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213 mm大直径单晶硅直拉法制备过程的热场模拟研究
被引量：
1
1
作者
徐晓伟
王斐
+1 位作者
冉瑞应
李军
《热加工工艺》
北大核心
2023年第9期72-75,共4页
基于有限体积法得到单晶炉腔内的温度场,研究加热功率、晶体转速以及坩埚转速对液-固界面的影响。计算结果表明,加热功率对液-固界面及热场影响显著,加热功率的精确控制对于稳定的液-固界面至关重要;在一定范围内,晶体转速的增加会使得...
基于有限体积法得到单晶炉腔内的温度场,研究加热功率、晶体转速以及坩埚转速对液-固界面的影响。计算结果表明,加热功率对液-固界面及热场影响显著,加热功率的精确控制对于稳定的液-固界面至关重要;在一定范围内,晶体转速的增加会使得液-固界面的位置出现抬升,而坩埚转速对液-固界面的影响不太明显。
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关键词
大直径单晶硅
直拉法
加热功率
晶体转速
坩埚转速
数值模拟
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职称材料
机械工业部部属高等学校简介──西安理工大学
2
《大学教育科学》
1998年第1期94-94,共1页
关键词
学校简介
机械工业部
理工大学
西安
工商管理硕士(MBA)
学位授权点
仪器仪表
交流与合作
大直径单晶硅
工程实践能力
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职称材料
题名
213 mm大直径单晶硅直拉法制备过程的热场模拟研究
被引量：
1
1
作者
徐晓伟
王斐
冉瑞应
李军
机构
上海交通大学材料科与工程学院
银川隆基硅材料有限公司
出处
《热加工工艺》
北大核心
2023年第9期72-75,共4页
基金
银川市科技计划重大项目(YCKJ-XMK-1908-0017)
宁夏回族自治区中央引导地方科技发展专项(2021FRD05006)。
文摘
基于有限体积法得到单晶炉腔内的温度场,研究加热功率、晶体转速以及坩埚转速对液-固界面的影响。计算结果表明,加热功率对液-固界面及热场影响显著,加热功率的精确控制对于稳定的液-固界面至关重要;在一定范围内,晶体转速的增加会使得液-固界面的位置出现抬升,而坩埚转速对液-固界面的影响不太明显。
关键词
大直径单晶硅
直拉法
加热功率
晶体转速
坩埚转速
数值模拟
Keywords
large-diameter Si crystal
Czochralski method
heating power
crystal rotation speed
crucible rotation speed
numerical simulation
分类号
TG249.9 [金属学及工艺—铸造]
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职称材料
题名
机械工业部部属高等学校简介──西安理工大学
2
出处
《大学教育科学》
1998年第1期94-94,共1页
关键词
学校简介
机械工业部
理工大学
西安
工商管理硕士(MBA)
学位授权点
仪器仪表
交流与合作
大直径单晶硅
工程实践能力
分类号
G649.28 [文化科学—高等教育学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
213 mm大直径单晶硅直拉法制备过程的热场模拟研究
徐晓伟
王斐
冉瑞应
李军
《热加工工艺》
北大核心
2023
1
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职称材料
2
机械工业部部属高等学校简介──西安理工大学
《大学教育科学》
1998
0
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职称材料
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