初应力对压电层状结构声表面波传播性能的影响 被引量：9

1

作者 刘华 王铁军 王子昆 《力学学报》 EI CSCD 北大核心 2000年第4期491-496,共6页

研究了压电层状结构中初应力对广义Rayleigh波传播相速度和机电耦合性能的影响，通过求解合初应力的运动微分方程，对自由界面电学开路和短路两种情况得到了相应的相速度方程．给出了具体的数值算例，所得结果对于提高和改善声表面波器... 研究了压电层状结构中初应力对广义Rayleigh波传播相速度和机电耦合性能的影响，通过求解合初应力的运动微分方程，对自由界面电学开路和短路两种情况得到了相应的相速度方程．给出了具体的数值算例，所得结果对于提高和改善声表面波器件性能有参考意义． 展开更多

关键词 初应力 相速度 声表面波器件 压电层状结构 传播

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氮化铝多层膜制备及其声表面波器件性能表征 被引量：1

2

作者 庞华锋 《西安科技大学学报》 CAS 北大核心 2016年第6期899-903,共5页

采用直流磁控溅射方法,在硅衬底与超纳米晶金刚石衬底上沉积生长了氮化铝(0002)择优取向薄膜,研究了不同衬底对氮化铝薄膜应力的影响,并以此氮化铝多层膜为基础通过光刻加工得到声表面波器件,进而对其声学性能进行了分析。结果表明,在... 采用直流磁控溅射方法,在硅衬底与超纳米晶金刚石衬底上沉积生长了氮化铝(0002)择优取向薄膜,研究了不同衬底对氮化铝薄膜应力的影响,并以此氮化铝多层膜为基础通过光刻加工得到声表面波器件,进而对其声学性能进行了分析。结果表明,在硅基底上沉积的氮化铝薄膜存在压应力,而在超纳米晶金刚石薄膜上生长的氮化铝薄膜表现出拉应力,这可能是因为界面应力平衡诱导产生的结果。氮化铝多层膜声表面波器件表现出较强的共振信号,硅衬底上声表面波器件的频率温度系数为-38 ppm/℃,超纳米晶金刚石夹层的引入可有效改善器件的温度稳定性使频率温度系数减小到-28 ppm/℃,同时也显著地提高了机电耦合系数约达0.3%. 展开更多

关键词 氮化铝多层膜 微观结构 声表面波器件 温度稳定性

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多层微结构声表面波温补滤波器仿真设计 被引量：2

3

作者 刘晓智 董加和 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2017年第3期408-412,共5页

声表面波滤波器(SAWF)工作频率在宽温度范围内高度稳定是电子系统频谱控制的关键。已成为当前SAWF发展的主要技术方向。该文提出了基于多层微结构压电材料的的SAWF温度补偿技术方案,实现了基于钽酸锂(LT)压电基片上的温度补偿SAWF设计... 声表面波滤波器(SAWF)工作频率在宽温度范围内高度稳定是电子系统频谱控制的关键。已成为当前SAWF发展的主要技术方向。该文提出了基于多层微结构压电材料的的SAWF温度补偿技术方案,实现了基于钽酸锂(LT)压电基片上的温度补偿SAWF设计、仿真,并获得了满意的实验结果。基于LT/Si复合片法实现的SAWF频率温度系数在全温范围(-55^+85℃)内达到25×10^(-6)/℃;基于SiO_2/LT薄膜补偿法实现的SAWF频率温度系数在全温范围(-55^+85℃)内小于10×10^(-6)/℃。研制的温度补偿声表面波滤波器(TC-SAWF)达到要求,已在系统中得到应用。 展开更多

关键词 声表面波 温补滤波器 多层微结构

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多层结构声表面波滤波器的研究进展

4

作者 李健雄 杨成韬 +1 位作者 王锐 张树人 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期12-15,共4页

无线通讯系统向高频率、高可靠性的发展要求声表面波滤波器(SAWF)同时具备高声速、高机电耦合系数、低插入损耗、高温度稳定性,而多层结构SAWF能够满足这些要求,因此多层结构SAWF近年来引起了人们极大的关注,并取得了较大的进展。简述了... 无线通讯系统向高频率、高可靠性的发展要求声表面波滤波器(SAWF)同时具备高声速、高机电耦合系数、低插入损耗、高温度稳定性,而多层结构SAWF能够满足这些要求,因此多层结构SAWF近年来引起了人们极大的关注,并取得了较大的进展。简述了SAWF的基本结构和原理,回顾了近年来多层结构SAWF的研究进展,包括理论研究和实验研究,展望了其今后的发展趋势。 展开更多

关键词 多层结构 声表面波滤波器 压电薄膜 金刚石

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基于电活性高分子声表面波CO气体传感器研究 被引量：2

5

作者 张朋 陈明 +1 位作者 何鹏举 马戎 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第5期709-712,716,共5页

为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,对基于聚苯胺敏感膜的多层结构声表面波气体传感器进行了试验与理论研究,并推导了声表面波气体传感器的敏感作用公式。传感器采用声表面波双通道带延迟线的谐振器结构,将电活性... 为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,对基于聚苯胺敏感膜的多层结构声表面波气体传感器进行了试验与理论研究,并推导了声表面波气体传感器的敏感作用公式。传感器采用声表面波双通道带延迟线的谐振器结构,将电活性高分子CO气体敏感材料(掺杂有In2O3的聚苯胺)覆盖在一条延迟线路上形成敏感膜(0.5～1.2μm)。将此声表面波CO气体传感器放在CO气体中在-40～+85℃范围内进行测试实验,实验结果显示,该声表面波CO传感器的敏感性好,敏感速度和恢复速度快,精度高。 展开更多

关键词 声表面波CO气体传感器 电活性高分子 聚苯胺 多层结构声表面波器件

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基于LN/LT-POI多层结构的SAW器件发展 被引量：5

6

作者 何杰 马晋毅 +1 位作者 胡少勤 许昕 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第6期864-870,874,共8页

绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI)为研制高性能、可集成的声表面波(SAW)器件提供了新的解决途径和方案,可满足射频(RF)前端在集成化、小型化发展趋势下对新一代压电声学器件的需求。该文介绍了POI的制备工艺技术。总结了基于铌酸锂/... 绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI)为研制高性能、可集成的声表面波(SAW)器件提供了新的解决途径和方案,可满足射频(RF)前端在集成化、小型化发展趋势下对新一代压电声学器件的需求。该文介绍了POI的制备工艺技术。总结了基于铌酸锂/钽酸锂-POI(LN/LT-POI)多层结构的高性能SAW器件的最新研究成果,并展望了其未来的发展。 展开更多

关键词 绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI) 声表面波(SAW)器件 5G无线通信 射频前端 键合剥离

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用于无线测温系统的声表面波反射型延迟线的耦合模精确仿真

7

作者 王文 薛蓄峰 《声学技术》 CSCD 2013年第S1期173-174,共2页

0引言声表面波(SAW)反射型延迟线以其无源、抗干扰能力强、较长的反射时延而广泛应用于无线传感器之中,表现出良好的应用前景[1]。德国弗赖堡大学及奥地利CTR公司相继开展了采用这种器件结构的SAW无线测温系统的研究[2-3],该传感器结构... 0引言声表面波(SAW)反射型延迟线以其无源、抗干扰能力强、较长的反射时延而广泛应用于无线传感器之中,表现出良好的应用前景[1]。德国弗赖堡大学及奥地利CTR公司相继开展了采用这种器件结构的SAW无线测温系统的研究[2-3],该传感器结构可以轻易实现多功能集成,通过评价传播时延相位变化来实现对外围扰动的传感检测。 展开更多

关键词 声表面波 反射型 耦合模理论 无线测温 传播时延 测温系统 弗赖堡 传感检测 精确仿真 器件结构

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Love模声表面波传感器特性研究

8

作者 金嘉未 陈晨 孔梅 《科技创新与应用》 2021年第6期23-25,共3页

文章利用有限元软件设计出Love模声表面传感器。采用三维有限元方法模拟了声表面波在IDT/ZnO/SiO2/金刚石和IDT/AlN/SiO2/金刚石结构的传播特性。通过模态分析证明传感器激励的声表面波是乐甫波;通过对两种结构乐甫波的相速度,机电耦合... 文章利用有限元软件设计出Love模声表面传感器。采用三维有限元方法模拟了声表面波在IDT/ZnO/SiO2/金刚石和IDT/AlN/SiO2/金刚石结构的传播特性。通过模态分析证明传感器激励的声表面波是乐甫波;通过对两种结构乐甫波的相速度,机电耦合系数和频率温度系数分析,设计出了两种结构的最优参数。文章创新性的将金刚石作为器件衬底,并在压电薄膜和金刚石衬底之间引入SiO2层,器件的温度特性得到了极大的改善,且伴随有高的机电耦合系数,为Love模SAW在液体高灵敏度传感器中的应用打下基础。 展开更多

关键词 声表面波 金刚石 多层膜结构 乐甫波 有限元 压电薄膜

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基于ZnO/Al_(2)O_(3)缓冲层制备耐高温SAW器件电极

9

作者 李海鸥 刘晶晶 +3 位作者 彭斌 王博文 刘兴鹏 郭磊 《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第3期365-369,共5页

为了声表面波(SAW)器件能在高温环境(不小于1000℃)中工作,该文设计并在La_(3)Ga_(5)SiO_(14)压电衬底上制作Pt/ZnO/Al_(2)O_(3)多层复合薄膜电极,利用ZnO/Al_(2)O_(3)组合缓冲层增强了Pt薄膜电极在极端高温条件下的导电稳定性。制备的... 为了声表面波(SAW)器件能在高温环境(不小于1000℃)中工作,该文设计并在La_(3)Ga_(5)SiO_(14)压电衬底上制作Pt/ZnO/Al_(2)O_(3)多层复合薄膜电极,利用ZnO/Al_(2)O_(3)组合缓冲层增强了Pt薄膜电极在极端高温条件下的导电稳定性。制备的SAW器件在经历3次1000℃高温热处理后仍保持稳定的回波损耗系数S_(11)。实验结果表明,ZnO/Al_(2)O_(3)组合缓冲层结构在提高SAW器件电极高温导电稳定性方面具有一定的潜在应用价值。 展开更多

关键词 高温 缓冲层 电极稳定性 声表面波器件 压电衬底

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通信技术发展对SAW器件提出新要求:高性能、多功能、小体积

10

作者 建宁 《世界电子元器件》 1999年第6期23-25,共3页

随着多媒体终端进入通信网络,数字蜂窝电话和其他各种移动通信设备正在日益普及,随着这些设备日益广泛流行,用户要求它们更小、更廉并具有更多的功能。目前,便携式电话的SAW(声表面波)滤波器是SAW器件应用增长最快的领域,为了满足这些要... 随着多媒体终端进入通信网络,数字蜂窝电话和其他各种移动通信设备正在日益普及,随着这些设备日益广泛流行,用户要求它们更小、更廉并具有更多的功能。目前,便携式电话的SAW(声表面波)滤波器是SAW器件应用增长最快的领域,为了满足这些要求,研究开发人员对作为移动通信设备重要部件的声表面波滤波器已进行了改进。 SAW滤波器基本特征及种类 SAW滤波器利用SAW的特性来选择频率,具有极高的频率精度。SAW滤波器具有小而薄的优点。由于SAW的速度为3～5Km/s,因此它可制作得很小; 展开更多

关键词 SAW 声表面波器件 通信技术 结构

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提高红膜刻图机精度的方案探讨

11

作者 陆志明 《雷达与对抗》 1998年第4期49-54,共6页

针对国内红膜刻图机的现状，经过结构分析和精度分析，提出了设计新型高精度红膜刻图机的方案。

关键词 红膜刻图 精度 结构 声表面波器件

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