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大气压下甲烷等离子枪的光谱诊断研究
被引量：
2
1
作者
张军峰
边心超
+2 位作者
陈强
张跃飞
刘福平
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期268-272,共5页
以甲烷为反应气体,氩气为辅助气体,通过大气压介质阻挡放电等离子枪,制备纳米类金刚石。在此过程中,利用发射光谱对甲烷等离子体中产生的活性粒子进行光学发射特征的原位诊断。通过对检测到的发射光谱谱图的研究,证实了CH、C2、Hα等自...
以甲烷为反应气体,氩气为辅助气体,通过大气压介质阻挡放电等离子枪,制备纳米类金刚石。在此过程中,利用发射光谱对甲烷等离子体中产生的活性粒子进行光学发射特征的原位诊断。通过对检测到的发射光谱谱图的研究,证实了CH、C2、Hα等自由基粒子的存在,研究了不同的实验参数,如放电电压和气体流量对CH活性粒子发射强度的影响,并由此分析了甲烷可能的离解过程,同时计算了不同条件下的电子温度。结果表明,随着输入电压及CH4流量的增加,CH自由基的发射强度随之增加。根据掺入甲烷的Ar原子谱线计算出电子温度,其范围在0.4eV～0.6eV之间,而且随着输入电压及气体流量的增加而降低。
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关键词
发射光谱
甲烷
大气压等离子枪
电子温度
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职称材料
金属密封环表面大气压等离子体枪沉积类金刚石薄膜耐磨性能
被引量：
1
2
作者
陈飞
陈家庆
+1 位作者
张跃飞
吕反修
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期36-39,共4页
采用大气压介质阻挡放电等离子体枪,在低温下(<350℃),以甲烷为单体,氩气为工作气体,在金属密封环表面制备一层附着牢固的类金刚石薄膜(DLC),以期改善其表面耐磨性能。利用激光拉曼(Raman)光谱分析所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显...
采用大气压介质阻挡放电等离子体枪,在低温下(<350℃),以甲烷为单体,氩气为工作气体,在金属密封环表面制备一层附着牢固的类金刚石薄膜(DLC),以期改善其表面耐磨性能。利用激光拉曼(Raman)光谱分析所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜(AFM)分析其表面形貌;利用划痕仪测量其与基体的结合力;用扫描电子显微镜(SEM)观察其划痕形貌;并利用球-盘摩擦磨损实验仪考察其耐磨性能。结果表明:在本实验工艺条件下沉积的类金刚石薄膜厚度约为500nm,薄膜均匀且致密,表面粗糙度为Ra5～6nm,其与基体结合力达到49N;制备的DLC薄膜具有优良的减摩性,其摩擦因数为0.148,较基体20CrNiMo的摩擦因数0.65明显减小,且耐磨性能得到提高。
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关键词
类金刚石薄膜
金属密封环
大气压
等离子
体
枪
磨损性能
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职称材料
题名
大气压下甲烷等离子枪的光谱诊断研究
被引量：
2
1
作者
张军峰
边心超
陈强
张跃飞
刘福平
机构
北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室等离子体物理及材料研究室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期268-272,共5页
基金
国家自然科学基金(No.10775017)
PHR(IHLB)资助
文摘
以甲烷为反应气体,氩气为辅助气体,通过大气压介质阻挡放电等离子枪,制备纳米类金刚石。在此过程中,利用发射光谱对甲烷等离子体中产生的活性粒子进行光学发射特征的原位诊断。通过对检测到的发射光谱谱图的研究,证实了CH、C2、Hα等自由基粒子的存在,研究了不同的实验参数,如放电电压和气体流量对CH活性粒子发射强度的影响,并由此分析了甲烷可能的离解过程,同时计算了不同条件下的电子温度。结果表明,随着输入电压及CH4流量的增加,CH自由基的发射强度随之增加。根据掺入甲烷的Ar原子谱线计算出电子温度,其范围在0.4eV～0.6eV之间,而且随着输入电压及气体流量的增加而降低。
关键词
发射光谱
甲烷
大气压等离子枪
电子温度
Keywords
OES, CH4, Atmospheric pressure plasma jet, Electron temperature
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
金属密封环表面大气压等离子体枪沉积类金刚石薄膜耐磨性能
被引量：
1
2
作者
陈飞
陈家庆
张跃飞
吕反修
机构
北京石油化工学院材料科学与工程系
北京工业大学固体微结构与性能研究所
北京科技大学材料科学与工程学院
出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期36-39,共4页
基金
国家自然科学基金项目(50874018)
文摘
采用大气压介质阻挡放电等离子体枪,在低温下(<350℃),以甲烷为单体,氩气为工作气体,在金属密封环表面制备一层附着牢固的类金刚石薄膜(DLC),以期改善其表面耐磨性能。利用激光拉曼(Raman)光谱分析所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜(AFM)分析其表面形貌;利用划痕仪测量其与基体的结合力;用扫描电子显微镜(SEM)观察其划痕形貌;并利用球-盘摩擦磨损实验仪考察其耐磨性能。结果表明:在本实验工艺条件下沉积的类金刚石薄膜厚度约为500nm,薄膜均匀且致密,表面粗糙度为Ra5～6nm,其与基体结合力达到49N;制备的DLC薄膜具有优良的减摩性,其摩擦因数为0.148,较基体20CrNiMo的摩擦因数0.65明显减小,且耐磨性能得到提高。
关键词
类金刚石薄膜
金属密封环
大气压
等离子
体
枪
磨损性能
Keywords
DLC film
metal seal ring
atmospheric pressure plasma gun
antiwear behavior
分类号
TB43 [一般工业技术]
TH117.1 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大气压下甲烷等离子枪的光谱诊断研究
张军峰
边心超
陈强
张跃飞
刘福平
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
金属密封环表面大气压等离子体枪沉积类金刚石薄膜耐磨性能
陈飞
陈家庆
张跃飞
吕反修
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
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职称材料
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