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基于电场驱动熔融喷射3D打印大面积聚甲基丙烯酸甲酯微结构制造方法被引量：2: 1; 作者杨昆杨建军 +3 位作者赵佳伟彭子龙韦子龙兰红波《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期115-123,共9页; 针对大面积聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微结构低成本制造的难题以及高分辨率PMMA成型的实际需求,提出一种基于电场驱动熔融喷射沉积3D打印实现大面积PMMA微结构高效低成本制造的新方法。通过高速摄像机实验观测和系列打印实验研究,揭示了主... 展开更多; 关键词 3D打印电场驱动喷射熔融沉积成型大面积聚甲基丙烯酸甲酯微结构高分辨率聚甲基丙烯酸甲酯成型; 在线阅读下载PDF 职称材料

在PMMA上低温沉积TiO_(2)薄膜的光学性能及显微结构被引量：2: 2; 作者纪建超颜悦 +3 位作者陈宇宏哈恩华郝常山雷沛《中国塑料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期7-12,共6页; 采用直流脉冲磁控溅射的方法,在有机玻璃(聚甲基丙烯酸甲酯,PMMA)上沉积了TiO_(2)薄膜。研究了氧气比例、真空度等参数对TiO_(2)薄膜的结构及光学性能的影响。借助椭圆偏振光测试仪、X射线衍射(XRD)仪、分光光度计、原子力显微镜(AFM)... 展开更多; 关键词聚甲基丙烯酸甲酯二氧化钛薄膜磁控溅射光学性能显微结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

超声波键合能量引导微结构PMMA基片的制作(英文) 被引量：2: 3; 作者陶琳罗怡 +2 位作者张彦国张宗波王晓东《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1373-1378,共6页; 为了用超声波键合的方法实现微流控芯片的封装,采用选择性键合方式在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片的微沟道两侧设计、制作了能量引导微结构,用热压法在同一PMMA基片上一次成形了凸起的能量引导微结构和凹陷的微沟道。用套刻和湿法腐蚀的... 展开更多; 关键词聚甲基丙烯酸甲酯基片能量引导微结构微超声键合热压; 在线阅读下载PDF 职称材料

PMMA近玻璃化转变温度下应力松弛特性分析被引量：5: 4; 作者王琦吴大鸣 +3 位作者刘颖许红李瑞孙靖尧《塑料》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期5-8,共4页; 为了探究聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)在近玻璃化转变温度下应力松弛现象的相关规律,对其在近玻璃化转变温度处进行了压缩应力松弛实验,得到了若干组实验数据。对于聚合物在玻璃化转变温度以下的松弛过程,WLF方程无法适用,因此采用Arrhenius... 展开更多; 关键词微结构应力松弛近玻璃化转变温度 Arrhenius方程聚甲基丙烯酸甲酯; 在线阅读下载PDF 职称材料

应用X射线光刻的微针阵列及掩模板补偿被引量：5: 5; 作者陈少军李以贵杉山进《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期420-425,共6页; 提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微针的微细加工工艺,该工艺基于PCT技术,结合X射线以及光刻掩模制作三维微结构。通过移动LIGA掩模板曝光来加工微立体PMMA结构,其加工形状取决于X光光刻掩模板吸收体的形状。实验显示,最终的结构形状... 展开更多; 关键词 X射线光刻聚甲基丙烯酸甲酯三维微结构掩模吸收体; 在线阅读下载PDF 职称材料

PMMA双面滚压成型的数值模拟与验证实验: 6; 作者傅志红张洲朱亚威《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期65-69,共5页; 利用有限元软件ABAQUS,对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)光扩散板双面滚压成型过程进行了数值模拟。通过建立PMMA的黏弹性模型,以微结构的复制率作为评价标准,利用数值模拟方法,分析了滚筒旋转速度、滚筒下压距离和PMMA基板温度对PMMA光扩散板... 展开更多; 关键词聚甲基丙烯酸甲酯光扩散板双面滚压成型 ABAQUS 数值模拟微结构复制率; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于电场驱动熔融喷射3D打印大面积聚甲基丙烯酸甲酯微结构制造方法被引量：2: 1; 作者杨昆杨建军赵佳伟彭子龙韦子龙兰红波; 机构青岛理工大学山东省增材制造工程技术研究中心; 出处《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期115-123,共9页; 基金国家自然科学基金资助项目(51775288,51875300) 山东省重点研发计划(2018GGX103022); 文摘针对大面积聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微结构低成本制造的难题以及高分辨率PMMA成型的实际需求,提出一种基于电场驱动熔融喷射沉积3D打印实现大面积PMMA微结构高效低成本制造的新方法。通过高速摄像机实验观测和系列打印实验研究,揭示了主要工艺参数对于成型过程、打印分辨率、打印质量的影响和规律,优化的工艺参数范围为:电压1200~1300 V,气压3~10 kPa,打印高度200~400μm,打印速度5~20 mm/s,材料加热温度210~230℃。利用提出的新方法,结合优化出的工艺参数,采用内径250μm的喷嘴,实现了最小特征尺寸15μm、图形面积70 mm×70 mm大尺寸微模具以及高宽比达到9∶1大面积复杂微结构和组织工程支架的制造。; 关键词 3D打印电场驱动喷射熔融沉积成型大面积聚甲基丙烯酸甲酯微结构高分辨率聚甲基丙烯酸甲酯成型; Keywords 3D printing electric-field-driven jetting fused deposition modelling large-area polymethyl methacrylate microstructure high-resolution polymethyl methacrylate forming; 分类号 TQ325.7 [化学工程—合成树脂塑料工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名在PMMA上低温沉积TiO_(2)薄膜的光学性能及显微结构被引量：2: 2; 作者纪建超颜悦陈宇宏哈恩华郝常山雷沛; 机构北京航空材料研究院股份有限公司北京航空材料研究院北京市先进运载火系统结构透明件工程技术研究中心; 出处《中国塑料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期7-12,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(51802297)。; 文摘采用直流脉冲磁控溅射的方法,在有机玻璃(聚甲基丙烯酸甲酯,PMMA)上沉积了TiO_(2)薄膜。研究了氧气比例、真空度等参数对TiO_(2)薄膜的结构及光学性能的影响。借助椭圆偏振光测试仪、X射线衍射(XRD)仪、分光光度计、原子力显微镜(AFM)等表征手段,分析了薄膜的光学特性、元素组成、结晶性能、及显微结构。结果表明,随氧气比例的增加,薄膜的沉积速率降低,沉积的薄膜的粒径变大,薄膜趋于疏松;在光学性能方面表现为随氧气比例的增加,折射率递减,但可见光透过率增加,反射率谱线出现红移;根据折射率计算的薄膜堆积密度分别为0.95、0.93、0.87、0.88、0.78,与氧气比例反向变化;根据光谱计算的薄膜禁带宽度在3.12~3.14 eV之间,与氧气比例反向变化;随工作真空度的降低,薄膜的沉积速率先升后降,薄膜趋于疏松,折射率下降,根据折射率计算的薄膜堆积密度为0.96、0.95、0.90、0.89、0.88、0.88、0.87,真空度对薄膜可见光透过率具有正向影响,对薄膜的禁带宽度有反向影响,禁带宽度在3.13~3.16 eV之间;本文沉积的TiO_(2)薄膜为无定形态,氧气比例与真空度的变化对其结晶性基本无影响。; 关键词聚甲基丙烯酸甲酯二氧化钛薄膜磁控溅射光学性能显微结构; Keywords poly(methylmethacrylate) titanium dioxide thin film magnetron sputtering optical property microstructure; 分类号 TQ320 [化学工程—合成树脂塑料工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超声波键合能量引导微结构PMMA基片的制作(英文) 被引量：2: 3; 作者陶琳罗怡张彦国张宗波王晓东; 机构辽宁省微纳米技术及系统重点实验室大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1373-1378,共6页; 基金 Supported by the Programfor NewCentury Excellent Talents in University (NCET-06-0279) of Ministryof Education of China the National Natural Science Foundation of China (Grant No.50775024); 文摘为了用超声波键合的方法实现微流控芯片的封装,采用选择性键合方式在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片的微沟道两侧设计、制作了能量引导微结构,用热压法在同一PMMA基片上一次成形了凸起的能量引导微结构和凹陷的微沟道。用套刻和湿法腐蚀的方法制作了复合一体化硅模具。通过正交实验,确定了优化后的热压工艺参数。实验结果表明,由于同时存在凹、凸微结构,因此优化后的热压成形温度比传统的热压凹陷结构的成形温度提高15 ～20 ℃,在温度为140 ℃、保压时间为300 s、压力为1 .65MPa的实验条件下,微结构的复制精度达到了99 %。; 关键词聚甲基丙烯酸甲酯基片能量引导微结构微超声键合热压; Keywords Polymethyl Methacrylate（PMMA） substrate micro energy director micro ultrasonic bonding hot embossing; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN305.99 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名PMMA近玻璃化转变温度下应力松弛特性分析被引量：5: 4; 作者王琦吴大鸣刘颖许红李瑞孙靖尧; 机构北京化工大学机电工程学院; 出处《塑料》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期5-8,共4页; 基金国家自然科学基金(51673020); 文摘为了探究聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)在近玻璃化转变温度下应力松弛现象的相关规律,对其在近玻璃化转变温度处进行了压缩应力松弛实验,得到了若干组实验数据。对于聚合物在玻璃化转变温度以下的松弛过程,WLF方程无法适用,因此采用Arrhenius方程从能量的角度对其松弛过程进行分析,得到了在近玻璃化转变温度下PMMA松弛时间常数τ和温度T的关系,为PMMA在玻璃化转变温度以下松弛移动因子的确定提供了理论支持。; 关键词微结构应力松弛近玻璃化转变温度 Arrhenius方程聚甲基丙烯酸甲酯; Keywords micro structure stress relaxation near glass transition temperature Arrhenius equation PMMA; 分类号 TQ325.1 [化学工程—合成树脂塑料工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名应用X射线光刻的微针阵列及掩模板补偿被引量：5: 5; 作者陈少军李以贵杉山进; 机构上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室日本立命馆大学微系统研究中心; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期420-425,共6页; 基金上海市浦江人才计划资助项目(No.09PJ1406200) 国家自然科学基金资助项目(No.60777016) +1 种基金航空重点实验室基金资助项目(No.20080857002); 文摘提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微针的微细加工工艺,该工艺基于PCT技术,结合X射线以及光刻掩模制作三维微结构。通过移动LIGA掩模板曝光来加工微立体PMMA结构,其加工形状取决于X光光刻掩模板吸收体的形状。实验显示,最终的结构形状并非完全与掩模板上吸收体的形状一致。如果不对X光光刻掩模板的吸收体形状进行补偿,即会使被加工的微结构侧面变形,从而影响微针的性能。分析了微针阵列侧面变形的原因,认为这种变形是由于显影时间与曝光量之间的非线性关系导致结构形状与曝光量分布不完全一致造成的。利用PCT方法制作的PMMA微针其长度为100～750μm,直径为30～150μm,针尖的直径最小可达100nm。通过对LIGA掩模板上的吸收体图形进行适当的补偿,使吸收体图形从中空的双直角三角形变为中空的半椭圆图形,增强了带沟道的微注射针阵列的强度。; 关键词 X射线光刻聚甲基丙烯酸甲酯三维微结构掩模吸收体; Keywords X-ray lithography PMMA three-dimensional microstructure mask absorber; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名PMMA双面滚压成型的数值模拟与验证实验: 6; 作者傅志红张洲朱亚威; 机构中南大学机电工程学院; 出处《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期65-69,共5页; 文摘利用有限元软件ABAQUS,对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)光扩散板双面滚压成型过程进行了数值模拟。通过建立PMMA的黏弹性模型,以微结构的复制率作为评价标准,利用数值模拟方法,分析了滚筒旋转速度、滚筒下压距离和PMMA基板温度对PMMA光扩散板两面不同形状微结构复制率的影响。结果表明,半圆形微结构复制率比等边三角形微结构复制率高;在一定范围内,复制率随着滚筒旋转速度的减小和滚筒下压距离的增大而增大,随PMMA基板温度升高而先增大后减小;当滚筒旋转速度为0.05rad/s,滚筒下压距离为0.45mm,PMMA基板温度为140℃时,半圆形和等边三角形微结构复制率均达到最大,分别为65.5%和51.2%。滚筒下压距离对复制率的影响最大,针对该参数进行实际滚压成型实验并将实验结果与仿真结果进行了对比验证,发现两者基本一致。; 关键词聚甲基丙烯酸甲酯光扩散板双面滚压成型 ABAQUS 数值模拟微结构复制率; Keywords polymethyl methacrylate light diffuser plate double-sided roller embossing ABAQUS numerical simulation microstructure replication rate; 分类号 TQ320.66 [化学工程—合成树脂塑料工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于电场驱动熔融喷射3D打印大面积聚甲基丙烯酸甲酯微结构制造方法	杨昆杨建军赵佳伟彭子龙韦子龙兰红波	《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	在PMMA上低温沉积TiO_(2)薄膜的光学性能及显微结构	纪建超颜悦陈宇宏哈恩华郝常山雷沛	《中国塑料》 CAS CSCD 北大核心	2024	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	超声波键合能量引导微结构PMMA基片的制作(英文)	陶琳罗怡张彦国张宗波王晓东	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	PMMA近玻璃化转变温度下应力松弛特性分析	王琦吴大鸣刘颖许红李瑞孙靖尧	《塑料》 CAS CSCD 北大核心	2017	5	在线阅读下载PDF 职称材料
5	应用X射线光刻的微针阵列及掩模板补偿	陈少军李以贵杉山进	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	5	在线阅读下载PDF 职称材料
6	PMMA双面滚压成型的数值模拟与验证实验	傅志红张洲朱亚威	《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心	2019	0	在线阅读下载PDF 职称材料