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利用Zemax辅助标定长期存放的大口径圆形离轴非球面
被引量:
2
1
作者
叶海仙
鄢定尧
+1 位作者
张宁
杨李茗
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2011年第7期1310-1313,共4页
检测标定了一块放置多年的Φ530 mm离轴非球面。根据当年的结构参数,在光学设计软件Zemax中建立了该离轴非球面的检测模型。利用y轴离心和x轴倾斜实现了离轴和光束倾斜。通过对某结构参数多次赋值,并将其他结构参数设为变量,优化并观察...
检测标定了一块放置多年的Φ530 mm离轴非球面。根据当年的结构参数,在光学设计软件Zemax中建立了该离轴非球面的检测模型。利用y轴离心和x轴倾斜实现了离轴和光束倾斜。通过对某结构参数多次赋值,并将其他结构参数设为变量,优化并观察干涉图变化,找到最佳参数值。根据Zemax对参数的优化结果,使用4D干涉仪和Φ510 mm的平面反射镜,搭建实际检测光路,观察干涉图并进行微调,测得最终结果。去彗差和像散前后图像PV值几乎不变,达到了调节标定要求。使用Zemax软件辅助干涉仪对离轴非球面的检测,大大提高了检测效率,有利于光学加工效率的提高。
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关键词
大口径离轴非球面
Zemax辅助标定
离轴
量
4D干涉仪
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职称材料
题名
利用Zemax辅助标定长期存放的大口径圆形离轴非球面
被引量:
2
1
作者
叶海仙
鄢定尧
张宁
杨李茗
机构
成都精密光学工程研究中心
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2011年第7期1310-1313,共4页
基金
国家科技重大专项
文摘
检测标定了一块放置多年的Φ530 mm离轴非球面。根据当年的结构参数,在光学设计软件Zemax中建立了该离轴非球面的检测模型。利用y轴离心和x轴倾斜实现了离轴和光束倾斜。通过对某结构参数多次赋值,并将其他结构参数设为变量,优化并观察干涉图变化,找到最佳参数值。根据Zemax对参数的优化结果,使用4D干涉仪和Φ510 mm的平面反射镜,搭建实际检测光路,观察干涉图并进行微调,测得最终结果。去彗差和像散前后图像PV值几乎不变,达到了调节标定要求。使用Zemax软件辅助干涉仪对离轴非球面的检测,大大提高了检测效率,有利于光学加工效率的提高。
关键词
大口径离轴非球面
Zemax辅助标定
离轴
量
4D干涉仪
Keywords
large-aperture off-axis aspheric surface
Zemax aided labeling
off-axis amount
4D interferometer
分类号
TB133 [机械工程—光学工程]
TG806 [金属学及工艺—公差测量技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用Zemax辅助标定长期存放的大口径圆形离轴非球面
叶海仙
鄢定尧
张宁
杨李茗
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2011
2
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