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用于太空望远镜的大口径薄膜菲涅尔衍射元件
被引量：
18
1
作者
张健
栗孟娟
+4 位作者
阴刚华
焦建超
刘正坤
徐向东
付绍军
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期1289-1296,共8页
为了满足空间衍射成像系统对大口径、轻量化衍射元件的需求,设计制作了直径为400mm的聚酰亚胺(PI)薄膜菲涅尔衍射元件。通过紫外光刻、离子束刻蚀等微细加工方法在石英基底上制作衍射图形,然后将衍射图形复制到PI薄膜上得到菲涅尔衍射...
为了满足空间衍射成像系统对大口径、轻量化衍射元件的需求,设计制作了直径为400mm的聚酰亚胺(PI)薄膜菲涅尔衍射元件。通过紫外光刻、离子束刻蚀等微细加工方法在石英基底上制作衍射图形,然后将衍射图形复制到PI薄膜上得到菲涅尔衍射型薄膜元件。结合有限元法探究了薄膜复制过程中热应力的变化规律及降低热应力的方法,分析了影响薄膜衍射效率的因素及薄膜制作误差、温度变化对薄膜成像的影响,最终实现了大面积薄膜与基底的分离,并通过局部氧气等离子体轰击提高了薄膜衍射效率的均匀性。经测试,薄膜菲涅尔衍射元件的厚度约为20μm,在波长633nm处的实际衍射效率平均值为33.14%,达到了理论效率的81.83%,衍射效率的均方根值RMS=0.01。实验结果表明,通过紫外光刻、离子束刻蚀和薄膜复制的方法可以得到大口径、高衍射效率的薄膜菲涅尔衍射元件。
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关键词
衍射
光学
大口径衍射元件
PI薄膜
衍射
效率
空间望远镜
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职称材料
条形射频源大口径离子束刻蚀机性能(英文)
被引量：
2
2
作者
董晓浩
刘颖
+8 位作者
赵飞云
徐德权
徐向东
周银贵
汪啸
姚传荣
洪义麟
付绍军
徐朝银
《中国科学技术大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期530-535,共6页
针对大尺寸基底往复扫描条形离子束来实现大面积刻蚀的特点,实验测试了基于射频感应耦合等离子体离子源大型离子束刻蚀机的性能.利用法拉第筒扫描探测系统在线测量束流密度,通过控制气体流量、调节加速电压等,得到了纵向束流密度±5...
针对大尺寸基底往复扫描条形离子束来实现大面积刻蚀的特点,实验测试了基于射频感应耦合等离子体离子源大型离子束刻蚀机的性能.利用法拉第筒扫描探测系统在线测量束流密度,通过控制气体流量、调节加速电压等,得到了纵向束流密度±5.3%均匀性的较好结果.刻蚀实验表明40 cm长度范围刻蚀深度均匀性为±5.4%,同时具有较好的束流稳定性.添加束阑,并结合掩模修正束流,会得到更好的束流密度与刻蚀深度均匀性.
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关键词
离子束刻蚀机
条形射频离子源
束流密度均匀性
束阑
大口径
衍射
光学
元件
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职称材料
题名
用于太空望远镜的大口径薄膜菲涅尔衍射元件
被引量：
18
1
作者
张健
栗孟娟
阴刚华
焦建超
刘正坤
徐向东
付绍军
机构
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
北京空间机电研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期1289-1296,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.11375175)
文摘
为了满足空间衍射成像系统对大口径、轻量化衍射元件的需求,设计制作了直径为400mm的聚酰亚胺(PI)薄膜菲涅尔衍射元件。通过紫外光刻、离子束刻蚀等微细加工方法在石英基底上制作衍射图形,然后将衍射图形复制到PI薄膜上得到菲涅尔衍射型薄膜元件。结合有限元法探究了薄膜复制过程中热应力的变化规律及降低热应力的方法,分析了影响薄膜衍射效率的因素及薄膜制作误差、温度变化对薄膜成像的影响,最终实现了大面积薄膜与基底的分离,并通过局部氧气等离子体轰击提高了薄膜衍射效率的均匀性。经测试,薄膜菲涅尔衍射元件的厚度约为20μm,在波长633nm处的实际衍射效率平均值为33.14%,达到了理论效率的81.83%,衍射效率的均方根值RMS=0.01。实验结果表明,通过紫外光刻、离子束刻蚀和薄膜复制的方法可以得到大口径、高衍射效率的薄膜菲涅尔衍射元件。
关键词
衍射
光学
大口径衍射元件
PI薄膜
衍射
效率
空间望远镜
Keywords
diffraction optics
large diameter diffraction elements
pI membrane
diffraction efficiency
space telescope
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
条形射频源大口径离子束刻蚀机性能(英文)
被引量：
2
2
作者
董晓浩
刘颖
赵飞云
徐德权
徐向东
周银贵
汪啸
姚传荣
洪义麟
付绍军
徐朝银
机构
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
出处
《中国科学技术大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期530-535,共6页
基金
National High Technology Research and Development Program of China("863"Program)(2005AA849020)
文摘
针对大尺寸基底往复扫描条形离子束来实现大面积刻蚀的特点,实验测试了基于射频感应耦合等离子体离子源大型离子束刻蚀机的性能.利用法拉第筒扫描探测系统在线测量束流密度,通过控制气体流量、调节加速电压等,得到了纵向束流密度±5.3%均匀性的较好结果.刻蚀实验表明40 cm长度范围刻蚀深度均匀性为±5.4%,同时具有较好的束流稳定性.添加束阑,并结合掩模修正束流,会得到更好的束流密度与刻蚀深度均匀性.
关键词
离子束刻蚀机
条形射频离子源
束流密度均匀性
束阑
大口径
衍射
光学
元件
Keywords
ion bean etcher
radio frequency linear ion beam source
beam current density uniformity
beam diaphragm
large aperture diffraction optical elements
分类号
TN405.982 [电子电信—微电子学与固体电子学]
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于太空望远镜的大口径薄膜菲涅尔衍射元件
张健
栗孟娟
阴刚华
焦建超
刘正坤
徐向东
付绍军
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
18
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
条形射频源大口径离子束刻蚀机性能(英文)
董晓浩
刘颖
赵飞云
徐德权
徐向东
周银贵
汪啸
姚传荣
洪义麟
付绍军
徐朝银
《中国科学技术大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007
2
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职称材料
已选择
0
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引证文献
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