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电控可变焦128元×128元自适应液晶微透镜阵列 被引量:7
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作者 李晖 张新宇 +1 位作者 张天序 沈绪榜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期2351-2358,共8页
基于已有的单圆孔电极液晶透镜的结构与设计方法,研制了新型的电控可变焦128元×128元液晶微透镜阵列。该面阵液晶微透镜使用氧化铟锡(ITO)玻璃作为上下基板,上电极通过光刻技术和盐酸腐蚀方法得到128元×128元圆孔阵列图案;下... 基于已有的单圆孔电极液晶透镜的结构与设计方法,研制了新型的电控可变焦128元×128元液晶微透镜阵列。该面阵液晶微透镜使用氧化铟锡(ITO)玻璃作为上下基板,上电极通过光刻技术和盐酸腐蚀方法得到128元×128元圆孔阵列图案;下电极为ITO膜。上电极的圆孔阵列排列整齐,每个圆孔的直径为50μm,圆孔之间的间隔为100μm,夹在上下基板之间的液晶层的厚度为20μm。验证了该面阵液晶微透镜的光学特性,结果表明,在0.2~5.0 V(RMS),该面阵液晶微透镜的焦距为50~400μm,焦点的焦斑尺寸在10μm左右,点扩展函数值近似于理论数值。该面阵液晶微透镜的工作电压与焦距成反比,可以成清晰的多重像。 展开更多
关键词 自适应光学 液晶 大面阵微透镜
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