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题名大口径碳化硅反射镜面PVD改性工艺的研究
被引量：1
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作者
汪建君
袁吕军
武中华
周馨
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机构
中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
中国科学院天文光学技术重点实验室
中国科学院大学
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期854-859,共6页
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基金
天文台站设备更新及重大仪器设备运行专项(C-98)
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文摘
通过将多块不同尺寸的碳化硅平面试片以及一块口径为520mm碳化硅凹非球面反射镜作为镜面改性工艺技术的实验平台,对大口径碳化硅反射镜面PVD改性工艺技术进行探索、分析和研究。重点研究了前期PVD改性前镜面特性与PVD改性层的最佳匹配关系,主要是PVD改性层与镜面粗糙度和残留面形误差的要求和最佳结合点。采用的抛光方式为磨盘相对镜体做行星运动,采用相同的离子束辅助沉积法进行凹椭球面碳化硅反射镜的镜面改性。实验结果表明:通过选用合适的方案对改性后的PVD改性层镜面的面形误差进行修抛,可同时提高其镜面光洁度和粗糙度,最终测试结果为0.756nm(Sq),与改性前比较,粗糙度得到一定程度的提高。
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关键词
光学工艺
大口径碳化硅反射镜
PVD改性
抛光
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Keywords
optical process
large-aperture SiC mirror
PVD modification
polishing
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分类号
TN205
[电子电信—物理电子学]
TB332
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名大口径轻质SiC反射镜的研究与应用
被引量：18
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作者
赵汝成
包建勋
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室
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出处
《中国光学》
EI
CAS
2014年第4期552-558,共7页
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文摘
介绍了大口径轻质碳化硅反射镜镜坯的基本结构、性能测试指标、国内应用及发展前景;阐述了碳化硅凝胶注模成型(Gel-casting)、反应烧结SiC(RB-SiC)与压力成型、常压烧结SiC(SSiC)两种国内主要制备大口径轻质碳化硅反射镜的方法;并对两种方法制备得到的1.45 m碳化硅镜坯的性能、测试数据及光学加工后的光学特性进行分析和比对,提出存在的问题,以供商榷,进而促进国内大口径轻质碳化硅反射镜的研究和发展。
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关键词
碳化硅
大口径碳化硅反射镜
制造工艺
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Keywords
SiC
large scale SiC mirror
fabricating processing
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分类号
TH743
[机械工程—光学工程]
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