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压接型IGBT器件升温曲线测量方法 被引量:1
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作者 钟岩 张一鸣 +2 位作者 邓二平 谢露红 黄永章 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第12期1014-1026,共13页
利用热网络模型和有限元仿真分析了压接型IGBT器件升降温曲线不具有等效性的原因,研究了压接型IGBT器件升温曲线的测量方法,对比了大电流通态压降(V_(CE))法和大电流阈值电压(V_(GE,th))法的测量原理,对压接型器件的适用性和测量准确度... 利用热网络模型和有限元仿真分析了压接型IGBT器件升降温曲线不具有等效性的原因,研究了压接型IGBT器件升温曲线的测量方法,对比了大电流通态压降(V_(CE))法和大电流阈值电压(V_(GE,th))法的测量原理,对压接型器件的适用性和测量准确度等。仿真结果表明,接触热阻在升温和降温阶段受压力的影响出现了不同的变化趋势,导致了升降温曲线的非等效性。实验结果表明,大电流V_(GE,th)法有效降低了压力对测量带来的影响,测量更为准确,测量误差基本在1 K以内,低于大电流V_(CE)法,为压接型IGBT器件进一步的多物理场耦合研究和老化监测提供了参考。此外,实验结果还表明压接型IGBT器件在升降温过程中,压力变化越大,升降温曲线的差异越明显。 展开更多
关键词 接型IGBT器件 温等效性 升温曲线测量 大电流通(v_(ce)) 大电流阈值(v_(GE th))
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