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硅集成电路多层结构螺旋电感的建模和分析
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作者 姜祁峰 李征帆 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期349-351,共3页
使用电磁场方法对硅衬底上的多层结构螺旋电感进行了建模和分析 .与典型的单层螺旋电感比较的结果表明 ,多层螺旋并联可以提高电感的等效厚度从而减小电阻损耗 ;多层螺旋串联则可以在相同面积下提高电感值 ,但由于导体间耦合电容的增大 ... 使用电磁场方法对硅衬底上的多层结构螺旋电感进行了建模和分析 .与典型的单层螺旋电感比较的结果表明 ,多层螺旋并联可以提高电感的等效厚度从而减小电阻损耗 ;多层螺旋串联则可以在相同面积下提高电感值 ,但由于导体间耦合电容的增大 ,最大品质因素 ( Q值 )出现在较低频率 。 展开更多
关键词 螺旋电感 多层螺旋电感 射频集成电路 部分元等效电路
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