期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
双测头复合型微纳米测量仪的研制
被引量：
6
1
作者
吴俊杰
刘俭
+2 位作者
魏佳斯
傅云霞
李源
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第2期415-423,共9页
针对当前微纳米测量中存在的大范围高精度测量及复杂微结构几何参数表征难题,基于多测头传感和精密定位平台复用技术,开发了一台具有多种测量尺度和测量模式的复合型微纳米测量仪。为使其具备大范围快速扫描测量和小范围精细测量功能,...
针对当前微纳米测量中存在的大范围高精度测量及复杂微结构几何参数表征难题,基于多测头传感和精密定位平台复用技术,开发了一台具有多种测量尺度和测量模式的复合型微纳米测量仪。为使其具备大范围快速扫描测量和小范围精细测量功能,仪器集成了白光干涉和原子力显微镜两种测头,通过设计适用于两种测头集成的桥架结构及宏/微两级驱动定位平台,实现整机的开发。为保证仪器测量结果的准确性和溯源性,利用标准样板对开发完成的仪器进行了校准。仪器搭载的白光干涉测头可以达到横向500 nm,纵向1 nm的分辨力;原子力显微镜测头横向和纵向分辨力均可达到1 nm。最后,利用目标仪器对微球样品进行了测量,通过大范围成像和小范围精细扫描,获得了微球的表面特征,验证了仪器对复杂微结构的测量能力。
展开更多
关键词
微纳米
测
量
白光干涉
测
头
原子力显微镜
多测头技术
精密定位
在线阅读
下载PDF
职称材料
非接触式探测和接触式探测过程的组合：—多测头复合探测坐标量技术
2
《航空制造技术》
北大核心
2001年第2期61-61,共1页
关键词
非接触式
接触式
多测
头
复合探
测
坐标量
技术
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
双测头复合型微纳米测量仪的研制
被引量：
6
1
作者
吴俊杰
刘俭
魏佳斯
傅云霞
李源
机构
上海市计量测试技术研究院机械与制造计量技术研究所
哈尔滨工业大学仪器科学与工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第2期415-423,共9页
基金
上海市市场监督管理局科技项目资助(No.2019-02)
上海市青年科技英才扬帆计划资助项目(No.19YF1441700)
+1 种基金
上海市质量技术监督局科研项目资助(No.2018-06)
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2014YQ090709)。
文摘
针对当前微纳米测量中存在的大范围高精度测量及复杂微结构几何参数表征难题,基于多测头传感和精密定位平台复用技术,开发了一台具有多种测量尺度和测量模式的复合型微纳米测量仪。为使其具备大范围快速扫描测量和小范围精细测量功能,仪器集成了白光干涉和原子力显微镜两种测头,通过设计适用于两种测头集成的桥架结构及宏/微两级驱动定位平台,实现整机的开发。为保证仪器测量结果的准确性和溯源性,利用标准样板对开发完成的仪器进行了校准。仪器搭载的白光干涉测头可以达到横向500 nm,纵向1 nm的分辨力;原子力显微镜测头横向和纵向分辨力均可达到1 nm。最后,利用目标仪器对微球样品进行了测量,通过大范围成像和小范围精细扫描,获得了微球的表面特征,验证了仪器对复杂微结构的测量能力。
关键词
微纳米
测
量
白光干涉
测
头
原子力显微镜
多测头技术
精密定位
Keywords
micro and nano measurement
white light interference microscope
atomic force microscope
Multi-probe technology
precise positioning
分类号
TH711 [机械工程—测试计量技术及仪器]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
非接触式探测和接触式探测过程的组合：—多测头复合探测坐标量技术
2
出处
《航空制造技术》
北大核心
2001年第2期61-61,共1页
关键词
非接触式
接触式
多测
头
复合探
测
坐标量
技术
分类号
TG83 [金属学及工艺—公差测量技术]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双测头复合型微纳米测量仪的研制
吴俊杰
刘俭
魏佳斯
傅云霞
李源
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
非接触式探测和接触式探测过程的组合：—多测头复合探测坐标量技术
《航空制造技术》
北大核心
2001
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
