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题名大矢高凸柱面的超精密车削轨迹计算方法研究
被引量：2
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作者
雷茸粮
李云
林妩媚
张帅
青建宏
唐林峰
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机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院大学
西南石油大学
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第3期49-55,共7页
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文摘
阵列微结构光学元件广泛用于各种光束匀化场合,而常规的加工方法难以满足大矢高凸柱面阵列的精度要求。本文采用超精密车削成型法,分析了影响金刚石车削的主要因素,设计了顺序搜索法和二分搜索法寻找车削轨迹,并对比了两种方法的优缺点,结合Matlab软件用二分搜索法成功找到车削轨迹及数控程序,并在超精密车床上进行了车削实验,得到了表面轮廓误差在135 nm的大矢高阵列微结构。证明了二分搜索法能够准确获得车削轨迹,并且此法可同时适用于球面轮廓和非球面轮廓,具有重要的工程应用价值。
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关键词
大矢高阵列微结构
凸柱面
超精密车削
半径补偿
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Keywords
large-vector high-array microstructure
convex cylindrical surface
ultra-precision turning
radius compensation
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
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