分布反馈太赫兹量子级联激光器实现高功率单模输出

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作者 蒋涛 湛治强 +5 位作者 杨奇 邹蕊矫 樊龙 彭丽萍 王雪敏 吴卫东 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期136-136,共1页

太赫兹量子级联激光器(THz QCL)是一种基于超晶格或耦合多量子阱中电子共振隧穿和子带间跃迁的单极光源,其辐射频率可通过能带和波函数设计进行调控,具有响应速度高、体积小、便于集成等优点。近年来,国际上多个科研团队展开了对THz QC... 太赫兹量子级联激光器(THz QCL)是一种基于超晶格或耦合多量子阱中电子共振隧穿和子带间跃迁的单极光源,其辐射频率可通过能带和波函数设计进行调控,具有响应速度高、体积小、便于集成等优点。近年来,国际上多个科研团队展开了对THz QCL的密集研究,器件性能取得了显著的进展。针对THz QCL的实际应用,目前急切需要解决两个方面的问题:第一方面,受限于严重的大气衰减、光束合成等困难,急需解决THz QCL功率输出提升的问题。第二方面,研制窄线宽、高功率单模输出的太赫兹本振源。 展开更多

关键词 太赫兹量子级联激光器 分布反馈 单模输出 子带间跃迁 大气衰减 光束合成 多量子阱 本振源

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共振声子太赫兹量子级联激光器研究(英文)

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作者 曹俊诚 黎华 吕京涛 《物理学进展》 CSCD 北大核心 2011年第1期22-45,共24页

本文综述了共振声子太赫兹(THz)量子级联激光器(QCL)载流子输运及其光电特性的研究结果。我们采用Monte Carlo方法模拟了不同有源区结构的共振声子THz QCL,如四阱有源区和三阱有源区结构等,优化了THz QCL的器件参数。计算表明,器件的增... 本文综述了共振声子太赫兹(THz)量子级联激光器(QCL)载流子输运及其光电特性的研究结果。我们采用Monte Carlo方法模拟了不同有源区结构的共振声子THz QCL,如四阱有源区和三阱有源区结构等,优化了THz QCL的器件参数。计算表明,器件的增益依赖于注入势垒的宽度、掺杂浓度和声子抽运能级间隔等参数。单阱注入的THz QCL可以获得低的激射频率,而三阱有源区结构的THz QCL具有更高的工作温度。我们数值模拟了这两种器件结构在不同寄生电压下的电子输运、增益以及温度特性等。同时,我们实验测量了THz QCL的发射谱偏压和温度效应,计算结果与实验相吻合。研究结果表明,随着偏压增加发射谱出现了明显的频率蓝移,多模激射仅出现在大电流注入情形。与偏压的密切依赖关系不同,激射频率对温度的变化并不敏感。 展开更多

关键词 太赫兹量子级联激光器 共振声子 蒙特卡洛模拟 发射谱测量 增益

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基于太赫兹量子级联激光器的实时成像研究进展 被引量：8

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作者 谭智勇 万文坚 +1 位作者 黎华 曹俊诚 《中国光学》 EI CAS CSCD 2017年第1期68-76,共9页

太赫兹(THz)实时成像是THz技术中颇具潜力的一个领域,具有成像速度快、成像分辨率高等特点,基于THz量子级联激光器(QCL)的实时成像系统是其中最重要的一种,系统体积小、重量轻、成像信噪比高等特点使其在实际应用中具有独特的优势。本... 太赫兹(THz)实时成像是THz技术中颇具潜力的一个领域,具有成像速度快、成像分辨率高等特点,基于THz量子级联激光器(QCL)的实时成像系统是其中最重要的一种,系统体积小、重量轻、成像信噪比高等特点使其在实际应用中具有独特的优势。本文主要介绍了THz QCL器件及其实时成像系统的研究进展,采用超半球高阻硅透镜改善了THz QCL的输出激光,实现了准高斯光束输出,搭建了基于二维摆镜消干涉技术的THz实时成像系统,单帧成像光斑面积45mm×30 mm,实现了对刀片、药片的实时成像演示,成像分辨率优于0.5 mm;最后对成像系统激光源、成像光路和探测端的改进以及成像效果的改善方面进行了综述,并探讨了THz实时成像系统未来的发展趋势及其在材料分析和生物医学成像方面的应用前景。 展开更多

关键词 太赫兹 实时成像 量子级联激光器 焦平面阵列

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基于衍射光栅耦合输出的一级分布反馈太赫兹量子级联激光器 被引量：4

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作者 朱欢 王芳芳 +5 位作者 颜全 俞辰韧 常高垒 陈建新 徐刚毅 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期706-712,共7页

对比研究了两种不同结构太赫兹波段的双金属波导一级分布反馈量子级联激光器(THz-DFB-QCL).提出并实现基于衍射光栅耦合输出的THz-DFB-QCL中,太赫兹波通过衍射光栅而非解理腔面形成出射.计算表明,优化衍射光栅的结构可实现约70%的激光... 对比研究了两种不同结构太赫兹波段的双金属波导一级分布反馈量子级联激光器(THz-DFB-QCL).提出并实现基于衍射光栅耦合输出的THz-DFB-QCL中,太赫兹波通过衍射光栅而非解理腔面形成出射.计算表明,优化衍射光栅的结构可实现约70%的激光输出效率和小于1%的反射率,激光发散角约为10°×50°.极低的反射率可以有效抑制反射波对腔内谐振的干扰,是获得单模激射的关键.实验上,利用衍射光栅耦合输出的激光器实现了频率约2.58 THz的稳定单模激光,边模抑制比达23 dB,光束分布与理论计算相吻合.得益于较好的衍射效率和光束准直性,相比于常规的解理腔面边发射激光器,通过衍射光栅耦合输出显著提升了激光功率. 展开更多

关键词 太赫兹 一级分布反馈 量子级联激光器 衍射光栅

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基于偏振调节的太赫兹量子级联激光器双光梳研究 被引量：1

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作者 杨思嘉 李子平 +3 位作者 廖小瑜 王晨捷 黎华 曹俊诚 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期825-830,共6页

太赫兹量子级联激光器(THzQCL)双光梳在光谱检测、测距、成像等领域具有重要应用。双光梳信号严重依赖THz耦合光功率。利用THzQCL激射光为线偏振光的特性,在双光梳光路上插入线偏振片,通过旋转偏振片以达到对THz光强进行调节的作用。系... 太赫兹量子级联激光器(THzQCL)双光梳在光谱检测、测距、成像等领域具有重要应用。双光梳信号严重依赖THz耦合光功率。利用THzQCL激射光为线偏振光的特性,在双光梳光路上插入线偏振片,通过旋转偏振片以达到对THz光强进行调节的作用。系统研究了THzQCL双光梳谱和功率与偏振角度的依赖关系,为实现高稳定THz双光梳光源与应用奠定基础。 展开更多

关键词 太赫兹 量子级联激光器 双光梳 偏振

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太赫兹量子级联激光器光频梳射频传输 被引量：1

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作者 刘涵 李子平 +7 位作者 马旭红 吴澍民 廖小瑜 管玟 周康 赵逸然 曹俊诚 黎华 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期45-54,共10页

针对太赫兹量子级联激光器光频梳射频信号提取与传输存在的阻抗不匹配问题,设计并提出了一种输入阻抗为20Ω、输出阻抗为50Ω的渐变微带线结构,研究了该结构的准TEM模电场分布,并根据S参数建立了相应的LC等效电路模型分析其物理机理。... 针对太赫兹量子级联激光器光频梳射频信号提取与传输存在的阻抗不匹配问题,设计并提出了一种输入阻抗为20Ω、输出阻抗为50Ω的渐变微带线结构,研究了该结构的准TEM模电场分布,并根据S参数建立了相应的LC等效电路模型分析其物理机理。实验中,将渐变微带线结构应用于太赫兹量子级联激光器光频梳射频信号提取与测试,以验证渐变微带线传输射频信号效果,成功测量得到太赫兹量子级联激光器重复频率,其线宽为3.7 kHz,信噪比达到60 dB,在注入电流为700~900 mA范围内重复频率表现为稳定的单模信号,测量得到的最大保持和幅度艾伦方差结果同样表现出重复频率的稳定性。实验结果表明,所设计的渐变微带线具有良好的阻抗匹配效果,能够实现对太赫兹量子级联激光器光频梳射频信号稳定的提取和传输。 展开更多

关键词 太赫兹 量子级联激光器 光频梳 阻抗匹配 渐变微带线

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基于布拉格反射镜的单模太赫兹量子级联激光器 被引量：1

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作者 白弘宙 臧善志 +3 位作者 谭诚 王凯 甘良华 徐刚毅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CSCD 北大核心 2023年第6期796-806,共11页

常规的分布式布拉格反射(DBR)半导体激光器中,增益区域所对应的自由谱间距应大于DBR高反射率带宽的1/2,以获得稳定的单模激射。该条件限制了DBR激光器的阈值和功率特性。文章首次提出并实现了基于DBR选模的太赫兹量子级联激光器(THz-QC... 常规的分布式布拉格反射(DBR)半导体激光器中,增益区域所对应的自由谱间距应大于DBR高反射率带宽的1/2,以获得稳定的单模激射。该条件限制了DBR激光器的阈值和功率特性。文章首次提出并实现了基于DBR选模的太赫兹量子级联激光器(THz-QCL),并突破了上述限制。作者所实现的THz-QCL采用脊波导结构,利用解理腔面和DBR反射镜构成谐振腔,利用有源区增益谱较窄的特点,通过调整DBR反射率谱使增益谱与DBR高反射带在频域中部分重叠,从而获得了单模激射的THz-QCL。该方案使得DBR高反射带显著宽于自由谱间距,即显著提高了激光器中增益区域的长度,从而降低阈值并提高功率特性。实验上,作者研制出增益区域长达3.6 mm的DBR激光器,单模激射的频率为2.7 THz,边模抑制比达到25 dB,该激光器的阈值和温度特性与相同材料制备的法布里-泊罗腔多模激光器相当。文章中的工作为实现高性能单模太赫兹量子级联激光器提供了新的研究思路。 展开更多

关键词 半导体激光器 量子级联 太赫兹 分布式布拉格反射镜 单模 光子禁带

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太赫兹量子级联激光器中的光电调控:综述 被引量：1

8

作者 黄嘉豪 徐刚毅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期169-180,共12页

太赫兹量子级联激光器作为目前产生太赫兹激光的最有效手段之一,如何提升其性能表现一直是科学界所关注的重点。本篇综述将从光电调控的角度,阐述目前太赫兹量子级联激光器的性能进展。从激光器有源区设计原理开始,介绍几种新的有源区设... 太赫兹量子级联激光器作为目前产生太赫兹激光的最有效手段之一,如何提升其性能表现一直是科学界所关注的重点。本篇综述将从光电调控的角度,阐述目前太赫兹量子级联激光器的性能进展。从激光器有源区设计原理开始,介绍几种新的有源区设计,再从谐振腔的角度介绍一系列新的结构,并展示他们对于功率和光束质量的提升。最后,阐述了太赫兹量子级联激光器在偏振调控和频率调谐的最新进展。 展开更多

关键词 太赫兹 量子级联激光器 激光功率 光束质量 偏振调控 频率调谐

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高输出功率太赫兹量子级联激光器与温度特性（英文） 被引量：1

9

作者 林宗澤 王科 +1 位作者 王利 平山秀樹 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期513-517,522,共6页

半导体太赫兹量子级联激光器(THz QCL)是一种相干性好线宽窄的太赫兹辐射源,有潜力获得高的输出功率.采用基于非平衡格林函数(NEGF)方法的计算工具设计、生长、制备了基于砷化镓系材料的THz QCL.在10 K温度下,峰值功率达到270 mW,平均... 半导体太赫兹量子级联激光器(THz QCL)是一种相干性好线宽窄的太赫兹辐射源,有潜力获得高的输出功率.采用基于非平衡格林函数(NEGF)方法的计算工具设计、生长、制备了基于砷化镓系材料的THz QCL.在10 K温度下,峰值功率达到270 mW,平均功率为2. 4 mW,单位面积的输出功率与已报道的最高值相当.采用NEGF方法对器件的温度变化特性做了详细的分析. 展开更多

关键词 太赫兹 量子级联激光器 砷化镓

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上海技物所自主研制的太赫兹量子级联激光器实现激射

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《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期2480-2480,共1页

近日,中国科学院上海技术物理研究所首次自主研制的太赫兹量子级联激光器成功实现激射。中科院红外成像材料与器件重点实验室的科研人员采用先进的分子束外延技术和半导体微纳加工平台自主完成了太赫兹量子级联激光器的结构设计、材料... 近日,中国科学院上海技术物理研究所首次自主研制的太赫兹量子级联激光器成功实现激射。中科院红外成像材料与器件重点实验室的科研人员采用先进的分子束外延技术和半导体微纳加工平台自主完成了太赫兹量子级联激光器的结构设计、材料生长和器件制备。激光器经法国国家科学研究中心基础电子学研究所测试,激光频率为2.5THz,最高工作温度为73K,输出功率为5mW;器件性能与英国剑桥大学研制的同样采用＂束缚态至连续态跃迁＂有源区设计方案的激光器水平相当。 展开更多

关键词 上海技术物理研究所 量子级联激光器 自主研制 太赫兹 激射 法国国家科学研究中心 分子束外延技术 英国剑桥大学

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低功耗、高散热效率太赫兹量子级联激光器的研究

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作者 谭诚 严川峰 +8 位作者 臧善志 王凯 甘良华 曹晨涛 陈炳奇 陈宏泰 张月蘅 房玉龙 徐刚毅 《红外与毫米波学报》 2025年第3期384-393,共10页

提出并实现了以二维贴片天线阵列为谐振腔的单模太赫兹量子级联激光器(THz-QCL)。单个贴片天线中有源区处在上下金属层之间,具有全尺度亚波长特性,并激发竖直方向低辐射损耗的电四极子模式。阵列内天线之间的交互耦合有效抑制了电磁场... 提出并实现了以二维贴片天线阵列为谐振腔的单模太赫兹量子级联激光器(THz-QCL)。单个贴片天线中有源区处在上下金属层之间,具有全尺度亚波长特性,并激发竖直方向低辐射损耗的电四极子模式。阵列内天线之间的交互耦合有效抑制了电磁场在平面内的泄漏。因此,当阵列仅包含少数天线时即获得高的品质因子和低的阈值电流密度。由此,激光器功耗低至950 mW。此外,离散分布的天线阵列使得散热面积远大于发热面积,结合非泵浦区域提供的横向散热通道,激光器的单位面积热阻低至5.6 mK/(W·cm^(2))。通过显著降低激光器功耗、提升散热效率,所研制的激光器激光频率为3.18 THz,边模抑制比达19.5 dB,光束发散角35°×35°,20 K时连续工作达到3.14 mW,最高连续工作温度达到90 K,显著高于相同材料研制的法布里-珀罗腔激光器的工作温度。本工作为提高THz-QCL的连续工作温度提供了新的思路。 展开更多

关键词 太赫兹 天线阵列 量子级联激光器 连续模式

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移动式量子级联激光器太赫兹全息成像仪光路结构设计

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作者 黎维华 王雪敏 +5 位作者 沈昌乐 彭丽萍 赵妍 阎大伟 吴卫东 唐永建 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期190-194,共5页

为了满足移动式量子级联激光器太赫兹(QCL-THz)全息成像仪大视场高空间分辨率的技术需求,设计了预放大同轴数字全息光路结构,显微物镜数值孔径为0.707或0.8,放大倍数为6倍,最佳工作距离为15mm。采用波长为96.8μm的QCL光源,该光路结构... 为了满足移动式量子级联激光器太赫兹(QCL-THz)全息成像仪大视场高空间分辨率的技术需求,设计了预放大同轴数字全息光路结构,显微物镜数值孔径为0.707或0.8,放大倍数为6倍,最佳工作距离为15mm。采用波长为96.8μm的QCL光源,该光路结构能实现10mm的视场,优于100μm的空间分辨率。 展开更多

关键词 量子级联激光器 太赫兹 数字全息 光路结构

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基于4.3 THz量子级联激光器的微米级无损厚度测量

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作者 李弘义 谭智勇 +1 位作者 万文坚 曹俊诚 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期354-358,共5页

构建和描述了一种用于获取硅片厚度的零差检测系统。利用4.3-THz激光束的传输相变与机械旋转台控制的入射角之间的关系,可以使用标准残差法精确推导被测样品的厚度值。结果表明,样品的厚度拟合值与光学显微镜的精确测量结果仅相差2.5~3... 构建和描述了一种用于获取硅片厚度的零差检测系统。利用4.3-THz激光束的传输相变与机械旋转台控制的入射角之间的关系,可以使用标准残差法精确推导被测样品的厚度值。结果表明,样品的厚度拟合值与光学显微镜的精确测量结果仅相差2.5~3μm,实现了微米级精度的太赫兹无损厚度测量。实验验证了太赫兹量子级联激光器在非接触无损测量中的有效性。 展开更多

关键词 太赫兹 量子级联激光器 零差探测 无损检测 非接触测量

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太赫兹二级分布反馈量子级联激光器中的模式竞争与功率特性

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作者 颜全 王芳芳 +4 位作者 朱欢 俞辰韧 徐刚毅 陈建新 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期60-64,106,共6页

结合实验和理论计算研究了太赫兹二级分布反馈量子级联激光器中的模式竞争和功率特性.研究表明,激光器在整个动力学范围内均稳定地工作在横向及纵向的基模.横向基模的产生原因是脊条两侧的吸收边界有效提高了高阶横模的损耗.纵向基模的... 结合实验和理论计算研究了太赫兹二级分布反馈量子级联激光器中的模式竞争和功率特性.研究表明,激光器在整个动力学范围内均稳定地工作在横向及纵向的基模.横向基模的产生原因是脊条两侧的吸收边界有效提高了高阶横模的损耗.纵向基模的产生原因主要是谐振腔内基模与高阶纵模的电磁场分布交叠较大,并且频率接近,从而有效避免了增益在空间和频域的烧孔效应.此外,激光器的辐射效率随分布反馈光栅长度的增加而减小,导致只有在特定的光栅长度才能获得最大的输出功率.该工作有助于高性能单模太赫兹激光器及锁相激光器阵列的研制. 展开更多

关键词 太赫兹 量子级联激光器 单模 模式竞争

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2.5THz量子级联激光器的研制 被引量：3

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作者 王雪敏 沈昌乐 +10 位作者 蒋涛 湛治强 黎维华 彭丽萍 邓青华 樊龙 王新明 阎大伟 赵妍 吴卫东 唐永建 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3-5,共3页

基于束缚态到连续态跃迁有源区能带结构，实现了2．5 THz量子级联激光器的连续波工作。激光器的输出频率随电流可在2．45-2．47 THz之间可调，在连续波工作模式下的最高输出功率大于6．0mw，最高连续波工作温度为60 K，阈值电流密度为12... 基于束缚态到连续态跃迁有源区能带结构，实现了2．5 THz量子级联激光器的连续波工作。激光器的输出频率随电流可在2．45-2．47 THz之间可调，在连续波工作模式下的最高输出功率大于6．0mw，最高连续波工作温度为60 K，阈值电流密度为120 A／cm2，经Si透镜整形后的输出光斑为高斯分布。 展开更多

关键词 太赫兹 量子级联激光器 连续波 子能带 高斯分布

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THz量子级联激光器的材料生长和器件制作

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作者 韩英军 黎华 +1 位作者 谭智勇 曹俊诚 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A01期11-12,共2页

采用分子束外延的方法，生长了GaAs／Al0.17Ga0.85As基共振声子辅助跃迁的太赫兹量子级联激光器结构，并按照单面金属波导的工艺进行了器件制作。材料的结构由高分辨X射线衍射来确定。在温度为9-150K的范围内，测量了器件的I-V曲线。

关键词 太赫兹 量子级联激光器 分子束外延

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面向片上传感量子级联激光器的研究进展(特邀)

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作者 周斌茹 马钰 +2 位作者 张世晨 刘峰奇 陆全勇 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期101-115,共15页

作为一种新型半导体激光器,量子级联激光器因其独特的子带间跃迁机制,具有高速响应、高非线性、输出波长大范围可调等特点。近年来随着输出光功率和电光转化效率等性能指标的快速提升,量子级联激光器已成为中红外至太赫兹波段(波长约为3... 作为一种新型半导体激光器,量子级联激光器因其独特的子带间跃迁机制,具有高速响应、高非线性、输出波长大范围可调等特点。近年来随着输出光功率和电光转化效率等性能指标的快速提升,量子级联激光器已成为中红外至太赫兹波段(波长约为3~300μm)的主流激光光源,在大气污染监控、气体检测、太赫兹成像、生物医疗以及空间光通信等领域具有重要科学意义和应用价值。本文阐释了量子级联激光器的发展历程以及工作原理;分别重点讨论了中红外量子级联激光器在高效率、大功率、波长可调谐以及片上传感的应用等方面的研究进展,并对基于中红外量子级联激光器差频太赫兹光源和光频梳的发展进行叙述,最后进行了简要总结与展望。 展开更多

关键词 量子级联激光器 片上传感 光频梳 太赫兹

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英国研制出世界上功率最大的太赫兹激光器芯片

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《中国光学》 EI CAS 2014年第2期347-347,共1页

英国利兹大学的研究人员开发出了世界上功率最大的太赫兹（THz）激光器芯片。工程与技术学院电子快报上报道利兹团队研制的量子级联THz激光器的输出功率超过1W。

关键词 输出功率 激光器 太赫兹 芯片 世界 英国 研究人员 量子级联

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太赫兹量子阱探测器研究进展 被引量：5

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作者 张真真 符张龙 +1 位作者 王长 曹俊诚 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期103-109,共7页

太赫兹量子阱探测器具有皮秒级的响应时间和1 GHz以上的高速调制性能,是太赫兹快速成像和高速无线通信应用领域非常有前景的探测器。文章综述了太赫兹量子阱探测器的探测原理和设计方法、器件主要性能指标和基于该探测器的应用技术研究... 太赫兹量子阱探测器具有皮秒级的响应时间和1 GHz以上的高速调制性能,是太赫兹快速成像和高速无线通信应用领域非常有前景的探测器。文章综述了太赫兹量子阱探测器的探测原理和设计方法、器件主要性能指标和基于该探测器的应用技术研究进展。研究表明,基于太赫兹量子阱探测器的快速成像系统可以获得物体的细节信息,有望用于安全检查和无损检测领域;太赫兹量子阱探测器还可用于高速无线通信的探测端,为未来6G高速无线通信应用提供了有效的技术途径。 展开更多

关键词 太赫兹量子阱探测器 太赫兹量子级联激光器 太赫兹通信 太赫兹成像

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国外军用大功率半导体激光器的发展现状 被引量：22

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作者 李明月 何君 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期321-327,共7页

由于半导体激光器具有体积小、结构简单、质量轻、转换效率高、可靠性好、寿命长、易于调制及与其他半导体器件易于集成等特点,可应用于军事、工业、医疗、通信等领域,尤其是在激光制导跟踪、激光雷达、激光引信、激光测距、激光通信、... 由于半导体激光器具有体积小、结构简单、质量轻、转换效率高、可靠性好、寿命长、易于调制及与其他半导体器件易于集成等特点,可应用于军事、工业、医疗、通信等领域,尤其是在激光制导跟踪、激光雷达、激光引信、激光测距、激光通信、激光模拟武器、激光瞄准告警和光纤陀螺等军事领域得到广泛应用。概述了近年来美国和欧洲等国家在半导体激光器方面的主要研制计划及其所取得的成果,重点介绍了Ga As基和In P基近红外大功率半导体激光器、中远红外及太赫兹量子级联半导体激光器等的发展现状和最新研制成果。随着新型半导体材料、激光器结构和热管理等技术的发展,展望了未来半导体激光器技术的发展趋势。 展开更多

关键词 半导体激光器 垂直腔面发射激光器(VCSEL) 大功率 量子级联激光器(QCL) 太赫兹

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