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多级弯曲磁微梁执行器力-磁耦合宏模型
被引量：
5
1
作者
方玉明
黄庆安
李伟华
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第z1期2194-2196,共3页
本文以多级弯曲磁微梁执行器为研究对象 ,先采用梁的模态函数线性组合来逼近梁的变形曲线 ,再将求模态磁场力的积分项分段求积 ,最后利用磁路定律 ,建立了考虑力 磁耦合的非线性方程组 ,克服了以往的模型不能考虑力 磁耦合的缺点 .方...
本文以多级弯曲磁微梁执行器为研究对象 ,先采用梁的模态函数线性组合来逼近梁的变形曲线 ,再将求模态磁场力的积分项分段求积 ,最后利用磁路定律 ,建立了考虑力 磁耦合的非线性方程组 ,克服了以往的模型不能考虑力 磁耦合的缺点 .方程组的复杂程度 (阶数 )与所取的模态阶数相关 .计算结果同实验数据对比表明 ,模型有足够的精度 。
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关键词
多级曲折磁芯微梁执行器
力-
磁
耦合
宏模型
微
机械
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职称材料
题名
多级弯曲磁微梁执行器力-磁耦合宏模型
被引量：
5
1
作者
方玉明
黄庆安
李伟华
机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第z1期2194-2196,共3页
基金
国家"8 63"计划项目 (No .2 0 0 2AA431 0 1 0 )
江苏省高校自然科学研究计划资助项目 (No .0 3KJB51 0 0 89)
文摘
本文以多级弯曲磁微梁执行器为研究对象 ,先采用梁的模态函数线性组合来逼近梁的变形曲线 ,再将求模态磁场力的积分项分段求积 ,最后利用磁路定律 ,建立了考虑力 磁耦合的非线性方程组 ,克服了以往的模型不能考虑力 磁耦合的缺点 .方程组的复杂程度 (阶数 )与所取的模态阶数相关 .计算结果同实验数据对比表明 ,模型有足够的精度 。
关键词
多级曲折磁芯微梁执行器
力-
磁
耦合
宏模型
微
机械
Keywords
magnetic microactuator with a multilevel meander
force-magnetic coupling
mems
macromodel
cantilever beam
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
多级弯曲磁微梁执行器力-磁耦合宏模型
方玉明
黄庆安
李伟华
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
5
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参考文献
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