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杂模抑制薄膜体声波谐振器的仿真分析
1
作者 罗恩雄 张必壮 +2 位作者 吴坤 马晋毅 李思忍 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第2期159-163,共5页
该文研究了电极边界阶梯结构对薄膜体声波谐振器(FBAR)杂波的影响。采用有限元仿真法讨论了阶梯结构宽度尺寸对杂波的抑制效果,结合振型分析该结构能抑制声波能量的泄露,提高器件品质因数。为了进一步验证仿真结果,实验制备了FBAR器件... 该文研究了电极边界阶梯结构对薄膜体声波谐振器(FBAR)杂波的影响。采用有限元仿真法讨论了阶梯结构宽度尺寸对杂波的抑制效果,结合振型分析该结构能抑制声波能量的泄露,提高器件品质因数。为了进一步验证仿真结果,实验制备了FBAR器件。测试结果表明,当该阶梯结构凸起宽度为3μm,凹陷宽度为1.5μm时,谐振器杂波被有效抑制,反谐振频率处的品质因数约增大100。 展开更多
关键词 薄膜体声波谐振器(FBAR) 阶梯结构 杂模抑制 有限元
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基于奇偶模分析法的四模谐振器结构的双通带带通滤波器设计 被引量：10
2
作者 张德伟 王树兴 +4 位作者 刘庆 周东方 张毅 吕大龙 吴瑛 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期387-392,共6页
提出了一款基于四模谐振器的新型双通带带通滤波器.设计的四模谐振器基于微带线结构,由四个开路枝节和一个短路枝节组成.两次采用奇偶模分析法对该四模谐振器结构进行分析.该四模谐振器的每个模式能够实现独立调节,同时每两个模式形成... 提出了一款基于四模谐振器的新型双通带带通滤波器.设计的四模谐振器基于微带线结构,由四个开路枝节和一个短路枝节组成.两次采用奇偶模分析法对该四模谐振器结构进行分析.该四模谐振器的每个模式能够实现独立调节,同时每两个模式形成一个通带.采用源与负载耦合的馈电方式,提高滤波器的带外抑制性.该滤波器具有四个传输零点和四个传输极点.测试结果表明,该双模双通带滤波器工作于2.08GHz和6.07GHz,3d B带宽分别为11.06%和7.74%.设计的滤波器具有紧凑的结构,只有0.28λg×0.11λg大小. 展开更多
关键词 带通滤波器 双通带 四模谐振器 奇偶模分析法 高选择性
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薄膜声体波谐振器的电磁场建模与仿真 被引量：5
3
作者 董树荣 金浩 王德苗 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1477-1481,共5页
为了模拟薄膜声体波谐振器(FBAR)的电磁场(EM)分布特性,提出了一种新的FBAR建模方法.该方法从基本的一维弹性压电方程和三维麦克斯韦尔方程出发,结合电极与压电薄膜交界处机械应力与机械位移连续的边界条件,推导出了FBAR等效复介电常数... 为了模拟薄膜声体波谐振器(FBAR)的电磁场(EM)分布特性,提出了一种新的FBAR建模方法.该方法从基本的一维弹性压电方程和三维麦克斯韦尔方程出发,结合电极与压电薄膜交界处机械应力与机械位移连续的边界条件,推导出了FBAR等效复介电常数的严格解.将电磁场和声场等效到一个复介电常数中,用等效复介电常数的形式来包含电声效应.并基于有限元方法对FBAR全波段进行了仿真.结果表明,该方法的仿真结果与实测数据基本一致,具有很好的准确性.与传统的电路模型比较,由该方法得到的模型能够实现场的不连续仿真和FBAR的电磁场分布与压电效应的实时仿真. 展开更多
关键词 声体波 射频谐振器 电磁场建模 介电常数
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回音壁模高Q蓝宝石谐振器研究与设计 被引量：3
4
作者 杨非 齐宁华 孙忠良 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期520-523,共4页
采用径向+轴向模式匹配法完成了蓝宝石回音壁的模式分析,包括高次回音壁模式谐振频率的计算和电磁场分布,并研究了回音壁模谐振器的金属腔体设计等关键问题。制作的高Q蓝宝石谐振器在10.99GHz处,有载Q值达到了45000、插入损耗小于9dB。... 采用径向+轴向模式匹配法完成了蓝宝石回音壁的模式分析,包括高次回音壁模式谐振频率的计算和电磁场分布,并研究了回音壁模谐振器的金属腔体设计等关键问题。制作的高Q蓝宝石谐振器在10.99GHz处,有载Q值达到了45000、插入损耗小于9dB。谐振器性能指标优越,非常适合应用于低相位噪声振荡器设计中。 展开更多
关键词 高Q 回音壁模 蓝宝石 谐振器
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宽阻带三模谐振器微带带通滤波器设计 被引量：2
5
作者 王正伟 补世荣 罗正祥 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期150-154,165,共6页
介绍了一种新颖的微带三模谐振器,由该谐振器构成的微带滤波器具有较宽的通带以及较好的带外抑制。对传统的单模微带环形谐振器结构进行优化,使谐振器在通带内具有三个谐振点,并且在通带边缘有四个对称衰减极点。引入的阶梯阻抗谐振单... 介绍了一种新颖的微带三模谐振器,由该谐振器构成的微带滤波器具有较宽的通带以及较好的带外抑制。对传统的单模微带环形谐振器结构进行优化,使谐振器在通带内具有三个谐振点,并且在通带边缘有四个对称衰减极点。引入的阶梯阻抗谐振单元使得微带三模谐振器具有良好的带外抑制。依据传输线原理对宽阻带三模谐振器进行了分析,并完成了中心频率为1090 MHz的宽阻带带通滤波器设计和加工,其实际测试结果与软件仿真结果具有良好的一致性。 展开更多
关键词 三模谐振器 环形谐振器 带通滤波器 阶梯阻抗谐振器
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弓型悬臂梁微静电谐振器力学建模 被引量：3
6
作者 赵江铭 沈雪瑾 +1 位作者 张海霞 陈晓阳 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期22-26,共5页
根据梁的小变形理论 ,对双侧支承微静电谐振器的弓型悬臂梁进行了理论建模和受力分析研究。推导出其受力和变形计算公式 ,研究表明 ,此种谐振器是五次超静定问题 ;在支承长度和工况相同的情况下 ,它比直脚型悬臂梁谐和蟹脚型悬臂梁的谐... 根据梁的小变形理论 ,对双侧支承微静电谐振器的弓型悬臂梁进行了理论建模和受力分析研究。推导出其受力和变形计算公式 ,研究表明 ,此种谐振器是五次超静定问题 ;在支承长度和工况相同的情况下 ,它比直脚型悬臂梁谐和蟹脚型悬臂梁的谐振幅度大 ;谐振频率和刚度系数随着纵向支撑长度L、横向短梁长度l3的增加而减小 ,随着梁宽b的增加而增加。 展开更多
关键词 弓型悬臂梁 微静电谐振器 力学建模 谐振频率 刚度系数
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基于E型双模谐振器的源负载耦合带通滤波器设计 被引量：5
7
作者 雷涛 向天宇 张正平 《电讯技术》 北大核心 2014年第8期1129-1133,共5页
为实现滤波器的小型化和高性能,提出了两款中心加载的E型双模谐振器,并对其进行了奇偶模分析。在此基础上通过引入源负载耦合,采用ADS与HFSS软件进行了仿真与优化。开路支节加载与短路支节加载的E型双模谐振器分别比方环谐振器减少42.8%... 为实现滤波器的小型化和高性能,提出了两款中心加载的E型双模谐振器,并对其进行了奇偶模分析。在此基础上通过引入源负载耦合,采用ADS与HFSS软件进行了仿真与优化。开路支节加载与短路支节加载的E型双模谐振器分别比方环谐振器减少42.8%与52.6%。实测结果表明,设计的滤波器中心频率分别为4.22 GHz和3.75 GHz,相对带宽分别为33.6%和9.1%,带内插损分别为-0.9 dB和-1.9 dB,带外零点位置与计算仿真结果吻合良好。这两款滤波器不仅尺寸小、插损低,并且具有宽阻带、传输零点可调的优点,短路支节加载的双模滤波器在选择性与带外抑制方面性能更好,可以广泛应用于各种微波电路中。 展开更多
关键词 带通滤波器 E型双模谐振器 源负载耦合 传输零点 带外抑制
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新型多模谐振器的陷波超宽带小型化滤波器 被引量：4
8
作者 高明明 李春晨 +1 位作者 南敬昌 宋杨 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期703-709,共7页
该文提出了一种新型多模谐振器的小型化陷波超宽带滤波器。该新型多模谐振器在超宽带通带范围内有6个谐振模式,通过并联平行耦合馈线耦合到输入和输出端口,其中3个谐振模式是由高阻抗短截线加载扇形低阻抗截面产生,而剩余的谐振模式是... 该文提出了一种新型多模谐振器的小型化陷波超宽带滤波器。该新型多模谐振器在超宽带通带范围内有6个谐振模式,通过并联平行耦合馈线耦合到输入和输出端口,其中3个谐振模式是由高阻抗短截线加载扇形低阻抗截面产生,而剩余的谐振模式是通过在高阻抗线上加载开路枝节和在扇形低阻抗截面刻蚀圆形槽形成。同时,为了避免无线局域网(WLAN)频段和国际电信联盟(ITU)频段对超宽带系统的干扰,在扇形面加载开路短截线,引入中心频率为5.48 GHz和8.3 GHz的陷波。最后,设计制作了一种超宽带陷波滤波器,实测与仿真结果基本吻合。 展开更多
关键词 带通滤波器 小型化 多模谐振器 陷波特性 超宽带
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聚合物多模干涉微环谐振器的设计与分析 被引量：2
9
作者 吕桓林 韩秀友 +2 位作者 武震林 梁宇鑫 赵明山 《激光杂志》 北大核心 2016年第5期10-14,共5页
聚合物基微环谐振器作为低成本和易制备的集成光子器件受到了广泛的关注。利用多模干涉的自映像理论设计了微环谐振器,在直波导和环之间以2×2多模干涉耦合实现50∶50的分光比。在输入/输出波导和多模干涉耦合区连接部分引入了锥形... 聚合物基微环谐振器作为低成本和易制备的集成光子器件受到了广泛的关注。利用多模干涉的自映像理论设计了微环谐振器,在直波导和环之间以2×2多模干涉耦合实现50∶50的分光比。在输入/输出波导和多模干涉耦合区连接部分引入了锥形结构以提高性能。分析了TE/TM波多模干涉区制备容差对附加损耗和均衡度的影响。分析了不同残留层厚度下正脊型波导的弯曲损耗。进一步仿真了半径为200μm微环的光谱响应。仿真结果表明设计极大的提高了微环的性能。 展开更多
关键词 多模干涉耦合器 微环谐振器 束传播方法 正脊型
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基于折叠双模谐振器结构的微带带通滤波器 被引量：4
10
作者 张友俊 林君 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期1057-1060,共4页
设计了一种采用折叠双模谐振器结构的新型双模微带带通滤波器。通过在折叠双模谐振器两侧加载交叉耦合结构,使通带两端产生一对传输零点。实验结果表明,该滤波器具有结构紧凑,体积小,损耗低,带外抑制性能好等优点,且其中心频率为3.65GHz... 设计了一种采用折叠双模谐振器结构的新型双模微带带通滤波器。通过在折叠双模谐振器两侧加载交叉耦合结构,使通带两端产生一对传输零点。实验结果表明,该滤波器具有结构紧凑,体积小,损耗低,带外抑制性能好等优点,且其中心频率为3.65GHz,通带为2.5～4.8GHz,最大回波损耗优于-33.5dB,最小插入损耗为-0.18dB,实测结果和仿真结果相吻合。 展开更多
关键词 微带带通滤波器 折叠双模谐振器 传输零点 插入损耗 交叉耦合结构
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硅微机械梳齿静电谐振器的建模与分析 被引量：9
11
作者 李宏生 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第5期421-424,共4页
基于参数化的计算机辅助设计 (CAD)软件 ,对硅微机械梳齿静电谐振器进行了实体建模 ,以有限元分析软件为工具 ,进行了谐振器的模态分析、静态分析和谐响应分析 ,初步揭示了谐振器的静、动态特性 ,有助于改善设计效率和质量 ,展示了计算... 基于参数化的计算机辅助设计 (CAD)软件 ,对硅微机械梳齿静电谐振器进行了实体建模 ,以有限元分析软件为工具 ,进行了谐振器的模态分析、静态分析和谐响应分析 ,初步揭示了谐振器的静、动态特性 ,有助于改善设计效率和质量 ,展示了计算机辅助工程 (CAE)技术在微机电系统 (MEMS)研究中的重要作用。 展开更多
关键词 微机械 梳齿静电谐振器 建模 分析 硅 计算机辅助工程 CAE
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基于多模谐振器的双通带滤波器 被引量：4
12
作者 张赟霞 林磊 《现代雷达》 CSCD 北大核心 2018年第8期68-71,共4页
提出了一种新型的开路/短路T形枝节圆环谐振器,通过奇偶模理论对其进行了分析,电磁仿真软件进行了仿真计算,设计了一款工作于P波段（中心频率为0.4 GHz）和L（中心频率为1.2GHz）波段,分数带宽为40%和16.26%的双通带滤波器。该滤波器具... 提出了一种新型的开路/短路T形枝节圆环谐振器,通过奇偶模理论对其进行了分析,电磁仿真软件进行了仿真计算,设计了一款工作于P波段（中心频率为0.4 GHz）和L（中心频率为1.2GHz）波段,分数带宽为40%和16.26%的双通带滤波器。该滤波器具有损耗小、体积小、易集成设计等优点,该双通带滤波器及设计方法将来可广泛应用于高集成度的雷达天线阵面网络中。 展开更多
关键词 高集成阵面 多模谐振器 微波滤波器 多工器
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一种新的平面回音壁模蓝宝石谐振器模型
13
作者 杨非 齐宁华 孙忠良 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期52-56,共5页
基于环状谐振器传输线法(Transmission-line ring resonator)分析建立了单端口和双端口回音壁模平面蓝宝石介质谐振器模型,分别得到了对应的传输公式。并设计制作了一个单端口蓝宝石谐振器,采用新模型可以对原先模型一直无法解释的实验... 基于环状谐振器传输线法(Transmission-line ring resonator)分析建立了单端口和双端口回音壁模平面蓝宝石介质谐振器模型,分别得到了对应的传输公式。并设计制作了一个单端口蓝宝石谐振器,采用新模型可以对原先模型一直无法解释的实验现象作出合理的解释,验证了该模型的有效性。 展开更多
关键词 回音壁模 蓝宝石谐振器 环状谐振器传输线法
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微带型回音壁模介质谐振器带阻方向滤波器
14
作者 吴坚强 刘革 刘盛纲 《电子科学学刊》 CSCD 1996年第2期183-188,共6页
本文报道了使用新型平面回音壁模介质谐振器的微带型毫米波带阻、方向滤波器。全文用行波环谐振器的方法进行分析,并给出了Ka波段带阻、方向滤波器的实验研究,其结果表明,该谐振器特别适用于毫米波微带集成电路。
关键词 毫米波 介质谐振器 回音壁模 滤波器 微带线
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小型TM_(010)模介质谐振器滤波器
15
作者 刘顺康 《通信学报》 EI CSCD 北大核心 1992年第4期106-110,共5页
求解圆形介质杆谐振器的特征方程,得到了谐振模式图。TM_(010)模介质谐振器谐振频率的计算值与测量值相符。对介质杆谐振器的Q值进行了讨论。给出了S波段小型TM_(010)模介质谐振器滤波器的实验结果。
关键词 滤波器 谐振器 TM010模
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边廊模介质谐振器 被引量：2
16
作者 刘革 刘盛纲 吴坚强 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第4期387-389,共3页
研究了一种适合于工作在毫米波段的新型介质谐振器──边廊模介质谐振器。从介质波导的一般色散方程和波特性出发，导出了介质波导中边廊模特性和色散方程，给出了这廊模圆介质谐振器的系统化研究。进一步研究了两种不同结构的边廊模介... 研究了一种适合于工作在毫米波段的新型介质谐振器──边廊模介质谐振器。从介质波导的一般色散方程和波特性出发，导出了介质波导中边廊模特性和色散方程，给出了这廊模圆介质谐振器的系统化研究。进一步研究了两种不同结构的边廊模介质谐振器。 展开更多
关键词 边廊模 介质谐振器 色散方程
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基于并联双模谐振器的双频带通滤波器设计 被引量：2
17
作者 余云忠 陈春红 +1 位作者 吴文 姚朋 《微波学报》 CSCD 北大核心 2015年第S2期146-148,共3页
为了满足现代无线通信系统对微波无源器件低成本、小型化、多功能的需求,本文提出了一种基于两组双模谐振器并联的双频带通滤波器设计。该双频带滤波器是通过结合传输线理论和T型谐振器的谐振机理实现的,T型谐振器中同时存在奇模和偶模... 为了满足现代无线通信系统对微波无源器件低成本、小型化、多功能的需求,本文提出了一种基于两组双模谐振器并联的双频带通滤波器设计。该双频带滤波器是通过结合传输线理论和T型谐振器的谐振机理实现的,T型谐振器中同时存在奇模和偶模两条传输路径,由于奇模和偶模传输路径不一样,当两个谐振点靠近时能形成一个较好的通带效果。设计结果表明该双通带滤波器的中心频率为27GHz和36GHz,3d B带宽为7.4%和8.4%。本文设计的滤波器具有尺寸小、结构简单等优点,具有很好的实用价值。 展开更多
关键词 双频 带通滤波器 T型谐振器 奇偶模
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毫米波平面回音壁模介质谐振器的实验研究 被引量：1
18
作者 刘革 刘盛纲 吴坚强 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期181-185,共5页
报道了一种适合于工作在毫米波段的新型平面回音壁摸介质谐振器的实验研究，实验工作在Ｋａ波段进行。测试结果包括谐振频率和有载Ｑ值。同时还讨论了平面回音壁模介质谐振器在毫米波电路中的应用，研制了一个由该谐振器构成的Ｋａ波段... 报道了一种适合于工作在毫米波段的新型平面回音壁摸介质谐振器的实验研究，实验工作在Ｋａ波段进行。测试结果包括谐振频率和有载Ｑ值。同时还讨论了平面回音壁模介质谐振器在毫米波电路中的应用，研制了一个由该谐振器构成的Ｋａ波段微带型定向滤波器。实验结果表明：平面回音壁模介质谐振器在毫米波段具有尺寸大，Ｑ值高，谐振频谱纯和易于实现集成电路等优点。 展开更多
关键词 介质谐振器 回音壁模 谐振频率 滤波器 微带线
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基于折叠枝节加载多模谐振器的超宽带滤波器 被引量：3
19
作者 曹晖晖 张友俊 《电子设计工程》 2015年第1期123-125,共3页
针对超宽带滤波器的插入损耗和选择性问题，提出一种基于折叠枝节加载多模谐振器结构的超宽带滤波器。通过调节谐振器的阻抗比及电长度比，可以控制谐振频率。仿真与实验结果吻合良好，表明采用折叠枝节加载形式，可以使滤波器具有低插... 针对超宽带滤波器的插入损耗和选择性问题，提出一种基于折叠枝节加载多模谐振器结构的超宽带滤波器。通过调节谐振器的阻抗比及电长度比，可以控制谐振频率。仿真与实验结果吻合良好，表明采用折叠枝节加载形式，可以使滤波器具有低插入损耗和良好的选择性。通带范围在2.9~10.7 GHz，带内插入损耗优于1 dB，实现相对带宽114%。 展开更多
关键词 超宽带 带通滤波器 折叠枝节 多模谐振器
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基于平面回音壁模介质谐振器的毫米波微带均衡器
20
作者 张毅 彭平 +2 位作者 牛忠霞 周东方 任修坤 《信息工程大学学报》 2006年第2期157-159,共3页
文章在分析了平面回音壁模介质谐振器的特点以及它和微带线耦合的基础上,给出了一种新型的基于平面回音壁模介质谐振器的毫米波均衡器子结构。仿真分析证明,这种结构具有良好的谐振频率、Q值和耦合度均可调性,即可通过改变均衡器子结构... 文章在分析了平面回音壁模介质谐振器的特点以及它和微带线耦合的基础上,给出了一种新型的基于平面回音壁模介质谐振器的毫米波均衡器子结构。仿真分析证明,这种结构具有良好的谐振频率、Q值和耦合度均可调性,即可通过改变均衡器子结构的参量来调节。最后,用此子结构级联给出了新型毫米波均衡器的实现形式,并且呈现良好的特性。 展开更多
关键词 回音壁模 介质谐振器 均衡器
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