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基于PMN-PT融合结构的体声波谐振器设计
1
作者
赵昕子
吴坤
+1 位作者
田明玉
蒋平英
《压电与声光》
北大核心
2025年第3期545-549,共5页
研究了一种机电耦合系数约为39.2%的新型压电材料PMN-PT作为体声波器件的压电材料时的性能。采用有限元仿真方法,在空气隙型以及凹凸层结构的薄膜体声波谐振器(FBAR)的基础上提出了融合结构FBAR的二维有限元仿真模型。通过有限元仿真分...
研究了一种机电耦合系数约为39.2%的新型压电材料PMN-PT作为体声波器件的压电材料时的性能。采用有限元仿真方法,在空气隙型以及凹凸层结构的薄膜体声波谐振器(FBAR)的基础上提出了融合结构FBAR的二维有限元仿真模型。通过有限元仿真分析对比了上述两种结构的FBAR的导纳及品质因数(Q)值曲线,验证融合结构对S波段、C波段器件的杂波抑制以及Q值提升能力,完成了基于PMN-PT的低杂波高Q值FBAR设计。仿真结果表明,融合结构的设计能够有效抑制空气隙型FBAR所产生的杂波,同时S波段、C波段器件的Q值分别提升了101.8%,350.4%。
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关键词
薄膜体声波谐振器
低杂波高品质因数(Q)值
多层结构
有限元仿真
空气桥结构
融合结构
大机电耦合系数
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职称材料
题名
基于PMN-PT融合结构的体声波谐振器设计
1
作者
赵昕子
吴坤
田明玉
蒋平英
机构
电子科技大学信息与通信工程学院
中国电子科技集团公司第二十六研究所
国知创新(重庆)科技有限公司
出处
《压电与声光》
北大核心
2025年第3期545-549,共5页
文摘
研究了一种机电耦合系数约为39.2%的新型压电材料PMN-PT作为体声波器件的压电材料时的性能。采用有限元仿真方法,在空气隙型以及凹凸层结构的薄膜体声波谐振器(FBAR)的基础上提出了融合结构FBAR的二维有限元仿真模型。通过有限元仿真分析对比了上述两种结构的FBAR的导纳及品质因数(Q)值曲线,验证融合结构对S波段、C波段器件的杂波抑制以及Q值提升能力,完成了基于PMN-PT的低杂波高Q值FBAR设计。仿真结果表明,融合结构的设计能够有效抑制空气隙型FBAR所产生的杂波,同时S波段、C波段器件的Q值分别提升了101.8%,350.4%。
关键词
薄膜体声波谐振器
低杂波高品质因数(Q)值
多层结构
有限元仿真
空气桥结构
融合结构
大机电耦合系数
Keywords
thin film bulk acoustic resonator
low stray wave and high Q factor
multi-layer structure
finite element simulation
air-bridge structure
fused structure
large electromechanical coupling coefficient
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
TN384 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
基于PMN-PT融合结构的体声波谐振器设计
赵昕子
吴坤
田明玉
蒋平英
《压电与声光》
北大核心
2025
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