期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
多晶硅微机械抗粘附结构参数设计
被引量：
7
1
作者
丁建宁
范真
+1 位作者
李长生
温诗铸
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期274-277,共4页
讨论了在大气环境或有液体的环境下 ,表面张力对微加工悬臂梁结构粘附的影响 ,以及真空条件下 Casimir量子力对微机械薄膜微腔结构的稳定性和粘附的影响。建立了 Casimir量子力作用下粘附问题的实际粗糙模型理论。对不同表面力作用下的...
讨论了在大气环境或有液体的环境下 ,表面张力对微加工悬臂梁结构粘附的影响 ,以及真空条件下 Casimir量子力对微机械薄膜微腔结构的稳定性和粘附的影响。建立了 Casimir量子力作用下粘附问题的实际粗糙模型理论。对不同表面力作用下的抗粘附结构研究结果表明 ,微悬臂梁和薄膜微腔结构的稳定性和粘附与材料的弹性特性、材料的表面特性、结构的长度、厚度以及构件与基体之间的间隙有关 ,而与结构的宽度无关。
展开更多
关键词
多晶硅微机械
抗粘附结构参数设计
微型机
械
表面张力
CASIMIR力
稳定性
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
多晶硅微机械抗粘附结构参数设计
被引量：
7
1
作者
丁建宁
范真
李长生
温诗铸
机构
江苏大学微米纳米科学技术研究中心
清华大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期274-277,共4页
基金
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(2 0 0 0 0 0 0 338)
江苏大学高级人才基金(681 0 0 0 0 0 1 8)
文摘
讨论了在大气环境或有液体的环境下 ,表面张力对微加工悬臂梁结构粘附的影响 ,以及真空条件下 Casimir量子力对微机械薄膜微腔结构的稳定性和粘附的影响。建立了 Casimir量子力作用下粘附问题的实际粗糙模型理论。对不同表面力作用下的抗粘附结构研究结果表明 ,微悬臂梁和薄膜微腔结构的稳定性和粘附与材料的弹性特性、材料的表面特性、结构的长度、厚度以及构件与基体之间的间隙有关 ,而与结构的宽度无关。
关键词
多晶硅微机械
抗粘附结构参数设计
微型机
械
表面张力
CASIMIR力
稳定性
Keywords
MEMS capillary force Casimir force mechanical stability sticking
分类号
TH－39 [机械工程]
TH122 [机械工程—机械设计及理论]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多晶硅微机械抗粘附结构参数设计
丁建宁
范真
李长生
温诗铸
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
