期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
微机电系统CAD研究及发展现状
被引量：
1
1
作者
胡伟
胡国清
+1 位作者
魏昕
谢小柱
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期682-686,691,共6页
随着微机电系统(MEMS)的快速发展,要求MEMS计算机辅助设计(CAD)能对MEMS设计进行快速建模与仿真分析。介绍了MEMS CAD技术的发展背景及特点,详细阐述了现有MEMS CAD的工艺先行、基于标准工艺、Bottom-Up流程、Top-Down流程及支持任意设...
随着微机电系统(MEMS)的快速发展,要求MEMS计算机辅助设计(CAD)能对MEMS设计进行快速建模与仿真分析。介绍了MEMS CAD技术的发展背景及特点,详细阐述了现有MEMS CAD的工艺先行、基于标准工艺、Bottom-Up流程、Top-Down流程及支持任意设计流程等工作模式,综述了MEMS CAD所涉及的多能量域耦合分析、宏建模及材料数据库等关键技术,最后总结了MEMS CAD软件的两种设计方法。
展开更多
关键词
微机电系统(MEMS)CAD
设计模式
多能量域耦合
宏模型
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
微机电系统CAD研究及发展现状
被引量：
1
1
作者
胡伟
胡国清
魏昕
谢小柱
机构
华南理工大学机械与汽车工程学院
广东工业大学机电工程学院
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期682-686,691,共6页
文摘
随着微机电系统(MEMS)的快速发展,要求MEMS计算机辅助设计(CAD)能对MEMS设计进行快速建模与仿真分析。介绍了MEMS CAD技术的发展背景及特点,详细阐述了现有MEMS CAD的工艺先行、基于标准工艺、Bottom-Up流程、Top-Down流程及支持任意设计流程等工作模式,综述了MEMS CAD所涉及的多能量域耦合分析、宏建模及材料数据库等关键技术,最后总结了MEMS CAD软件的两种设计方法。
关键词
微机电系统(MEMS)CAD
设计模式
多能量域耦合
宏模型
Keywords
MEMS CAD
design mode
multi-energy domain coupling
macro-model
分类号
TN454 [电子电信—微电子学与固体电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机电系统CAD研究及发展现状
胡伟
胡国清
魏昕
谢小柱
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
