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多层流延坯片的叠层工艺研究进展 被引量:2
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作者 周丹 王少洪 +3 位作者 侯朝霞 王美涵 胡小丹 牛厂磊 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期98-102,共5页
流延坯片的叠层是多层陶瓷技术中最为重要的工艺之一。叠层工艺直接影响到电子器件三维结构(如通道、腔室及隔膜等)的质量。对叠层工艺如热压法叠层及其改进型技术、粘合基叠层、溶剂基叠层等进行综述,并对各种叠层方法的特点、研究进... 流延坯片的叠层是多层陶瓷技术中最为重要的工艺之一。叠层工艺直接影响到电子器件三维结构(如通道、腔室及隔膜等)的质量。对叠层工艺如热压法叠层及其改进型技术、粘合基叠层、溶剂基叠层等进行综述,并对各种叠层方法的特点、研究进展及应用进行叙述。 展开更多
关键词 流延坯片 多层陶瓷技术 三维结构 应用
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