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用扫描电镜研究CN_x/TiN涂层的摩擦磨损
被引量：
6
1
作者
刘传胜
付强
+2 位作者
叶明生
蒋昌忠
范湘军
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期323-326,共4页
利用一台直流磁控溅射和多弧沉积设备在高速钢 (HSS)衬底上沉积CNx TiN多层复合膜 ,涂层的硬度超过5 0GPa。销 -盘式摩擦试验研究了涂层的滑动摩擦性能 ,利用扫描电镜观察并分析了薄膜的磨损模式。结果显示涂层结构致密 ,附着牢固。涂...
利用一台直流磁控溅射和多弧沉积设备在高速钢 (HSS)衬底上沉积CNx TiN多层复合膜 ,涂层的硬度超过5 0GPa。销 -盘式摩擦试验研究了涂层的滑动摩擦性能 ,利用扫描电镜观察并分析了薄膜的磨损模式。结果显示涂层结构致密 ,附着牢固。涂层的主要磨损形式为粘着磨损、疲劳磨损和磨粒磨损。
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关键词
扫描电镜
直流磁控溅射
多弧沉积设备
多层复合膜
涂层硬度
磨损模式
疲劳磨损
磨粒磨损
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职称材料
题名
用扫描电镜研究CN_x/TiN涂层的摩擦磨损
被引量：
6
1
作者
刘传胜
付强
叶明生
蒋昌忠
范湘军
机构
武汉大学物理科学与技术学院
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期323-326,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目 (No .5 0 175 0 82 )~~
文摘
利用一台直流磁控溅射和多弧沉积设备在高速钢 (HSS)衬底上沉积CNx TiN多层复合膜 ,涂层的硬度超过5 0GPa。销 -盘式摩擦试验研究了涂层的滑动摩擦性能 ,利用扫描电镜观察并分析了薄膜的磨损模式。结果显示涂层结构致密 ,附着牢固。涂层的主要磨损形式为粘着磨损、疲劳磨损和磨粒磨损。
关键词
扫描电镜
直流磁控溅射
多弧沉积设备
多层复合膜
涂层硬度
磨损模式
疲劳磨损
磨粒磨损
Keywords
composite multiplayer
wear
SEM
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用扫描电镜研究CN_x/TiN涂层的摩擦磨损
刘传胜
付强
叶明生
蒋昌忠
范湘军
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003
6
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