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Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体流动和传热
1
作者
陈淑仙
李明伟
+1 位作者
胡文瑞
曾丹苓
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第9期96-100,共5页
采用低雷诺数κ-ε模型,计算分析了Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体内的热量、动量输运特性。结果表明:适当的坩埚旋转能有效抑制晶体旋转产生的对流和浮力对流,增大晶体转速能使晶体/熔体界面附近等温线更加平直,适当的坩埚、晶体转速匹...
采用低雷诺数κ-ε模型,计算分析了Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体内的热量、动量输运特性。结果表明:适当的坩埚旋转能有效抑制晶体旋转产生的对流和浮力对流,增大晶体转速能使晶体/熔体界面附近等温线更加平直,适当的坩埚、晶体转速匹配能够抑止晶体/熔体界面附近的温度波动,热毛细力对强烈熔体流动的影响可以忽略不计,但对较弱的熔体流动影响较大。文中还给出了较为适宜的坩埚、晶体转速匹配方式。研究结果为生长高质量大型砷化镓单晶提供了有重要价值的数值依据。
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关键词
Czochralski法
大型砷化镓
紊流
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职称材料
题名
Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体流动和传热
1
作者
陈淑仙
李明伟
胡文瑞
曾丹苓
机构
重庆大学动力工程学院
中国科学院力学所
出处
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第9期96-100,共5页
基金
教育部优秀青年教师资助计划项目([2002]40)
文摘
采用低雷诺数κ-ε模型,计算分析了Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体内的热量、动量输运特性。结果表明:适当的坩埚旋转能有效抑制晶体旋转产生的对流和浮力对流,增大晶体转速能使晶体/熔体界面附近等温线更加平直,适当的坩埚、晶体转速匹配能够抑止晶体/熔体界面附近的温度波动,热毛细力对强烈熔体流动的影响可以忽略不计,但对较弱的熔体流动影响较大。文中还给出了较为适宜的坩埚、晶体转速匹配方式。研究结果为生长高质量大型砷化镓单晶提供了有重要价值的数值依据。
关键词
Czochralski法
大型砷化镓
紊流
Keywords
Czochralski method
large GaAs
turbulent flow
分类号
TK114 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体流动和传热
陈淑仙
李明伟
胡文瑞
曾丹苓
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
0
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