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题名衬底热处理对氧化钒薄膜热稳定性的影响
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作者
王金华
朱林光
程龙
李静
董珊
赵福
陈文礼
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机构
烟台艾睿光电科技有限公司
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出处
《红外技术》
北大核心
2025年第8期937-943,共7页
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文摘
得益于高的电阻温度系数、低的噪声水平以及良好的CMOS工艺兼容性,氧化钒薄膜是目前非制冷红外探测器领域应用最广泛的热敏材料。为改善非制冷红外探测器在高温视场中的“太阳灼伤”效应,我们优化了探测器的制作流程,增加了衬底热处理工艺,同时研究了衬底热处理对氧化钒材料热稳定性的影响。研究表明,衬底热处理可以明显减少杂质类化学键的种类和数量,改善氮化硅表面的粗糙度,抑制耐温性实验后氧化钒薄膜结晶水平、应力及电阻率的恶化水平。通过对比工艺改善前后两种探测器在高温黑体辐照后输出差值随时间的变化,我们认为衬底热处理有助于提高氧化钒的热稳定性,改善非制冷红外探测器的“太阳灼伤”效应。本文为非制冷红外探测器的可靠性研究提供了新的方向和思路。
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关键词
非制冷红外探测器
氧化钒
衬底热处理
太阳灼烧效应
热稳定性
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Keywords
uncooled infrared detector
vanadium oxide
substrate thermal treatment
sun burn effect
thermostability
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分类号
TB321
[一般工业技术—材料科学与工程]
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