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侵彻武器用MEMS大g值加速度计 被引量:10
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作者 屈新芬 苏伟 《兵工自动化》 2002年第3期7-10,共4页
侵彻武器穿入地面等坚硬物质的加速度可达重力加速度的2万倍至几十万倍,要求所用加速度传感器既能抗击该工作环境,又能识别冲击与钻入的整个过程。美国侵彻武器用MEMS大g值加速度计属电容传感器,其工作原理采用2个电参数完全相同的电容,... 侵彻武器穿入地面等坚硬物质的加速度可达重力加速度的2万倍至几十万倍,要求所用加速度传感器既能抗击该工作环境,又能识别冲击与钻入的整个过程。美国侵彻武器用MEMS大g值加速度计属电容传感器,其工作原理采用2个电参数完全相同的电容,1个作检测电容,1个作参考电容,将被测加速度值的变化转换成电容量的变化而实现。该加速度计由结构单元和信号处理电路组成。实验结果表明,尚需对2组成部分进一步集成,对机械静电阻尼进行优化,对封装深入研究。 展开更多
关键词 侵彻武器 MEMS 大g值加速度计 电容传感器 微机电系统
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