面度较大,采用子孔径拼接和计算全息混合补偿的方法进行测量,再通过拼接算法将中心检测数据和外圈检测数据进行拼接从而得到全口径面形。结合实例对一块口径为540 mm的大口径凸非球面进行测量,并将检测结果与Luphoscan检测结果进行对比,两种方法检测面形残差的RMS值为0.019λ,自检验子孔径与拼接结果点对点相减后的RMS值为0.017λ。结果表明该方法能够实现大口径凸非球面的高精度检测。 展开更多
关键词 光学检测 大口径凸非球面 混合补偿 子孔径拼接检测 计算全息
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大口径连续相位板面形检测与评价 被引量:7
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作者 温圣林 石琦凯 +3 位作者 颜浩 张远航 杨春林 王健 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期2296-2300,共5页
基于全局最小二乘拼接算法和图像融合算法建立了连续相位板(CPP)子孔径拼接检测算法,并根据全局相关匹配原理提出采用面形残差来评价CPP的加工面形。采用高精度动态干涉仪等设备建立了相应的检测系统,并针对430mm×430mm口径CPP开... 基于全局最小二乘拼接算法和图像融合算法建立了连续相位板(CPP)子孔径拼接检测算法,并根据全局相关匹配原理提出采用面形残差来评价CPP的加工面形。采用高精度动态干涉仪等设备建立了相应的检测系统,并针对430mm×430mm口径CPP开展了数值模拟和检测实验。理论计算结果表明:系统计算误差为0.005nm。实验结果表明,整个检测系统软硬件RMS误差小于5nm,基本满足CPP面形检测要求。从而验证了CPP检测和评价的正确性和可行性。 展开更多
关键词 光学设计与制造 连续相位板 子孔径拼接检测 面形残差 惯性约束聚变
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超大口径平面反射镜的光学检测(特邀) 被引量:6
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作者 王孝坤 戚二辉 +5 位作者 胡海翔 苏航 李凌众 王晶 罗霄 张学军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第1期388-394,共7页
在简要总结了各种检测大口径反射镜难点的基础上,为了实现30 m望远镜(TMT)超大口径第三反射镜的高精度检测,提出了一种融合五棱镜扫描技术和子孔径拼接测试技术的新方法。大口径反射镜分阶段依次进行了五棱镜扫描测试和子孔径拼接检测,... 在简要总结了各种检测大口径反射镜难点的基础上,为了实现30 m望远镜(TMT)超大口径第三反射镜的高精度检测,提出了一种融合五棱镜扫描技术和子孔径拼接测试技术的新方法。大口径反射镜分阶段依次进行了五棱镜扫描测试和子孔径拼接检测,对该技术的基本原理和基础理论进行了分析和研究,制定了检测30 m望远镜第三反射镜(口径为3.5 m×2.5 m)的方案,对其测试流程、五棱镜设计、五棱镜扫描像差拟合、拼接最优化算法等进行了详细分析,并对30 m望远镜第三反射镜的原理镜进行了实验验证,其最终拼接检测面形的均方根值(RMS)和斜率均方根值(slopeRMS)分别为28.676 nm和0.97μrad。 展开更多
关键词 光学检测 超大口径平面反射镜 30 m望远镜 孔径拼接干涉检测 五棱镜扫描
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光学镜头、光学零部件
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《中国光学与应用光学》 2007年第1期5-6,共2页
关键词 非球面 于晓光 光机所 长春 吉林 光学技术 反光镜 反射镜 光学镜头 SiC 菲涅耳波带片 镜体 反射面 子孔径拼接检测 零部件
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光学元件测试与设备
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《中国光学与应用光学》 2007年第1期82-,共1页
关键词 子孔径拼接检测 光学元件 光学部件 环形孔径
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光学工艺
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《中国光学与应用光学》 2007年第2期93-95,共3页
关键词 自聚焦透镜 压印光刻 子孔径拼接检测 光刻图形 数字光刻 计算机控制光学表面成形 干法刻蚀 光刻系统 刻蚀形貌 激光直写 负性光刻胶 激光功率密度 磁流变抛光 数字波面干涉仪 曝光工艺 气囊抛光 微细加工 回转对称非球面 激光干涉仪 光学干涉仪 锥体棱镜
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