期刊文献+
共找到7篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
多层薄膜结构中的热应力分析 被引量:3
1
作者 刘加凯 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第7期994-999,共6页
针对当前无法分析MEMS多层薄膜结构中热应力的现状,通过修正Suhir.E提出的双金属带热应力分布理论,提出了MEMS多层薄膜结构的热应力分布模型,该模型适用于评估MEMS多层结构中热应力分布规律,同时为采取合理措施减小应力提供了理论支持... 针对当前无法分析MEMS多层薄膜结构中热应力的现状,通过修正Suhir.E提出的双金属带热应力分布理论,提出了MEMS多层薄膜结构的热应力分布模型,该模型适用于评估MEMS多层结构中热应力分布规律,同时为采取合理措施减小应力提供了理论支持。在温度载荷作用下,多层薄膜结构中将产生正应力、剪应力和剥离应力的作用,应力变化主要集中在界面端处。其中,正应力分布于各层内,随与中心点距离的增大呈指数减小,在端面处急剧减小至最小值;剪应力和剥离应力则主要分布于各层界面上,随与中心点距离的增大呈指数增大,在界面端处达到最大值。最后,开展了由四种材料(玻璃、铬、铜、镍)组成的多层薄膜结构的热力学仿真分析,验证了所建立解析模型的正确性,以及各应力在多层结构中的分布规律。 展开更多
关键词 MEMS 多层薄膜结构 热应力 温度载荷
在线阅读 下载PDF
基于二维光学相干层析的多层薄膜结构无损定量评价
2
作者 陈丹阳 童俊海 +3 位作者 钟舜聪 张秋坤 林杰文 伏喜斌 《机电工程》 CAS 2017年第8期847-850,共4页
为了实现对多层薄膜结构厚度进行快速准确的测量和无损定量评价,研制了二维光学相干层析(Optical Coherence Tomography,OCT)系统,避免了传统一维OCT系统逐点扫描导致成像效率低下的问题。阐述了去除OCT共轭镜像理论,采用了五步相移干涉... 为了实现对多层薄膜结构厚度进行快速准确的测量和无损定量评价,研制了二维光学相干层析(Optical Coherence Tomography,OCT)系统,避免了传统一维OCT系统逐点扫描导致成像效率低下的问题。阐述了去除OCT共轭镜像理论,采用了五步相移干涉法,具体由压电驱动器驱动参考镜实现,做到了对OCT共轭镜像的去除,避免出现OCT图像的混叠。所研制的OCT系统具有极高的系统分辨率和较好的信噪比,可以实现对手机钢化玻璃薄膜内部四层结构厚度(钢化玻璃、静电胶层1、防爆贴膜和静电胶层2)进行准确测量。实验结果表明:自研制的系统可快速高精度地对多层薄膜结构厚度进行测量,可以推荐使用在多层薄膜的无损定量评价中。 展开更多
关键词 干涉条纹 光学相干 多层薄膜结构 厚度测量
在线阅读 下载PDF
多层薄膜结构气敏效应研究 被引量:5
3
作者 谷丰 张耀华 李民强 《传感技术学报》 CAS CSCD 1991年第2期1-7,共7页
在SnO_2气敏薄膜层上覆盖一层或多层钝化材料(SiO_2,Al_2O_3)薄膜,制成的多层膜气敏元件,可很好地排除大分子气体如乙醇等对小分子H_2检测的干扰,使其具有单独检测H_2的功能。本文还通过测量元件的升温曲线,推导出敏感体表面的氧吸附活... 在SnO_2气敏薄膜层上覆盖一层或多层钝化材料(SiO_2,Al_2O_3)薄膜,制成的多层膜气敏元件,可很好地排除大分子气体如乙醇等对小分子H_2检测的干扰,使其具有单独检测H_2的功能。本文还通过测量元件的升温曲线,推导出敏感体表面的氧吸附活化能;找出活化能与灵敏度、选择性的关系。根据实验现象和物性分析结果,试着探讨了元件的敏感机理。 展开更多
关键词 多层薄膜结构 气敏效应 二氧化锡 氢传感器
全文增补中
Cu基Al掺杂ZnO多层薄膜的生长及其性能 被引量:3
4
作者 王钰萍 吕建国 叶志镇 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期869-873,905,共6页
本文采用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了AZO/Cu、Cu/AZO和AZO/Cu/AZO三种复合结构多层膜,研究了生长温度对多层膜特性的影响,发现AZO/Cu双层薄膜具有最优的光电性能,其最佳生长温度为100~150℃。文中进一步考察了生长温度对AZO/Cu... 本文采用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了AZO/Cu、Cu/AZO和AZO/Cu/AZO三种复合结构多层膜,研究了生长温度对多层膜特性的影响,发现AZO/Cu双层薄膜具有最优的光电性能,其最佳生长温度为100~150℃。文中进一步考察了生长温度对AZO/Cu双层薄膜结构性能和表面形貌的影响,结果表明:合适的生长温度有利于改善AZO/Cu双层薄膜的晶体质量,进而提高其光电性能;150℃下沉积的薄膜具有最佳品质因子1.11×10-2Ω-1,此时方块电阻为8.99Ω/sq,可见光透过率为80%,近红外反射率约70%。本文在较低温度下制备的AZO/Cu双层膜具有较优的透明导电性和良好的近红外反射性,可以广泛应用于镀膜玻璃、太阳能电池、平板显示器等光电领域。 展开更多
关键词 AZO 多层结构薄膜 光电性能 生长温度
在线阅读 下载PDF
Cu基Al掺杂ZnO多层薄膜的生长和性能
5
作者 王钰萍 叶春丽 +3 位作者 吕建国 丛宏林 江忠永 叶志镇 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期684-688,693,共6页
本文采用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了AZO/Cu、Cu/AZO和AZO/Cu/AZO三种复合结构多层膜,研究了生长温度对多层膜特性的影响,发现AZO/Cu双层薄膜具有最优的光电性能,其最佳生长温度为100~150℃。文中进一步考察了生长温度... 本文采用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了AZO/Cu、Cu/AZO和AZO/Cu/AZO三种复合结构多层膜,研究了生长温度对多层膜特性的影响,发现AZO/Cu双层薄膜具有最优的光电性能,其最佳生长温度为100~150℃。文中进一步考察了生长温度对AZO/Cu双层薄膜结构性能和表面形貌的影响,结果表明:合适的生长温度有利于改善AZO/Cu双层薄膜的晶体质量,进而提高其光电性能;150℃下沉积的薄膜具有最佳品质因子1.11×10^-2Ω^-1,此时方块电阻为8.99Ω/sq,可见光透过率为80%,近红外反射率约70%。本文在较低温度下制备的AZO/Cu双层膜具有较优的透明导电性和良好的近红外反射性,可以广泛应用于镀膜玻璃、太阳能电池、平板显示器等光电领域。 展开更多
关键词 AZO 多层结构薄膜 光电性能 生长温度
在线阅读 下载PDF
Microstructures and magnetic properties of [SiO_2/FePt]_5/Ag thin films 被引量:2
6
作者 范九萍 许小红 +2 位作者 江凤仙 田宝强 武海顺 《Journal of Central South University of Technology》 EI 2008年第1期11-14,共4页
[SiO2/FePt]5/Ag thin films were deposited by RF magnetron sputtering on the glass substrates and post annealing at 550 ℃ for 30 min in vacuum. Vibrating sample magnetometer and X-ray diffraction analyser were applied... [SiO2/FePt]5/Ag thin films were deposited by RF magnetron sputtering on the glass substrates and post annealing at 550 ℃ for 30 min in vacuum. Vibrating sample magnetometer and X-ray diffraction analyser were applied to study the magnetic properties and microstructures of the films. The results show that without Ag underlayer [SiO2/FePt]5 films deposited onto the glass are FCC disordered; with the addition of Ag underlayer [SiO]FePt]5/Ag films are changed into L10 and (111) mixed texture. The variation of the SiO2 nonmagnetic layer thickness in [SiO2/FePt]5/Ag films indicates that SiO2-doping plays an important role in improving the order parameter and the perpendicular magnetic anisotropy, and reducing the grain size and intergrain interactions. By controlling SiO2 thickness the highly perpendicular magnetic anisotropy can be obtained in the [SiO2 (0.6 nm)/FePt (3 nm)]5/Ag (50 nm) films and highly (001)-oriented films can be obtained in the [SiO2 (2 nm)/FePt (3 nm)]5/Ag (50 nm) films. 展开更多
关键词 [SiO2/FePt]5 multilayer films SiO2-doping Ag underlayer (001) orientation
在线阅读 下载PDF
Influence of modulated structure on magnetic properties of NdFeB/Co multilayer thin films
7
作者 傅宇东 王诗阳 +2 位作者 朱小硕 方博 闫峰 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第9期3282-3286,共5页
The Nd Fe B/Co multilayer films were prepared by magnetron sputtering. After that, the samples were annealed at 600 ℃ for 20 min. The surface morphology, phase structures and magnetic properties of Mo(50 nm)/[Nd F... The Nd Fe B/Co multilayer films were prepared by magnetron sputtering. After that, the samples were annealed at 600 ℃ for 20 min. The surface morphology, phase structures and magnetic properties of Mo(50 nm)/[Nd Fe B(100 nm)/Co(y)]×10/Mo(50 nm) thin films were researched by AFM, XRD and VSM, respectively. The results show that the films show stronger perpendicular magnetic anisotropy. When the thickness of Co layers is 10 nm, the coercivity Hc⊥ is the maximum, 295 k A/m. However, for y=10-20, the reduced remanence M/Ms of films has increased. When the thickness of Co layers is 20-30 nm, the Nd Fe B/Co multilayer films obtained more superior magnetic properties with M/Ms =0.95. 展开更多
关键词 Nd Fe B/Co film modulated structure perpendicular magnetic anisotropy COERCIVITY reduced remanence
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部