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多温区空间晶体生长炉温度系统积分滑模变结构控制 被引量:1
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作者 于强 石春 +2 位作者 吕旭涛 秦琳琳 岳大志 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1667-1670,1674,共5页
多温区空间晶体生长炉温度系统是多输入多输出、强耦合对象。晶体生长要求对炉温进行精密控制,为抑制各温区间的耦合作用,提出一种积分滑模变结构控制器,利用其对匹配扰动的不变性实现解耦,同时,该控制器的积分作用可以有效减小系统稳... 多温区空间晶体生长炉温度系统是多输入多输出、强耦合对象。晶体生长要求对炉温进行精密控制,为抑制各温区间的耦合作用,提出一种积分滑模变结构控制器,利用其对匹配扰动的不变性实现解耦,同时,该控制器的积分作用可以有效减小系统稳态误差。仿真结果显示该方法是有效的。 展开更多
关键词 多温区空间晶体生长炉 解耦控制 积分滑模变结构控制 匹配条件
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多温区空间晶体生长炉的解耦预测控制研究 被引量:3
2
作者 于强 王刚 +2 位作者 秦琳琳 郑涛 吕旭涛 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1947-1950,1973,共5页
通过传热机理分析,推导出了多温区晶体生长炉的简化线性模型,使用递推最小二乘法辨识了模型参数。研究了解耦预测控制,改进了预测控制性能指标的选取方法,不需要在线调节前馈增益矩阵,提高了控制的实时性。对系统进行控制仿真,结果表明... 通过传热机理分析,推导出了多温区晶体生长炉的简化线性模型,使用递推最小二乘法辨识了模型参数。研究了解耦预测控制,改进了预测控制性能指标的选取方法,不需要在线调节前馈增益矩阵,提高了控制的实时性。对系统进行控制仿真,结果表明,该控制方法具有良好的控制精度,为该方法的实际应用奠定了基础。 展开更多
关键词 多温晶体生长 机理建模 解耦控制 预测控制
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三温区晶体生长炉热场设计探讨 被引量:1
3
作者 梁秀梅 陈巨才 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期318-324,共7页
晶体生长炉是晶体生长的基础。根据三硼酸锂 (LBO)、偏硼酸钡 (β BBO)等晶体生长的要求 ,我们设计制备了包含三温区的晶体生长炉。本文报道了关于该炉温场设计所考虑的基本问题和炉体材料的选择 ,给出了电气系统的基本框架及构件。实... 晶体生长炉是晶体生长的基础。根据三硼酸锂 (LBO)、偏硼酸钡 (β BBO)等晶体生长的要求 ,我们设计制备了包含三温区的晶体生长炉。本文报道了关于该炉温场设计所考虑的基本问题和炉体材料的选择 ,给出了电气系统的基本框架及构件。实际测量表明 :该炉控温精度在上温区为± 0 .135℃ ,中温区为± 0 .0 9℃ ,下温区为± 0 .136℃ ,高温区炉温均匀度为 0 .86℃ ,低温区炉温均匀度为 - 0 .86℃。 展开更多
关键词 晶体生长 热场 精度 均匀度 晶体
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空间多温区炉温度梯度电控移动研究 被引量:2
4
作者 罗军 《中国空间科学技术》 CSCD 北大核心 1995年第2期55-60,69,共7页
空间晶体生长多温区炉可避免机械振动对微重力环境的干扰,更适合于空间晶体生长实验,因此已受到广泛的重视。该文叙述了空间多温区炉的基本设计原理;提出了炉膛轴向温度分布及移动的两种模式,并对温度梯度电控移动这一关键技术进行... 空间晶体生长多温区炉可避免机械振动对微重力环境的干扰,更适合于空间晶体生长实验,因此已受到广泛的重视。该文叙述了空间多温区炉的基本设计原理;提出了炉膛轴向温度分布及移动的两种模式,并对温度梯度电控移动这一关键技术进行了分析;同时也简述了多温区炉电控系统的设计原理。在一个多温区炉实验模型中做了地面实验研究,在400~800℃的温度范围内,建立并电控地移动了最大25℃/cm的轴向温度梯度,移动过程匀速且平稳,最大速度24mm/h。 展开更多
关键词 空间多温 晶体生长 加热 度梯度
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