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基于四极质谱分析计的多种类示漏气体检漏仪设计与应用
1
作者
白国云
潘荣敏
+4 位作者
陈锦林
陈涛
廖旭东
田爽
刘凯强
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第4期299-307,共9页
针对氦质谱检漏仪难以实现原位同工质检漏以及氦本底被污染后检漏效率低等问题,设计了一台多种示漏气体检漏仪,根据不同需求选择合适的示漏气体,可提高检测结果的准确性及效率。文章利用四极质谱计具备分析多种气体成分的特性,参照氦质...
针对氦质谱检漏仪难以实现原位同工质检漏以及氦本底被污染后检漏效率低等问题,设计了一台多种示漏气体检漏仪,根据不同需求选择合适的示漏气体,可提高检测结果的准确性及效率。文章利用四极质谱计具备分析多种气体成分的特性,参照氦质谱检漏仪的工作原理,设计了一套以四极质谱计为核心传感器能的检漏仪,在结构设计上,各零部件、控制器采用分体式结构设计,整机拆分组合灵活,可自行搭建4种检测系统;气体进样接口采用了三级分选结构,可以满足100 kPa~10^(-7)Pa压力下进样的需求,可实现负压与正压的检漏。在软件上研究了一种检漏信号的线性校准算法,同时将原软件的分压力信号转为了漏率信号,提高了检漏数据处理的可靠性和效率。多种类示漏气体检漏仪性能测试结果及应用表明,该检漏仪性能状态良好,负压检漏灵敏度可达10^(-13)Pa·m^(3)/s量级,正压检漏灵敏度可达10^(-8)Pa·m^(3)/s量级;以He、Kr、CF_(4)、Ne、Ar等可以作为示漏气体时,检漏灵敏度排序为He>Kr>CF_(4)>Ne≈Ar。该成果可为类似四极质谱检漏仪的研制提供技术支撑,可为示漏气体种类的选择提供依据。
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关键词
多种类示漏气体
四极质谱分析计
软件开发
检
漏
方法
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职称材料
题名
基于四极质谱分析计的多种类示漏气体检漏仪设计与应用
1
作者
白国云
潘荣敏
陈锦林
陈涛
廖旭东
田爽
刘凯强
机构
西北核技术研究所
出处
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第4期299-307,共9页
文摘
针对氦质谱检漏仪难以实现原位同工质检漏以及氦本底被污染后检漏效率低等问题,设计了一台多种示漏气体检漏仪,根据不同需求选择合适的示漏气体,可提高检测结果的准确性及效率。文章利用四极质谱计具备分析多种气体成分的特性,参照氦质谱检漏仪的工作原理,设计了一套以四极质谱计为核心传感器能的检漏仪,在结构设计上,各零部件、控制器采用分体式结构设计,整机拆分组合灵活,可自行搭建4种检测系统;气体进样接口采用了三级分选结构,可以满足100 kPa~10^(-7)Pa压力下进样的需求,可实现负压与正压的检漏。在软件上研究了一种检漏信号的线性校准算法,同时将原软件的分压力信号转为了漏率信号,提高了检漏数据处理的可靠性和效率。多种类示漏气体检漏仪性能测试结果及应用表明,该检漏仪性能状态良好,负压检漏灵敏度可达10^(-13)Pa·m^(3)/s量级,正压检漏灵敏度可达10^(-8)Pa·m^(3)/s量级;以He、Kr、CF_(4)、Ne、Ar等可以作为示漏气体时,检漏灵敏度排序为He>Kr>CF_(4)>Ne≈Ar。该成果可为类似四极质谱检漏仪的研制提供技术支撑,可为示漏气体种类的选择提供依据。
关键词
多种类示漏气体
四极质谱分析计
软件开发
检
漏
方法
Keywords
Multi-species leakage gases
Quadrupole mass spectrometer
Software development
Leak detection methods
分类号
J04 [艺术—艺术理论]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于四极质谱分析计的多种类示漏气体检漏仪设计与应用
白国云
潘荣敏
陈锦林
陈涛
廖旭东
田爽
刘凯强
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025
0
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