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颗粒硅带多晶硅薄膜太阳电池的研制 被引量:7
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作者 梁宗存 许颖 +3 位作者 公延宁 沈辉 李仲明 李戬洪 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期45-48,共4页
以工业硅粉为原料制备出颗粒硅带 (SSP) ,对颗粒硅带表面形态进行分析。以SSP为衬底 ,采用快速热化学气相沉积 (RTCVD)法生长多晶硅薄膜 ,并以此制作出效率为 2 93%的颗粒硅带多晶硅薄膜太阳电池 ,这在国内属首先。并报道了对以SSP为... 以工业硅粉为原料制备出颗粒硅带 (SSP) ,对颗粒硅带表面形态进行分析。以SSP为衬底 ,采用快速热化学气相沉积 (RTCVD)法生长多晶硅薄膜 ,并以此制作出效率为 2 93%的颗粒硅带多晶硅薄膜太阳电池 ,这在国内属首先。并报道了对以SSP为衬底的多晶硅薄膜太阳电池的初步研究结果 ,同时讨论了该类电源的结构。 展开更多
关键词 颗粒硅带 快速热化学气相沉积 RTCVD 多晶硅薄膜太阳电池 SSP 电源结构 工艺 改进措施
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陶瓷衬底上多晶硅薄膜太阳电池研究进展 被引量:3
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作者 刘萍 杨仕娥 +3 位作者 王生钊 王红娟 张宇翔 卢景霄 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期409-414,共6页
多晶硅薄膜太阳电池在提高电池效率和大幅度降低成本等方面具有极大潜力。陶瓷材料是高温路线制备多晶硅薄膜电池最常用的衬底材料之一。本文介绍了陶瓷衬底上多晶硅薄膜的制备方法及其电池结构和相关工艺,最后综述了当前该领域的最新... 多晶硅薄膜太阳电池在提高电池效率和大幅度降低成本等方面具有极大潜力。陶瓷材料是高温路线制备多晶硅薄膜电池最常用的衬底材料之一。本文介绍了陶瓷衬底上多晶硅薄膜的制备方法及其电池结构和相关工艺,最后综述了当前该领域的最新研究进展。 展开更多
关键词 多晶硅薄膜太阳电池 陶瓷衬底 转换效率
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颗粒硅带为衬底的多晶硅薄膜太阳电池制备工艺 被引量:2
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作者 班群 沈辉 王晓晶 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期95-98,共4页
主要阐述了以低纯度颗粒硅带(SSP-Silicon Sheet from Powder)为衬底的多晶硅薄膜(poly-CsiTF)太阳电池的制备,给出制得的太阳电池I-V曲线和光谱响应曲线并由此讨论影响电池性能的可能因素,着重分析了颗粒硅带衬底的作用。目前,在没有... 主要阐述了以低纯度颗粒硅带(SSP-Silicon Sheet from Powder)为衬底的多晶硅薄膜(poly-CsiTF)太阳电池的制备,给出制得的太阳电池I-V曲线和光谱响应曲线并由此讨论影响电池性能的可能因素,着重分析了颗粒硅带衬底的作用。目前,在没有任何电池工艺优化的条件下,在低纯度硅带上制得多晶硅薄膜电池的转换效率通常在5%~7%范围(电池面积1cm2)。 展开更多
关键词 低纯度颗粒硅带 多晶硅薄膜太阳电池
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石英衬底上柱状多晶硅薄膜的制备 被引量:5
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作者 张丽伟 周伶俐 +2 位作者 李瑞 李红菊 卢景霄 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期369-372,共4页
利用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD)在已经预沉积有非晶硅薄膜的石英衬底上低温沉积了N/I非晶硅薄膜,对样品进行了两步快速光热(RTP)退火.采用Raman、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等测试仪器... 利用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD)在已经预沉积有非晶硅薄膜的石英衬底上低温沉积了N/I非晶硅薄膜,对样品进行了两步快速光热(RTP)退火.采用Raman、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等测试仪器对样品退火前后的结晶状况和微观形貌进行了分析.结果表明,该N/I非晶硅薄膜退火后的晶化率达到了94%左右,断面形貌为柱状结构,样品中的平均晶粒尺寸约30nm,晶粒团簇的尺寸最大约1.5μm. 展开更多
关键词 快速光热退火 柱状结晶 多晶硅薄膜 多晶硅薄膜太阳电池
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a-Si:H薄膜的再结晶技术及Si膜的Raman光谱分析 被引量:5
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作者 冯团辉 张宇翔 +2 位作者 王海燕 靳瑞敏 卢景霄 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期462-465,共4页
论述了非晶硅薄膜的几种主要再结晶技术 ,着重指出了各种晶化技术已取得的研究成果、优缺点、有待进一步研究的内容及其在多晶硅薄膜太阳电池工业生产中的应用前景。另外 ,还讨论了通过Raman光谱求纳晶硅薄膜的晶粒尺寸和结晶度的方法。
关键词 非晶硅薄膜 再结晶技术 多晶硅薄膜太阳电池 RAMAN光谱 晶粒尺寸 结晶度
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