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题名微半球谐振陀螺电极间隙高精度检测与调整方法
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作者
王大志
胡鑫
李义康
刘犇
王曦
梁世文
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机构
大连理工大学机械工程学院
高性能精密制造全国重点实验室
大连理工大学宁波研究院
中国工程物理研究院电子工程研究所
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出处
《中国惯性技术学报》
北大核心
2025年第1期82-88,共7页
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基金
国家自然科学基金(62074138)
宁波市自然科学基金项目(2022J008)
中央高校基本科研业务费(DUT22LAB405)。
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文摘
微半球谐振陀螺的电极间隙一致性直接影响陀螺的输出性能,为满足陀螺的高精度间隙调整,利用静电电容检测的方法对电极间隙进行表征,并通过精密位移调节陀螺电极间隙。构建了陀螺装配误差模型,仿真分析装配误差对周向静电电容的影响,设计开发了高精度多通道电容同步检测电路,测量精度误差<1.8%,重复测试偏差<6%,实现了静电电容的高精度测量。搭建了高精度陀螺装配实验平台,基于采集的周向电容,微调电极间隙,降低周向电容的离散程度。最终完成陀螺高精度装配与固定。实验结果表明,陀螺周向间隙误差≤5.6%,周向静电电容标准差为14.47fF,离散系数为5.5%,装配精度显著提高。
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关键词
微半球谐振陀螺
静电电容
间隙调整
多通道电容同步检测
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Keywords
micro-hemispherical resonant gyroscope
electrostatic capacitance
gap adjustment
simultaneous multi-channel capacitance detection
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分类号
TH824
[机械工程—精密仪器及机械]
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