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弱导波导多模干涉耦合器结构参量优化设计
被引量：
5
1
作者
王谦
何赛灵
+1 位作者
黄耐容
殷源
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期354-359,共6页
本文分析了以硅基底上二氧化硅波导为代表的弱导波导多模干涉 (MMI)耦合器件输入 (出 )波导位置及宽度和 MMI长度等结构参量对器件性能的影响 .提出了参量空间法 ,在给定工艺材料参量和多模波导宽度情况下 ,通过匹配各结构参量 ,制出均...
本文分析了以硅基底上二氧化硅波导为代表的弱导波导多模干涉 (MMI)耦合器件输入 (出 )波导位置及宽度和 MMI长度等结构参量对器件性能的影响 .提出了参量空间法 ,在给定工艺材料参量和多模波导宽度情况下 ,通过匹配各结构参量 ,制出均匀性好、附加损耗低的弱导波导多模干涉耦合器件 .
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关键词
多模波导干涉耦合器
模
式传输分析
自成象理论
结构参量
优化设计
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职称材料
题名
弱导波导多模干涉耦合器结构参量优化设计
被引量：
5
1
作者
王谦
何赛灵
黄耐容
殷源
机构
浙江大学光电系现代光学仪器国家重点实验室光与电磁波研究中心
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期354-359,共6页
文摘
本文分析了以硅基底上二氧化硅波导为代表的弱导波导多模干涉 (MMI)耦合器件输入 (出 )波导位置及宽度和 MMI长度等结构参量对器件性能的影响 .提出了参量空间法 ,在给定工艺材料参量和多模波导宽度情况下 ,通过匹配各结构参量 ,制出均匀性好、附加损耗低的弱导波导多模干涉耦合器件 .
关键词
多模波导干涉耦合器
模
式传输分析
自成象理论
结构参量
优化设计
Keywords
Multimode inference coupler
Mode propagation analysis
Self-image theory
分类号
TN622 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
弱导波导多模干涉耦合器结构参量优化设计
王谦
何赛灵
黄耐容
殷源
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
5
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