三层金属磁控溅射复合膜的XRD应力分析 被引量：2

1

作者 崔严匀 黎磊 李金华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第7期687-690,共4页

用磁控溅射方法沉积制备的Ag/Ti-W/Ni-Cr三层复合电极薄膜上的Ag膜在工艺中容易脱落,而SiO2衬底上的Ag膜则具有良好的粘附性能。X射线衍射方法常用来检测薄膜中的应力,用X射线衍射技术(XRD)衍射峰位置的移动可判断膜中出现的是压应力还... 用磁控溅射方法沉积制备的Ag/Ti-W/Ni-Cr三层复合电极薄膜上的Ag膜在工艺中容易脱落,而SiO2衬底上的Ag膜则具有良好的粘附性能。X射线衍射方法常用来检测薄膜中的应力,用X射线衍射技术(XRD)衍射峰位置的移动可判断膜中出现的是压应力还是张应力。实验中,用XRD对三层复合薄膜作了薄膜的应力分析,确定在160℃溅射沉积后,Ag膜中存在压应力,该应力使Ag膜(111)晶面间距(d)比SiO2衬底上的Ag膜晶面间距小约0.35%。采用500℃,15 min N2热退火的方法,可使三层复合膜中Ag膜的XRD峰位回复到与SiO2衬底上Ag膜相同的谱峰位置,说明采用热退火的方法可有效消除复合膜的应力,防止Ag膜的脱落。 展开更多

关键词 多层金属复合电极薄膜 磁控溅射沉积 X射线衍射 应力分析

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复合背接触层与背电极的匹配对CdTe太阳电池性能的影响 被引量：3

2

作者 鄢强 冯良桓 +6 位作者 宋慧瑾 郑家贵 武莉莉 张静全 黎兵 李卫 雷智 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期133-137,共5页

本文研究Ni和Au两种背电极在有、无ZnTe/ZnTe:Cu背接触层时对碲化镉太阳电池性能的影响及其机理。试验结果表明,在没有ZnTe/ZnTe:Cu复合背接触层时,Ni和Au相比,输入特性的填充因子(FF)较差,短路电流密度(Jsc)较大,转换效率(η)较低;在有... 本文研究Ni和Au两种背电极在有、无ZnTe/ZnTe:Cu背接触层时对碲化镉太阳电池性能的影响及其机理。试验结果表明,在没有ZnTe/ZnTe:Cu复合背接触层时,Ni和Au相比,输入特性的填充因子(FF)较差,短路电流密度(Jsc)较大,转换效率(η)较低;在有ZnTe复合背接触层时,Ni和Au相比,FF相差较小,而η因Jsc较大而较高。通过暗特性的测试,可以看到,在有了ZnTe复合背接触层以后,Ni作背电极的碲化镉太阳电池,其二极管因子(A)、暗饱和电流(J0)和旁路电阻(Rsh)等三个参数降低的幅度都比Au作背电极的大。这和ZnTe复合背接触层使Ni背电极碲化镉太阳电池效率有更大提高是吻合的。分析表明,这主要是由于光生电流的增大导致了Jsc的增大。这样用Ni代替Au作背电极会带来降低成本和效率提高的双重改进。 展开更多

关键词 复合背接触层 金属背电极 短路电流密度 转换效率 CDTE太阳电池

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氧化钌/活性炭超电容器复合电极的电化学行为 被引量：23

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作者 王晓峰 王大志 +1 位作者 梁吉 刘庆国 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2002年第8期750-753,共4页

电化学超电容器作为一种新一代储能系统具有广泛的应用领域.直流充放电、循环伏安以及交流阻抗等实验显示了本文制备的活性碳材料以及复合电极材料具有良好的电化学性能.活性碳材料的质量比容量为172F·g-1,采用无定形RuO2与上述活... 电化学超电容器作为一种新一代储能系统具有广泛的应用领域.直流充放电、循环伏安以及交流阻抗等实验显示了本文制备的活性碳材料以及复合电极材料具有良好的电化学性能.活性碳材料的质量比容量为172F·g-1,采用无定形RuO2与上述活性碳复合制成的新型电极材料具有359F·g-1以上的比容量和良好的功率特性,并对上述材料的双电层电容和法拉第准电容等电化学特性进行了详细的讨论. 展开更多

关键词 复合电极 电化学行为 超电容器 双电层电容 活性碳 准电容 钌金属氧化物

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叠层绝缘结构薄膜电致发光显示器件

4

作者 李碧林 《液晶与显示》 CAS CSCD 1991年第1期23-25,共3页

采用叠层绝缘结构制成了密度为4.2线/毫米、大容量(704×1024像点)的薄膜电致发光(TFEL)显示屏。本文讨论了在金属电极和第二个 Ta_2O_5绝缘层之间插入一层自愈型绝缘体,改善了击穿现象使漫延方式变为自愈方式。这种器件比常规 TFE... 采用叠层绝缘结构制成了密度为4.2线/毫米、大容量(704×1024像点)的薄膜电致发光(TFEL)显示屏。本文讨论了在金属电极和第二个 Ta_2O_5绝缘层之间插入一层自愈型绝缘体,改善了击穿现象使漫延方式变为自愈方式。这种器件比常规 TFEL器件的发光效率和光输出分别提高1.6和1.8倍。这种器件还使用了与 ZuS:Mn 发射体邻接的低阻 SiO_2薄膜层。 展开更多

关键词 薄膜电致发光 显示器件 叠层 绝缘结构 发光效率 击穿现象 薄膜层 低阻 金属电极 溅射法

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介质表面上镀制强附着力电极薄膜的方法

5

《表面技术》 EI CAS CSCD 2007年第1期93-93,共1页

一种介质表面上镀制强附着力电极薄膜的方法，在介质表面上镀制铜的电极薄膜，首先在介质表面与铜的焊接层之间镀上一层金属铬或镍或钛的第一过渡层，在第一过渡层与电极焊接层之间镀上一层由第一过渡层的金属与铜混合的材料是铬加铜，... 一种介质表面上镀制强附着力电极薄膜的方法，在介质表面上镀制铜的电极薄膜，首先在介质表面与铜的焊接层之间镀上一层金属铬或镍或钛的第一过渡层，在第一过渡层与电极焊接层之间镀上一层由第一过渡层的金属与铜混合的材料是铬加铜，或镍加铜，或钛加铜的第二过渡层。镀制的电极薄膜具有强的附着力，抗拉性强，抗骤冷热性强，焊接引线难度小。 展开更多

关键词 介质表面 附着力 电极 薄膜 镀制 过渡层 金属铬 加铜

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复合电沉积在制备透射电镜试样上的应用

6

作者 闫时建 田文怀 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第F10期212-215,共4页

提出一种用复合电沉积技术制备直径大于0．5μm的无机非金属颗粒透射电镜(TEM)试样的方法，即将悬浮在电镀液中的非金属颗粒连同镀层金属离子共同沉积在电极上，形成厚度适宜、颗粒分布密度高、包埋紧实且易于剥离的复合薄膜，然后将其... 提出一种用复合电沉积技术制备直径大于0．5μm的无机非金属颗粒透射电镜(TEM)试样的方法，即将悬浮在电镀液中的非金属颗粒连同镀层金属离子共同沉积在电极上，形成厚度适宜、颗粒分布密度高、包埋紧实且易于剥离的复合薄膜，然后将其双喷电解抛光和离子轰击减薄形成颗粒薄区，使电子束可以穿透。对于用该方法制备的导电材料LiCoO2和非导电材料WC的试样做了TEM电子像和电子衍射谱分析。探讨了复合电沉积的阴极动力学过程。 展开更多

关键词 复合电沉积 透射电镜 试样 制备 应用 LICOO2 金属颗粒 0.5μm 电沉积技术 非导电材料 动力学过程 金属离子 分布密度 复合薄膜 离子轰击 电解抛光 电子衍射 电镀液 电子束 谱分析 TEM 无机 直径 电极

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电吸附技术及吸附电极材料研究进展 被引量：11

7

作者 卞维柏 潘建明 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期304-319,共16页

电吸附技术得益于环保、清洁、简单和节能的技术优势,在海水脱盐淡化及污染物吸附处理领域具有重要的应用潜力。如何构建高电荷容量的吸附电极是构建高效电吸附装置、提高吸附效率的关键所在。本文从电吸附技术原理出发,介绍了电吸附技... 电吸附技术得益于环保、清洁、简单和节能的技术优势,在海水脱盐淡化及污染物吸附处理领域具有重要的应用潜力。如何构建高电荷容量的吸附电极是构建高效电吸附装置、提高吸附效率的关键所在。本文从电吸附技术原理出发,介绍了电吸附技术吸附储存离子的双电层理论模型,并对电吸附技术的研究进展进行了总结。随后从吸附电极材料制备角度对碳吸附电极、层状金属氧化物吸附电极、复合型吸附电极分别进行综述,对每一类电极材料特点及不足进行了总结,归纳分析了针对各类材料不足之处的解决方案,并基于高效电吸附技术实际应用目标,对吸附电极材料的设计制备进行了展望。 展开更多

关键词 电吸附技术 双电层 碳材料吸附电极 层状金属氧化物电极 复合型吸附电极

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一种新型的有机-无机复合膜对水中溴酸盐的电化学检测

8

作者 苗爱晶 张宏宇 +1 位作者 毕彩丰 范玉华 《中国海洋大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期108-112,共5页

通过层层组装技术,将聚丙烯胺盐酸(PAH)和磷钼酸(PMo12)2种组分组装到玻璃碳电极(GCE)上,制备了1种新型的有机-无机复合膜。采用循环伏安法测定复合膜的电化学行为,证明了PAH/PMo12复合膜不仅可以均匀稳定地增长,而且具有良好的稳定性... 通过层层组装技术,将聚丙烯胺盐酸(PAH)和磷钼酸(PMo12)2种组分组装到玻璃碳电极(GCE)上,制备了1种新型的有机-无机复合膜。采用循环伏安法测定复合膜的电化学行为,证明了PAH/PMo12复合膜不仅可以均匀稳定地增长,而且具有良好的稳定性。此外,经研究发现此种复合膜对水中溴酸盐和亚硝酸盐等污染物表现出良好的电催化活性,为水体中污染物的电化学检测提供了理论依据。 展开更多

关键词 有机-无机复合膜 多层膜 多金属氧酸盐 化学修饰电极 污染物

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电致发光薄膜制备技术的评述

9

作者 周华 《液晶与显示》 CAS CSCD 1989年第4期1-5,共5页

引言薄膜电致发光器件作为大面积高场器件,已大量用于视频信号显示器件。这种显示器件使用了薄的,高场激发复合区。这种区域必须非常均匀,无缺陷和稳定性要在数万小时内保持良好。这一稳定的高场区域的设计必须满足下述条件,即在这一区... 引言薄膜电致发光器件作为大面积高场器件,已大量用于视频信号显示器件。这种显示器件使用了薄的,高场激发复合区。这种区域必须非常均匀,无缺陷和稳定性要在数万小时内保持良好。这一稳定的高场区域的设计必须满足下述条件,即在这一区域内应无热击穿和局部针状烧孔。在交流电致发光薄膜器件中。 展开更多

关键词 电致发光 薄膜制备技术 薄膜器件 显示器件 复合区 发光层 薄膜层 热击穿 化学气相沉积 有机金属化合物

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低红外发射率材料研究进展 被引量：25

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作者 张伟钢 徐国跃 薛连海 《红外技术》 CSCD 北大核心 2015年第5期361-367,共7页

低红外发射率材料是目前公认的可实现飞行器红外隐身的特种功能材料。现已报道了纳米复合薄膜、单层(多层)膜结构材料、树脂/金属复合涂层、树脂/半导体复合涂层、核壳结构材料等多种类型的低红外发射率材料。介绍了上述低红外发射率材... 低红外发射率材料是目前公认的可实现飞行器红外隐身的特种功能材料。现已报道了纳米复合薄膜、单层(多层)膜结构材料、树脂/金属复合涂层、树脂/半导体复合涂层、核壳结构材料等多种类型的低红外发射率材料。介绍了上述低红外发射率材料的优缺点及最新研究进展,指出低红外发射率涂层的理论研究、红外与激光兼容隐身材料、树脂/半导体复合涂层及红外光谱选择性低发射率涂层是未来的重点研究方向。 展开更多

关键词 低红外发射率材料 纳米复合薄膜 单层(多层)膜结构材料 树脂/金属复合涂层 树脂 /半导体复合涂层 核壳结构材料

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微型硅基弯曲板波器件

11

作者 李新 刘梦伟 薛明鑫 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期453-456,共4页

介绍了基于ZnO压电薄膜的微型弯曲板波(FPW)器件的设计与制作。为减小薄膜的应力,器件采用LTO/ZnO/LTO/Si3N4多层复合板结构,并采用直流磁控溅射工艺制备ZnO压电薄膜,在压电复合板结构上沉积两对叉指电极,分别用于Lamb波的激发和接收。... 介绍了基于ZnO压电薄膜的微型弯曲板波(FPW)器件的设计与制作。为减小薄膜的应力,器件采用LTO/ZnO/LTO/Si3N4多层复合板结构,并采用直流磁控溅射工艺制备ZnO压电薄膜,在压电复合板结构上沉积两对叉指电极,分别用于Lamb波的激发和接收。X射线衍射分析表明,沉积的ZnO薄膜C轴高度择优;扫描电子显微镜分析表明,制备的ZnO薄膜平整、致密,晶粒生长呈现明显的柱状结构;通过分析制备的高次谐波体声波谐振器(HBAR)器件性能来间接检验ZnO压电薄膜的电学性能,HBAR器件的品质因子较高,表明薄膜有较好的压电性能。利用安捷伦E5071C网络分析仪检测FPW器件的频率响应,结果表明反对称A0模式Lamb波的实测中心频率与理论计算的频率结果基本一致。 展开更多

关键词 弯曲板波 ZNO压电薄膜 多层复合板 叉指电极

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稳定的白色SrS:Ce,K,Eu TFEL

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作者 师庆华 《液晶与显示》 CAS CSCD 1991年第2期28-30,共3页

本文报道了一种发白光的 SrS:Ce,K,Eu 薄膜电致发光(TFEL)器件,在超出阈值电压40V,频率为1kHz 的驱动下,亮度可达325cd/m^2,效率为0.151m/W.对以SrS 为基质的 TFEL 器件的亮度一电压衰减特性进行了测量。发现 SrS:Eu

关键词 阈值电压 薄膜电致发光 衰减特性 有源层 透明电极 老化实验 复合发光 发光中心 玻璃衬底 老化时间

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