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应用多模式组合加工技术修正大口径非球面环带误差
被引量：
5
1
作者
李俊峰
谢京江
+4 位作者
宋淑梅
陈亚
宣斌
王朋
陈晓苹
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期1460-1467,共8页
为了满足大口径非球面光学元件加工的需求,提出了用多模式组合加工(MCM)技术修正大口径非球面反射镜环带误差的方法。本文讨论的MCM技术以经典加工工艺为基础,采用抛光盘的多工位加工和抛光模式的组合完成光学元件的抛光,实现对光学表...
为了满足大口径非球面光学元件加工的需求,提出了用多模式组合加工(MCM)技术修正大口径非球面反射镜环带误差的方法。本文讨论的MCM技术以经典加工工艺为基础,采用抛光盘的多工位加工和抛光模式的组合完成光学元件的抛光,实现对光学表面中低频段误差的有效控制。介绍了MCM技术的重要组成部分JP-01抛光机械手的工作原理,分析了MCM的工作模式。采用MCM技术对Φ1230mm的非球面反射镜进行环带误差的修正,给出了镜面面形检测结果。实验结果表明,MCM技术可以有效地控制光学表面的中低频误差,使光学表面误差得到有效收敛,从而显著提高抛光效率。目前,采用MCM技术加工1～2m口径的同轴非球面,其精度可以达到30nm(RMS)。
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关键词
大口径光学元件
环带误差
多模式组合加工
机械手
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职称材料
题名
应用多模式组合加工技术修正大口径非球面环带误差
被引量：
5
1
作者
李俊峰
谢京江
宋淑梅
陈亚
宣斌
王朋
陈晓苹
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期1460-1467,共8页
基金
中科院三期知识创新工程资助项目
文摘
为了满足大口径非球面光学元件加工的需求,提出了用多模式组合加工(MCM)技术修正大口径非球面反射镜环带误差的方法。本文讨论的MCM技术以经典加工工艺为基础,采用抛光盘的多工位加工和抛光模式的组合完成光学元件的抛光,实现对光学表面中低频段误差的有效控制。介绍了MCM技术的重要组成部分JP-01抛光机械手的工作原理,分析了MCM的工作模式。采用MCM技术对Φ1230mm的非球面反射镜进行环带误差的修正,给出了镜面面形检测结果。实验结果表明,MCM技术可以有效地控制光学表面的中低频误差,使光学表面误差得到有效收敛,从而显著提高抛光效率。目前,采用MCM技术加工1～2m口径的同轴非球面,其精度可以达到30nm(RMS)。
关键词
大口径光学元件
环带误差
多模式组合加工
机械手
Keywords
large mirror
zonal error
multi-mode combined manufacture
manipulator
分类号
TH743 [机械工程—光学工程]
TQ171.684 [化学工程—玻璃工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
应用多模式组合加工技术修正大口径非球面环带误差
李俊峰
谢京江
宋淑梅
陈亚
宣斌
王朋
陈晓苹
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
5
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