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题名氧化型垂直腔面发射激光器的常见失效模式和机理分析
被引量：6
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作者
张玉岐
左致远
阚强
赵佳
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机构
山东大学激光与红外系统集成技术教育部重点实验室
厦门市三安集成电路有限公司
中国科学院半导体研究所
山东大学信息科学与工程学院
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第2期187-209,共23页
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基金
国家重点研发计划纳米专项课题(No.2018YFA0209001)
国家重点研发计划课题(No.2018YFA0209002,No.2018YFB2200700)。
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文摘
氧化型垂直腔面发射激光器(VCSEL)在高速光通信中有着广泛的应用,应用过程中的可靠性是一个非常重要的指标,要求有高寿命和低失效率。为了更好地了解VCSEL在应用过程中的失效模式和机理,提升器件的可靠性,本文从器件设计、加工制造和应用过程等3个环节总结分析了氧化型VCSEL的常见失效模式、产生原因和机理,并提出了适当的改善措施和建议。其中,对氧化应力、静电放电和湿气腐蚀这3个主要失效因素进行了更为详细的分析。基于以上对业界研究工作的总结和分析,最后对实际工作中遇到的VCSEL失效案例进行简单的介绍,为VCSEL学者、研发设计、制造和使用人员提供一个较为全面的失效分析案例库。
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关键词
VCSEL
氧化物
失效模式和机理
可靠性
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Keywords
VCSEL
oxide
failure modes and mechanisms
reliability
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分类号
TN365
[电子电信—物理电子学]
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