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题名侵彻武器用MEMS大g值加速度计
被引量:10
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作者
屈新芬
苏伟
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机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
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出处
《兵工自动化》
2002年第3期7-10,共4页
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文摘
侵彻武器穿入地面等坚硬物质的加速度可达重力加速度的2万倍至几十万倍,要求所用加速度传感器既能抗击该工作环境,又能识别冲击与钻入的整个过程。美国侵彻武器用MEMS大g值加速度计属电容传感器,其工作原理采用2个电参数完全相同的电容,1个作检测电容,1个作参考电容,将被测加速度值的变化转换成电容量的变化而实现。该加速度计由结构单元和信号处理电路组成。实验结果表明,尚需对2组成部分进一步集成,对机械静电阻尼进行优化,对封装深入研究。
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关键词
侵彻武器
MEMS
大g值加速度计
电容传感器
微机电系统
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Keywords
High-g Accelerometer
Capacitance sensor
MEMS
Penetrator Weapon
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分类号
TJ414.7
[兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]
TH824.4
[机械工程—精密仪器及机械]
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