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金属密封环表面大气压等离子体枪沉积类金刚石薄膜耐磨性能
被引量：
1
1
作者
陈飞
陈家庆
+1 位作者
张跃飞
吕反修
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期36-39,共4页
采用大气压介质阻挡放电等离子体枪,在低温下(<350℃),以甲烷为单体,氩气为工作气体,在金属密封环表面制备一层附着牢固的类金刚石薄膜(DLC),以期改善其表面耐磨性能。利用激光拉曼(Raman)光谱分析所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显...
采用大气压介质阻挡放电等离子体枪,在低温下(<350℃),以甲烷为单体,氩气为工作气体,在金属密封环表面制备一层附着牢固的类金刚石薄膜(DLC),以期改善其表面耐磨性能。利用激光拉曼(Raman)光谱分析所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜(AFM)分析其表面形貌;利用划痕仪测量其与基体的结合力;用扫描电子显微镜(SEM)观察其划痕形貌;并利用球-盘摩擦磨损实验仪考察其耐磨性能。结果表明:在本实验工艺条件下沉积的类金刚石薄膜厚度约为500nm,薄膜均匀且致密,表面粗糙度为Ra5～6nm,其与基体结合力达到49N;制备的DLC薄膜具有优良的减摩性,其摩擦因数为0.148,较基体20CrNiMo的摩擦因数0.65明显减小,且耐磨性能得到提高。
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关键词
类金刚石薄膜
金属密封环
大气压等离子体枪
磨损性能
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职称材料
题名
金属密封环表面大气压等离子体枪沉积类金刚石薄膜耐磨性能
被引量：
1
1
作者
陈飞
陈家庆
张跃飞
吕反修
机构
北京石油化工学院材料科学与工程系
北京工业大学固体微结构与性能研究所
北京科技大学材料科学与工程学院
出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期36-39,共4页
基金
国家自然科学基金项目(50874018)
文摘
采用大气压介质阻挡放电等离子体枪,在低温下(<350℃),以甲烷为单体,氩气为工作气体,在金属密封环表面制备一层附着牢固的类金刚石薄膜(DLC),以期改善其表面耐磨性能。利用激光拉曼(Raman)光谱分析所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜(AFM)分析其表面形貌;利用划痕仪测量其与基体的结合力;用扫描电子显微镜(SEM)观察其划痕形貌;并利用球-盘摩擦磨损实验仪考察其耐磨性能。结果表明:在本实验工艺条件下沉积的类金刚石薄膜厚度约为500nm,薄膜均匀且致密,表面粗糙度为Ra5～6nm,其与基体结合力达到49N;制备的DLC薄膜具有优良的减摩性,其摩擦因数为0.148,较基体20CrNiMo的摩擦因数0.65明显减小,且耐磨性能得到提高。
关键词
类金刚石薄膜
金属密封环
大气压等离子体枪
磨损性能
Keywords
DLC film
metal seal ring
atmospheric pressure plasma gun
antiwear behavior
分类号
TB43 [一般工业技术]
TH117.1 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
金属密封环表面大气压等离子体枪沉积类金刚石薄膜耐磨性能
陈飞
陈家庆
张跃飞
吕反修
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
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