检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

大面积金刚石膜衬底温度数据融合研究被引量：1: 1; 作者汪洪波《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期839-842,859,共5页; 针对大面积金刚石膜衬底温度测量要求精度高、稳定性好的特点,分析了大面积金刚石膜衬底温度多支路测量数据融合的必要性,采用不同数据融合方法对衬底温度采样数据进行数据融合研究。在此基础上,对融合方法的稳健性进行了详细分析。研... 展开更多; 关键词大面积金刚石膜衬底温度数据融合稳健性; 在线阅读下载PDF 职称材料

大面积自支撑金刚石膜的机械研磨研究被引量：3: 2; 作者文星凯魏俊俊 +3 位作者刘金龙陈良贤黑立富李成明《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2013年第5期22-26,共5页; 用100 kW级直流等离子体喷射系统制备金刚石自支撑膜,采用机械研磨方法对其进行平坦化加工。实验研究了不同研磨盘转速和不同压力对研磨的影响,分别用扫描电镜、数显千分表和X射线光电子能谱仪对金刚石膜研磨前后的表面形貌、厚度和金... 展开更多; 关键词大面积金刚石自支撑膜机械研磨应力诱导局部石墨化; 在线阅读下载PDF 职称材料

薄膜光学理论与膜系设计: 3; 《中国光学》 EI CAS 2003年第3期56-59,共4页; O484.1//TN304.055 2003032028CVD金刚石膜中的缺陷=Defects in CVD diamond films[刊,中]/张恒大(北京科技大学材料科学与工程学院.北京(100083)),刘敬明…∥北京科技大学学报.—2002,24(4).—426-428研究了利用直流电弧等离子体喷射(D... 展开更多; 关键词大面积金刚石膜发光薄膜人工晶体材料科学制备工艺参数直流电弧等离子体喷射毫米波凝胶法衬底表面缺陷; 在线阅读下载PDF 职称材料