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一种MEMS多环谐振陀螺的品质因数在线测试方法被引量：2: 1; 作者任静波周怡 +2 位作者朱欣华周同苏岩《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第4期516-521,共6页; 针对MEMS多环谐振陀螺品质因数的快捷有效测定问题,提出了一种应用于MEMS多环谐振陀螺的品质因数在线测试方法。基于对MEMS多环谐振陀螺的动力学模型分析,得到陀螺驱动模态振动位移稳态解的幅值与陀螺的品质因数相关性。为了把陀螺的品... 展开更多; 关键词 MEMS多环谐振陀螺品质因数闭环驱动振动位移稳态解在线测试; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于刚度轴偏角预估机制的MEMS多环谐振陀螺全闭环控制方法被引量：3: 2; 作者周同余卓林《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期46-54,共9页; 针对微机电系统多环谐振陀螺正交闭环回路存在控制误差问题,提出一种基于刚度轴偏角预估机制的多环陀螺全闭环控制方法。该方法通过对微机电系统多环谐振陀螺刚度轴偏角预估,实现正交闭环回路参数自动优化调整。同时,提出了基于刚度轴... 展开更多; 关键词微机电系统多环谐振陀螺刚度轴偏角预估全闭环控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

多环谐振微陀螺结构参数对性能的影响分析被引量：5: 3; 作者谷留涛张卫平冯军《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第3期368-373,共6页; 多环谐振微陀螺是一种全对称平面结构的MEMS陀螺仪,具有体积小、功耗低、可批量制造、抗冲击性强等优点,是目前最具发展前景的MEMS陀螺仪之一。围绕多环谐振微陀螺的结构及其优化设计展开研究,深入分析了多环谐振微陀螺的结构机理和关... 展开更多; 关键词微机电系统多环谐振微机械陀螺有限元仿真优化设计; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS多环陀螺热弹性阻尼温度特性分析被引量：6: 4; 作者林晨苏岩 +2 位作者杨明明李毅轩朱欣华《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第6期793-798,共6页; 多环谐振陀螺热弹性阻尼的稳定性对陀螺的全温性能有重要影响。为了使阻尼的温度补偿有据可依,展开了多环谐振陀螺热弹性阻尼与温度关系的研究,利用理论计算与仿真相结合的方式建立了两者的数学模型。首先建立了常温下的多环谐振陀螺的... 展开更多; 关键词多环谐振陀螺热弹性阻尼温度特性热能量法曲线拟合; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种抗过载全硅谐振环式微机电陀螺设计和测试: 5; 作者王健岳亚洲 +3 位作者李文宏张彧哲吕平太雷宋家玮《中国惯性技术学报》 2025年第8期820-825,共6页; 设计并实现一款抗过载的全硅圆片级真空封装多环谐振式MEMS陀螺(DRG),采用体硅加工工艺,结构包括硅通孔(TSV)层,中间结构层和电互连绝缘体上硅薄膜(SOI)盖板层。为了降低陀螺热机械噪声和寄生模态耦合影响,中间(111)硅片结构层厚度选择... 展开更多; 关键词多环谐振式MEMS陀螺抗过载有限元仿真; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种MEMS多环谐振陀螺的品质因数在线测试方法被引量：2: 1; 作者任静波周怡朱欣华周同苏岩; 机构南京理工大学机械工程学院; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第4期516-521,共6页; 基金国家自然科学基金(青年)(62001223) 国家自然科学基金(面上)(61971466)。; 文摘针对MEMS多环谐振陀螺品质因数的快捷有效测定问题,提出了一种应用于MEMS多环谐振陀螺的品质因数在线测试方法。基于对MEMS多环谐振陀螺的动力学模型分析,得到陀螺驱动模态振动位移稳态解的幅值与陀螺的品质因数相关性。为了把陀螺的品质因数从振动位移稳态解的幅值中提取出来,采用锁相环(PLL)实现对陀螺驱动模态谐振频率的实时跟踪,采用自动增益控制(AGC)实现对MEMS多环谐振陀螺振动位移的闭环稳幅驱动。通过提取锁相环输出的谐振频率和振动位移稳态解的幅值解算出陀螺的品质因数。该方法与传统的品质因数测试方法不同之处在于不需要通过数据采集、离线处理等步骤就可以在线自动获取陀螺的品质因数,大大提高了品质因数测试的工作效率。实验结果表明,在陀螺上电后0.6 s左右即可获得相对准确的品质因数结果。; 关键词 MEMS多环谐振陀螺品质因数闭环驱动振动位移稳态解在线测试; Keywords MEMS disk resonator gyroscope quality factor close-loop drive vibration displacement steady state solution online testing; 分类号 U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于刚度轴偏角预估机制的MEMS多环谐振陀螺全闭环控制方法被引量：3: 2; 作者周同余卓林; 机构南京理工大学机械工程学院南京理工大学江苏省复杂运动体智能导航与控制研究中心; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期46-54,共9页; 基金国家自然科学基金(61971466) 装备预研基金快速扶持项目(80917020506)资助; 文摘针对微机电系统多环谐振陀螺正交闭环回路存在控制误差问题,提出一种基于刚度轴偏角预估机制的多环陀螺全闭环控制方法。该方法通过对微机电系统多环谐振陀螺刚度轴偏角预估,实现正交闭环回路参数自动优化调整。同时,提出了基于刚度轴偏角预估机制的全数字化闭环控制方法,实现微机电系统多环谐振陀螺的驱动、检测、正交、模态匹配环路的全闭环控制。该方法可提升正交闭环回路信噪比,增强陀螺正交漂移的抑制能力,降低陀螺零偏输出,改善陀螺的零偏不稳定性。实验结果表明,采用本文提出的基于刚度轴偏角预估机制的全闭环控制方法后,微机电系统多环谐振陀螺的零偏输出由0.201°/s降低为0.0213°/s,零偏不稳定性由39.42°/h降低为1.237°/h,分别降低了9.44倍和31.86倍,验证了该方法对提升微机电系统多环谐振陀螺仪性能的有效性。; 关键词微机电系统多环谐振陀螺刚度轴偏角预估全闭环控制; Keywords MEMS disk resonant gyroscope stiffness axis declination angle prediction full-closed loop control; 分类号 TH824 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名多环谐振微陀螺结构参数对性能的影响分析被引量：5: 3; 作者谷留涛张卫平冯军; 机构微米纳米加工技术国家级重点实验室; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第3期368-373,共6页; 基金国家自然科学基金项目(61574093) 国家重点实验室基金(614280504010317) +1 种基金上海航天技术研究院-上海交大航天先进技术联合研究中心自主项目(USCAST2016-5)。; 文摘多环谐振微陀螺是一种全对称平面结构的MEMS陀螺仪,具有体积小、功耗低、可批量制造、抗冲击性强等优点,是目前最具发展前景的MEMS陀螺仪之一。围绕多环谐振微陀螺的结构及其优化设计展开研究,深入分析了多环谐振微陀螺的结构机理和关键性能参数,搭建了一套通用的有限元计算平台,仿真分析了结构参数对其关键性能的影响。仿真结果表明,谐振环宽度和谐振子半径是影响多环谐振微陀螺性能的主要参数,通过减小环宽度和增加谐振子半径可以有效地提高陀螺性能;多环谐振微陀螺热弹性阻尼可以用Zener热弹性阻尼理论近似;多环谐振微陀螺角度增益大小不受结构参数的约束,约为0.4。其仿真分析结果可以为设计高品质多环谐振微机械陀螺提供一定的参考。; 关键词微机电系统多环谐振微机械陀螺有限元仿真优化设计; Keywords MEMS disk resonator micro-gyro finite element calculation optimization design; 分类号 U666.123 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS多环陀螺热弹性阻尼温度特性分析被引量：6: 4; 作者林晨苏岩杨明明李毅轩朱欣华; 机构南京理工大学机械工程学院; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第6期793-798,共6页; 基金装备预先研究项目(41417010303); 文摘多环谐振陀螺热弹性阻尼的稳定性对陀螺的全温性能有重要影响。为了使阻尼的温度补偿有据可依,展开了多环谐振陀螺热弹性阻尼与温度关系的研究,利用理论计算与仿真相结合的方式建立了两者的数学模型。首先建立了常温下的多环谐振陀螺的热弹性阻尼数学模型,从中分析出结构形式、工作模态振型及材料参数决定了热弹性阻尼的大小,而其中只有结构层的材料参数对温度较为敏感。因此建立了材料参数的温变数学模型,并利用该模型与理论和仿真相结合的热能量法建立了高效的多环谐振陀螺热弹性阻尼温变模型。接着利用该模型与幂函数拟合出了热弹性阻尼与温度之间的表达式。最后通过实验验证了模型与表达式的准确性,将误差量化后,模型参数误差最大值小于1.7%。; 关键词多环谐振陀螺热弹性阻尼温度特性热能量法曲线拟合; Keywords disk resonator gyroscope thermoelastic damping temperature characteristic thermal-energy method curve fitting; 分类号 U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种抗过载全硅谐振环式微机电陀螺设计和测试: 5; 作者王健岳亚洲李文宏张彧哲吕平太雷宋家玮; 机构中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所; 出处《中国惯性技术学报》 2025年第8期820-825,共6页; 基金国家自然科学基金联合基金项目(U2341246)。; 文摘设计并实现一款抗过载的全硅圆片级真空封装多环谐振式MEMS陀螺(DRG),采用体硅加工工艺,结构包括硅通孔(TSV)层,中间结构层和电互连绝缘体上硅薄膜(SOI)盖板层。为了降低陀螺热机械噪声和寄生模态耦合影响,中间(111)硅片结构层厚度选择270μm。环内和环外均布置电极方便进行模态驱动、检测和调谐控制。有限元仿真显示其具有良好抗冲击性能,面内方向可承受4.5×10^(4)g加速度冲击,面外方向可承受6×10~4g加速度冲击。测得谐振频率约14.6 kHz,加工频率裂解7.4 Hz,幅值衰减法测得驱动模态和检测模态品质因数约4.3×10^(4)。模态匹配下测得陀螺零偏不稳定性1.85(o)/h,角度随机游走(ARW)为0.051(o)/h。通过提高谐振环厚度的方法提高DRG陀螺有效质量,降低陀螺角度随机游走噪声和寄生模态耦合,同时器件具有优异的抗过载能力,为实现高精度抗过载DRG陀螺提供一种可行方法。; 关键词多环谐振式MEMS陀螺抗过载有限元仿真; Keywords disk resonant MEMS gyroscope anti-high overload finite element simulation; 分类号 V241.5 [航空宇航科学技术] TP212 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	一种MEMS多环谐振陀螺的品质因数在线测试方法	任静波周怡朱欣华周同苏岩	《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心	2021	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于刚度轴偏角预估机制的MEMS多环谐振陀螺全闭环控制方法	周同余卓林	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2023	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	多环谐振微陀螺结构参数对性能的影响分析	谷留涛张卫平冯军	《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心	2021	5	在线阅读下载PDF 职称材料
4	MEMS多环陀螺热弹性阻尼温度特性分析	林晨苏岩杨明明李毅轩朱欣华	《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心	2019	6	在线阅读下载PDF 职称材料
5	一种抗过载全硅谐振环式微机电陀螺设计和测试	王健岳亚洲李文宏张彧哲吕平太雷宋家玮	《中国惯性技术学报》	2025		在线阅读下载PDF 职称材料