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题名大尺寸厚膜压电陶瓷驱动变形镜的制备工艺研究
被引量：3
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作者
刘相果
胡东霞
胡吉海
冯小东
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机构
中国电子科技集团公司第
中国工程物理研究院激光工程中心
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2011年第4期570-572,577,共4页
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文摘
研制了一种适合高频响应变形镜使用要求的压电陶瓷材料体系，并采用流延工艺成功制备了大尺寸厚膜（Ф90mm×0．30mm），并采用粘接固化工艺制备出Ф90mm口径的压电厚膜驱动连续变形镜。结果表明，压电陶瓷材料配方通式为Pb1-aMa[（Zn1-bL6）1／3Nb2（1-x）3]eZTfTigOh，e＋f＋g=1，M—Ca、Sr、Ba、La、K，L—Ni、Co、Fe，其机电耦合系数kp≥O．72，压电常数d33≥590pC／N，居里温度Tc≥300℃，介电损耗tanδ≤1．2％，介电常数ε33^T/ε0=2000-2500，烧成温度1150℃；扣除离焦前的压电厚膜驱动连续变形镜面形约3μm，扣除离焦后的面形约0．4μm；陶瓷厚膜的烧银过程变形致使镜面粘接工艺过程气泡难以消除，产生变形镜面-陶瓷间粘接不连续。
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关键词
大尺寸厚膜压电陶瓷
流延工艺
变形镜
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Keywords
large-size thick film piezoelectric ceramics
casting techniques
bimorph deformable mirror
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分类号
TM282
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名8×8阵列压电厚膜驱动变形镜的制备及性能研究
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作者
刘相果
胡东霞
冯小东
曾祥明
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机构
中国电子科技集团公司第
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2013年第1期66-69,共4页
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文摘
利用流延工艺制备大尺寸高性能压电陶瓷片(100mm×100mm×0.50mm),在此基础上研究8×8阵列排布的厚膜压电陶瓷驱动连续变形镜的制备工艺技术,并对变形镜的理论拟合面形和实际闭环控制校正面形进行研究分析。结果表明,变形镜的初始面形的像差振幅为2.664λ,像差均方根振幅为0.557λ,而经闭环控制校正+手动微校正后后,获得较佳的镜面效果像差振幅为0.36λ,像差均方根振幅为0.095λ;闭环控制校正面形与理论拟合的面形(像差振幅为0.005λ,像差均方根振幅为0)存在一定差距,主要原因是变形镜制备工艺过程或驱动闭环控制系统存在一定的滞后性或试验误差造成的。
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关键词
大尺寸厚膜压电陶瓷
流延工艺
变形镜
闭环控制
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Keywords
piezoelectric ceramics with thick film and big size
casting techniques, bimorph deformable mirror
feedback control technology
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分类号
TN282
[电子电信—物理电子学]
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