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一种电极型MEMS电场传感器封装结构
被引量：
4
1
作者
闻小龙
任天令
夏善红
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2016年第11期2960-2964,共5页
为了提高MEMS电场传感器敏感芯片封装的环境适应性,该文提出一种新型的电极型MEMS电场传感器封装结构。区别于将传感器敏感芯片及探头放置于被测环境中,该文通过在MEMS电场传感器封装管壳外部增加封装电极,仅将封装电极暴露在被测环境中...
为了提高MEMS电场传感器敏感芯片封装的环境适应性,该文提出一种新型的电极型MEMS电场传感器封装结构。区别于将传感器敏感芯片及探头放置于被测环境中,该文通过在MEMS电场传感器封装管壳外部增加封装电极,仅将封装电极暴露在被测环境中,有效避免了传感器敏感芯片封装管壳受到多种恶劣环境的干扰。研制出基于新型封装结构的MEMS地面电场传感器及探空电场传感器,仿真及试验结果表明,该结构传感器能够实现对电场高精度准确测量,在高湿、低温等恶劣环境下输出稳定可靠。
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关键词
电场
传感器
微机械电子系统
封装
环境适应性
大气电场探测
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职称材料
题名
一种电极型MEMS电场传感器封装结构
被引量：
4
1
作者
闻小龙
任天令
夏善红
机构
清华大学微电子学研究所
中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室
出处
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2016年第11期2960-2964,共5页
基金
国家自然科学基金(61302032
61327810
61201078)
文摘
为了提高MEMS电场传感器敏感芯片封装的环境适应性,该文提出一种新型的电极型MEMS电场传感器封装结构。区别于将传感器敏感芯片及探头放置于被测环境中,该文通过在MEMS电场传感器封装管壳外部增加封装电极,仅将封装电极暴露在被测环境中,有效避免了传感器敏感芯片封装管壳受到多种恶劣环境的干扰。研制出基于新型封装结构的MEMS地面电场传感器及探空电场传感器,仿真及试验结果表明,该结构传感器能够实现对电场高精度准确测量,在高湿、低温等恶劣环境下输出稳定可靠。
关键词
电场
传感器
微机械电子系统
封装
环境适应性
大气电场探测
Keywords
Electric field micro sensor
Micro-Electro-Mechanical System （MEMS）
Package
Environmentaladaptation
Atmospheric electric field
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种电极型MEMS电场传感器封装结构
闻小龙
任天令
夏善红
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2016
4
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