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脉冲偏压对(Ti，Al)N／TiN／(Ti，Al)N多层复合涂层成分和硬度的影响
被引量：
11
1
作者
毛延发
唐为国
+2 位作者
兰新哲
周廉
韩培刚
《稀有金属快报》
CSCD
2008年第6期12-16,共5页
采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀(Ti,Al)N/TiN(/Ti,Al)N多层复合涂层。所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统。简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程。鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影...
采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀(Ti,Al)N/TiN(/Ti,Al)N多层复合涂层。所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统。简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程。鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影响,实验中重点考察了脉冲偏压幅对Al含量的影响。同时测试了复合涂层的Vickers硬度与偏压幅值的关系。研究结果得出,随着脉冲偏压幅值的增加,涂层中Al含量先增加,然后减少,偏压幅值为-150V时,Al含量高达36.41at%;偏压幅与涂层显微硬度的关系有相似的规律,在偏压幅值为-150V时,7层复合膜的Vickers硬度达2750MPa左右,10层复合膜的硬度约2880MPa。
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关键词
多弧离子膜
(Ti
Al)N/TiN/(Ti
Al)N
多声能复合涂层
维氏硬度
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职称材料
题名
脉冲偏压对(Ti，Al)N／TiN／(Ti，Al)N多层复合涂层成分和硬度的影响
被引量：
11
1
作者
毛延发
唐为国
兰新哲
周廉
韩培刚
机构
西安建筑科技大学
兰州大学
西北有色金属研究院
深圳市广大纳米工程技术有限公司
出处
《稀有金属快报》
CSCD
2008年第6期12-16,共5页
文摘
采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀(Ti,Al)N/TiN(/Ti,Al)N多层复合涂层。所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统。简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程。鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影响,实验中重点考察了脉冲偏压幅对Al含量的影响。同时测试了复合涂层的Vickers硬度与偏压幅值的关系。研究结果得出,随着脉冲偏压幅值的增加,涂层中Al含量先增加,然后减少,偏压幅值为-150V时,Al含量高达36.41at%;偏压幅与涂层显微硬度的关系有相似的规律,在偏压幅值为-150V时,7层复合膜的Vickers硬度达2750MPa左右,10层复合膜的硬度约2880MPa。
关键词
多弧离子膜
(Ti
Al)N/TiN/(Ti
Al)N
多声能复合涂层
维氏硬度
Keywords
multi-arc ion plating
（Ti, Al）N/TiN/（Ti, Al）N
multi-layer composite coating
components
micro-hardness
分类号
O614.411 [理学—无机化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
脉冲偏压对(Ti，Al)N／TiN／(Ti，Al)N多层复合涂层成分和硬度的影响
毛延发
唐为国
兰新哲
周廉
韩培刚
《稀有金属快报》
CSCD
2008
11
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