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利用多层表面微结构提高DOE宽波段衍射效率 被引量:8
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作者 马韬 沈亦兵 杨国光 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第1期119-123,共5页
针对单层衍射光学元件的不足,介绍了一种新型的多层衍射光学元件,通过层叠多个具有不同材料色散特性与相位高度的单层表面微结构,增加元件相位分布函数中的可变因子,实现波段内各波长光波的等效相位调制等于或接近2-的整数倍,双层衍射... 针对单层衍射光学元件的不足,介绍了一种新型的多层衍射光学元件,通过层叠多个具有不同材料色散特性与相位高度的单层表面微结构,增加元件相位分布函数中的可变因子,实现波段内各波长光波的等效相位调制等于或接近2-的整数倍,双层衍射光学元件在0.4~0.8μm可见光波段的理论衍射效率可以达到96%以上。利用双层衍射光学元件替代萤石透镜校正混合光学系统的二级光谱,设计并制作了一套长焦距物镜,并利用系统调制传递函数评价了多层衍射光学元件衍射效率,测试结果表明衍射效率在整个设计波段内以较高的数值平均分布。 展开更多
关键词 多层衍射光学元件 衍射效率 衍射光学 混合光学系统
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