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快速大面积测量用原子力显微镜扫描速度对测量结果的影响
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作者 崔玉国 何高法 +1 位作者 荒井義和 高伟 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2636-2643,共8页
构建了一种可快速大面积测量光栅表面微结构的原子力显微镜(AFM)系统,研究了不同扫描模式下扫描速度对测量结果的影响。分别测量了微悬臂探针在恒高模式与恒力模式下的频谱,获得了这两种模式下微悬臂探针的有效带宽。基于恒高模式与恒... 构建了一种可快速大面积测量光栅表面微结构的原子力显微镜(AFM)系统,研究了不同扫描模式下扫描速度对测量结果的影响。分别测量了微悬臂探针在恒高模式与恒力模式下的频谱,获得了这两种模式下微悬臂探针的有效带宽。基于恒高模式与恒力模式,在不同扫描速度下分别测量了光栅微结构表面上的一条直线与一个圆周,进而分析了扫描速度对测量结果的影响。基于该AFM系统,采用恒高模式下不失真扫描速度对光栅微结构表面进行了快速、大面积三维形貌测量实验。实验结果表明:测量光栅微结构表面上直径为4.0mm的圆形区域所用时间仅为40s。当扫描速度不超过微悬臂探针有效带宽所对应的速度时,所构建的AFM系统可无失真地实现微结构表面的快速、大面积测量。 展开更多
关键词 原子力显微镜(AFM) 快速测量 大面积测量 恒高模式 恒力模式 扫描速度
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GFM-Ⅱ型大面积α、β污染测量仪 被引量:3
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作者 杜向阳 饶贤明 +1 位作者 韩淑萍 张晓卫 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期357-361,共5页
GFM- 型大面积α、β污染测量仪的探头为平板型流气式正比计数管阵列 ,窗口面积为10 0 0 cm2 ,由 4个灵敏探测区组成 ,每个探测区配有一套电荷灵敏前置放大电路 ,即组成 4套独立的探测通道 ,其特点是 :流气式正比计数器阵列替代单一的... GFM- 型大面积α、β污染测量仪的探头为平板型流气式正比计数管阵列 ,窗口面积为10 0 0 cm2 ,由 4个灵敏探测区组成 ,每个探测区配有一套电荷灵敏前置放大电路 ,即组成 4套独立的探测通道 ,其特点是 :流气式正比计数器阵列替代单一的流气式正比探头 ,较低的工作电压和快速 α、β同时扫描测量。 展开更多
关键词 GFM-Ⅱ型大面积α污染测量 GFM-Ⅱ型大面积β污染测量 污染监测 放射性污染
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大面积表面污染测量仪主要性能测试与分析 被引量:1
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作者 张菁 侯磊 +4 位作者 饶贤明 刘晋瑾 杜向阳 张佳 乔敏娟 《辐射防护》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期556-560,共5页
针对用于测量α、β射线的便携式大面积表面污染测量仪,为确保其测量性能,本文根据JJG 478—2016和GB/T 5202—2008标准要求,对自主研发的便携式α、β大面积表面污染测量仪的均匀性、探测效率、探测限、响应时间和温度稳定性等主要性... 针对用于测量α、β射线的便携式大面积表面污染测量仪,为确保其测量性能,本文根据JJG 478—2016和GB/T 5202—2008标准要求,对自主研发的便携式α、β大面积表面污染测量仪的均匀性、探测效率、探测限、响应时间和温度稳定性等主要性能指标进行了测试。结果表明:便携式大面积表面污染测量仪的表面发射率响应对241 Amα源为30.4%左右,对90 Sr-90 Yβ源为48.1%,对36 Clβ源为45.5%左右;最低可探测下限对241 Amα源为0.15 Bq/cm2,对β源90 Sr-90 Y为0.07 Bq/cm2,对β源36 Cl为0.09 Bq/cm2;响应时间<4 s;在-10℃~40℃时可正常工作。各项参数指标满足标准要求,能够有效达到防止污染扩散,保证工作人员安全的目的。 展开更多
关键词 大面积表面污染测量 表面发射率响应 探测器的均匀性
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大面积平行光幕弹着点测试系统 被引量:8
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作者 邓均 周汉昌 +3 位作者 赵冬娥 刘吉 赵宇 赵辉 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期18-23,共6页
研究了基于平行激光幕大面积弹着点坐标测试方法。以半导体激光线发生器为光源,用长焦距消球差的柱面菲涅耳透镜形成平行激光幕单元,通过多个平行激光幕单元的无缝拼接可形成大面积靶面。由于平行激光幕单元内沿宽度方向通量密度呈高斯... 研究了基于平行激光幕大面积弹着点坐标测试方法。以半导体激光线发生器为光源,用长焦距消球差的柱面菲涅耳透镜形成平行激光幕单元,通过多个平行激光幕单元的无缝拼接可形成大面积靶面。由于平行激光幕单元内沿宽度方向通量密度呈高斯分布,一定直径的弹丸通过光幕的不同横向位置时探测器获取信号不同,因此可根据信号的幅值来细分平行激光幕单元宽度范围内弹着点的位置。通过口径为7.62mm的实弹射击试验验证了细分方法的可行性。结果表明了该系统有足够的灵敏度能获取小目标的过靶信号;在10m长靶面的试验系统中测量坐标值与弹孔测量坐标值差值的标准差为5.16mm。 展开更多
关键词 弹着点位置 菲涅耳透镜 平行光幕 大面积弹着点测量系统
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平面式大型微结构表面的螺旋扫描测量 被引量:3
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作者 崔玉国 刘康 +2 位作者 惠相君 马剑强 周鹏飞 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期91-98,共8页
为实现平面式大型微结构表面的快速测量,提出了一种螺旋式扫描测量方法。基于该方法的测量系统由x、y、z向直线运动平台、绕z轴旋转的直接驱动(DD)马达以及激光位移传感器组成,当移动x、y向平台使激光位移传感器的激光束与DD马达的旋... 为实现平面式大型微结构表面的快速测量,提出了一种螺旋式扫描测量方法。基于该方法的测量系统由x、y、z向直线运动平台、绕z轴旋转的直接驱动(DD)马达以及激光位移传感器组成,当移动x、y向平台使激光位移传感器的激光束与DD马达的旋转中心重合,并通过z向平台使激光位移传感器位于其测量范围内时,使x向平台与DD马达同步运动而形成螺旋线来获得被测表面形貌的平面位置信息,同时由激光位移传感器获得被测表面的高度信息,据此实现对被测表面形貌的测量;这种螺旋式扫描方法避免了栅格式扫描方法所存在的频繁加减速及反向运动间隙不足的问题,可提高系统的测量速度和精度。基于所搭建的测量系统,对表面形貌为凸凹扇形的圆形试件的表面进行了测量,结果表明:所提出的螺旋式扫描方法能够实现表面三维形貌的快速测量,测量试件表面上直径为Φ20 mm的区域时,所用时间仅为800 s,测量结果能较好地反映被测试件表面形貌的三维形貌。 展开更多
关键词 表面形貌 大面积测量 快速测量 螺旋扫描 激光三角法测量
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