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多温区空间晶体生长炉温度系统积分滑模变结构控制
被引量:
1
1
作者
于强
石春
+2 位作者
吕旭涛
秦琳琳
岳大志
《系统仿真学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期1667-1670,1674,共5页
多温区空间晶体生长炉温度系统是多输入多输出、强耦合对象。晶体生长要求对炉温进行精密控制,为抑制各温区间的耦合作用,提出一种积分滑模变结构控制器,利用其对匹配扰动的不变性实现解耦,同时,该控制器的积分作用可以有效减小系统稳...
多温区空间晶体生长炉温度系统是多输入多输出、强耦合对象。晶体生长要求对炉温进行精密控制,为抑制各温区间的耦合作用,提出一种积分滑模变结构控制器,利用其对匹配扰动的不变性实现解耦,同时,该控制器的积分作用可以有效减小系统稳态误差。仿真结果显示该方法是有效的。
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关键词
多温区空间晶体生长炉
解耦控制
积分滑模变结构控制
匹配条件
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职称材料
多温区空间晶体生长炉的解耦预测控制研究
被引量:
3
2
作者
于强
王刚
+2 位作者
秦琳琳
郑涛
吕旭涛
《系统仿真学报》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第8期1947-1950,1973,共5页
通过传热机理分析,推导出了多温区晶体生长炉的简化线性模型,使用递推最小二乘法辨识了模型参数。研究了解耦预测控制,改进了预测控制性能指标的选取方法,不需要在线调节前馈增益矩阵,提高了控制的实时性。对系统进行控制仿真,结果表明...
通过传热机理分析,推导出了多温区晶体生长炉的简化线性模型,使用递推最小二乘法辨识了模型参数。研究了解耦预测控制,改进了预测控制性能指标的选取方法,不需要在线调节前馈增益矩阵,提高了控制的实时性。对系统进行控制仿真,结果表明,该控制方法具有良好的控制精度,为该方法的实际应用奠定了基础。
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关键词
多温
区
晶体生长
炉
机理建模
解耦控制
预测控制
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职称材料
三温区晶体生长炉热场设计探讨
被引量:
1
3
作者
梁秀梅
陈巨才
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第3期318-324,共7页
晶体生长炉是晶体生长的基础。根据三硼酸锂 (LBO)、偏硼酸钡 (β BBO)等晶体生长的要求 ,我们设计制备了包含三温区的晶体生长炉。本文报道了关于该炉温场设计所考虑的基本问题和炉体材料的选择 ,给出了电气系统的基本框架及构件。实...
晶体生长炉是晶体生长的基础。根据三硼酸锂 (LBO)、偏硼酸钡 (β BBO)等晶体生长的要求 ,我们设计制备了包含三温区的晶体生长炉。本文报道了关于该炉温场设计所考虑的基本问题和炉体材料的选择 ,给出了电气系统的基本框架及构件。实际测量表明 :该炉控温精度在上温区为± 0 .135℃ ,中温区为± 0 .0 9℃ ,下温区为± 0 .136℃ ,高温区炉温均匀度为 0 .86℃ ,低温区炉温均匀度为 - 0 .86℃。
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关键词
晶体生长
热场
三
温
区
控
温
精度
炉
温
均匀度
晶体
炉
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职称材料
空间多温区炉温度梯度电控移动研究
被引量:
2
4
作者
罗军
《中国空间科学技术》
CSCD
北大核心
1995年第2期55-60,69,共7页
空间晶体生长多温区炉可避免机械振动对微重力环境的干扰,更适合于空间晶体生长实验,因此已受到广泛的重视。该文叙述了空间多温区炉的基本设计原理;提出了炉膛轴向温度分布及移动的两种模式,并对温度梯度电控移动这一关键技术进行...
空间晶体生长多温区炉可避免机械振动对微重力环境的干扰,更适合于空间晶体生长实验,因此已受到广泛的重视。该文叙述了空间多温区炉的基本设计原理;提出了炉膛轴向温度分布及移动的两种模式,并对温度梯度电控移动这一关键技术进行了分析;同时也简述了多温区炉电控系统的设计原理。在一个多温区炉实验模型中做了地面实验研究,在400~800℃的温度范围内,建立并电控地移动了最大25℃/cm的轴向温度梯度,移动过程匀速且平稳,最大速度24mm/h。
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关键词
空间
多温
区
炉
晶体生长
加热
炉
温
度梯度
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职称材料
题名
多温区空间晶体生长炉温度系统积分滑模变结构控制
被引量:
1
1
作者
于强
石春
吕旭涛
秦琳琳
岳大志
机构
中国科学院空间科学与应用研究中心
中国科学技术大学自动化系
出处
《系统仿真学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期1667-1670,1674,共5页
文摘
多温区空间晶体生长炉温度系统是多输入多输出、强耦合对象。晶体生长要求对炉温进行精密控制,为抑制各温区间的耦合作用,提出一种积分滑模变结构控制器,利用其对匹配扰动的不变性实现解耦,同时,该控制器的积分作用可以有效减小系统稳态误差。仿真结果显示该方法是有效的。
关键词
多温区空间晶体生长炉
解耦控制
积分滑模变结构控制
匹配条件
Keywords
multi-zone furnace for space crystal growth
decoupling control
integral slide-mode variable structure control
match condition
分类号
TP13 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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职称材料
题名
多温区空间晶体生长炉的解耦预测控制研究
被引量:
3
2
作者
于强
王刚
秦琳琳
郑涛
吕旭涛
机构
中国科学院空间科学与应用研究中心
中国科学技术大学自动化系
出处
《系统仿真学报》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第8期1947-1950,1973,共5页
文摘
通过传热机理分析,推导出了多温区晶体生长炉的简化线性模型,使用递推最小二乘法辨识了模型参数。研究了解耦预测控制,改进了预测控制性能指标的选取方法,不需要在线调节前馈增益矩阵,提高了控制的实时性。对系统进行控制仿真,结果表明,该控制方法具有良好的控制精度,为该方法的实际应用奠定了基础。
关键词
多温
区
晶体生长
炉
机理建模
解耦控制
预测控制
Keywords
multi-zone furnace for crystal growth
mechanic modeling
decoupling control
predictive control
分类号
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
三温区晶体生长炉热场设计探讨
被引量:
1
3
作者
梁秀梅
陈巨才
机构
西安理工大学
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第3期318-324,共7页
文摘
晶体生长炉是晶体生长的基础。根据三硼酸锂 (LBO)、偏硼酸钡 (β BBO)等晶体生长的要求 ,我们设计制备了包含三温区的晶体生长炉。本文报道了关于该炉温场设计所考虑的基本问题和炉体材料的选择 ,给出了电气系统的基本框架及构件。实际测量表明 :该炉控温精度在上温区为± 0 .135℃ ,中温区为± 0 .0 9℃ ,下温区为± 0 .136℃ ,高温区炉温均匀度为 0 .86℃ ,低温区炉温均匀度为 - 0 .86℃。
关键词
晶体生长
热场
三
温
区
控
温
精度
炉
温
均匀度
晶体
炉
Keywords
heat field
three-temperature zone
temperature control accuracy
uniformity
crystal furnace
分类号
O782 [理学—晶体学]
在线阅读
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职称材料
题名
空间多温区炉温度梯度电控移动研究
被引量:
2
4
作者
罗军
机构
兰州物理研究所
出处
《中国空间科学技术》
CSCD
北大核心
1995年第2期55-60,69,共7页
文摘
空间晶体生长多温区炉可避免机械振动对微重力环境的干扰,更适合于空间晶体生长实验,因此已受到广泛的重视。该文叙述了空间多温区炉的基本设计原理;提出了炉膛轴向温度分布及移动的两种模式,并对温度梯度电控移动这一关键技术进行了分析;同时也简述了多温区炉电控系统的设计原理。在一个多温区炉实验模型中做了地面实验研究,在400~800℃的温度范围内,建立并电控地移动了最大25℃/cm的轴向温度梯度,移动过程匀速且平稳,最大速度24mm/h。
关键词
空间
多温
区
炉
晶体生长
加热
炉
温
度梯度
Keywords
Space Crystal growth Furnace Design Test
分类号
O781 [理学—晶体学]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多温区空间晶体生长炉温度系统积分滑模变结构控制
于强
石春
吕旭涛
秦琳琳
岳大志
《系统仿真学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
多温区空间晶体生长炉的解耦预测控制研究
于强
王刚
秦琳琳
郑涛
吕旭涛
《系统仿真学报》
CAS
CSCD
北大核心
2010
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
三温区晶体生长炉热场设计探讨
梁秀梅
陈巨才
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
空间多温区炉温度梯度电控移动研究
罗军
《中国空间科学技术》
CSCD
北大核心
1995
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
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