一种IDT/(002)ZnO/SiO_(2)/Si多层结构的声表面波器件 被引量：1

1

作者 朱敏 刘智荣 +2 位作者 包文歧 徐才华 谢立强 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第10期1360-1365,共6页

以IDT/(002)ZnO/SiO_(2)/Si多层结构的声表面波器件为研究对象,通过有限元软件对单对叉指的三维结构进行有限元仿真,得到了不同的ZnO膜厚对SAW器件所激发瑞利波的相速度、机电耦合系数的影响规律,以及SiO_(2)膜厚与SAW器件频率温度系数... 以IDT/(002)ZnO/SiO_(2)/Si多层结构的声表面波器件为研究对象,通过有限元软件对单对叉指的三维结构进行有限元仿真,得到了不同的ZnO膜厚对SAW器件所激发瑞利波的相速度、机电耦合系数的影响规律,以及SiO_(2)膜厚与SAW器件频率温度系数之间的关系。采用热氧化、射频磁控溅射以及光刻工艺在Si衬底上分别制备SiO_(2)膜、ZnO膜和IDT,制备了三组不同ZnO膜厚的延迟线型SAW器件。通过X射线衍射仪对制备的ZnO薄膜进行检测,结果表明ZnO薄膜具有良好的(002)晶体取向以及良好的结晶质量。采用矢量网络分析仪对所制作SAW器件进行了测试,得到了器件的传输曲线,实验结果与有限元仿真结果具有较好的一致性。 展开更多

关键词 声表面波 有限元仿真 多层结构 ZNO薄膜 SiO_(2)薄膜

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声表面波器件用SiO_2/ZnO/金刚石/Si多层结构制备 被引量：1

2

作者 陈良贤 刘金龙 +4 位作者 闫雄伯 邵明阳 安康 魏俊俊 李成明 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2019年第2期1-7,共7页

为获得高频、高性能金刚石声表面波器件的多层结构,在金刚石/Si衬底使用磁控溅射方法优化ZnO与SiO_2薄膜沉积工艺参数,制备了具有正负温度系数组合的SiO_2/ZnO/金刚石/Si多层结构,并对多层结构进行表征。结果表明:随着氩氧比增加,ZnO薄... 为获得高频、高性能金刚石声表面波器件的多层结构,在金刚石/Si衬底使用磁控溅射方法优化ZnO与SiO_2薄膜沉积工艺参数,制备了具有正负温度系数组合的SiO_2/ZnO/金刚石/Si多层结构,并对多层结构进行表征。结果表明:随着氩氧比增加,ZnO薄膜的沉积速率不断加快,薄膜的表面粗糙度不断增大;ZnO薄膜中的原子摩尔分数比随O_2输入量的减少而逐渐接近理想的1∶1。不同氩氧比下制备的ZnO薄膜均呈(002)面择优取向生长,其中在氩氧比7∶1时,获得了具有细小柱状晶特征、C轴择优取向程度较高的ZnO薄膜。采用最优的ZnO和SiO_2薄膜沉积工艺,在金刚石/Si衬底获得了具有清晰界面的SiO_2/ZnO/金刚石/Si多层结构。 展开更多

关键词 金刚石膜 磁控溅射 SiO2/ZnO/金刚石/硅多层结构 声表面波器件

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初应力对压电层状结构声表面波传播性能的影响 被引量：9

3

作者 刘华 王铁军 王子昆 《力学学报》 EI CSCD 北大核心 2000年第4期491-496,共6页

研究了压电层状结构中初应力对广义Rayleigh波传播相速度和机电耦合性能的影响，通过求解合初应力的运动微分方程，对自由界面电学开路和短路两种情况得到了相应的相速度方程．给出了具体的数值算例，所得结果对于提高和改善声表面波器... 研究了压电层状结构中初应力对广义Rayleigh波传播相速度和机电耦合性能的影响，通过求解合初应力的运动微分方程，对自由界面电学开路和短路两种情况得到了相应的相速度方程．给出了具体的数值算例，所得结果对于提高和改善声表面波器件性能有参考意义． 展开更多

关键词 初应力 相速度 声表面波器件 压电层状结构 传播

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氮化铝多层膜制备及其声表面波器件性能表征 被引量：1

4

作者 庞华锋 《西安科技大学学报》 CAS 北大核心 2016年第6期899-903,共5页

采用直流磁控溅射方法,在硅衬底与超纳米晶金刚石衬底上沉积生长了氮化铝(0002)择优取向薄膜,研究了不同衬底对氮化铝薄膜应力的影响,并以此氮化铝多层膜为基础通过光刻加工得到声表面波器件,进而对其声学性能进行了分析。结果表明,在... 采用直流磁控溅射方法,在硅衬底与超纳米晶金刚石衬底上沉积生长了氮化铝(0002)择优取向薄膜,研究了不同衬底对氮化铝薄膜应力的影响,并以此氮化铝多层膜为基础通过光刻加工得到声表面波器件,进而对其声学性能进行了分析。结果表明,在硅基底上沉积的氮化铝薄膜存在压应力,而在超纳米晶金刚石薄膜上生长的氮化铝薄膜表现出拉应力,这可能是因为界面应力平衡诱导产生的结果。氮化铝多层膜声表面波器件表现出较强的共振信号,硅衬底上声表面波器件的频率温度系数为-38 ppm/℃,超纳米晶金刚石夹层的引入可有效改善器件的温度稳定性使频率温度系数减小到-28 ppm/℃,同时也显著地提高了机电耦合系数约达0.3%. 展开更多

关键词 氮化铝多层膜 微观结构 声表面波器件 温度稳定性

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多层微结构声表面波温补滤波器仿真设计 被引量：2

5

作者 刘晓智 董加和 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2017年第3期408-412,共5页

声表面波滤波器(SAWF)工作频率在宽温度范围内高度稳定是电子系统频谱控制的关键。已成为当前SAWF发展的主要技术方向。该文提出了基于多层微结构压电材料的的SAWF温度补偿技术方案,实现了基于钽酸锂(LT)压电基片上的温度补偿SAWF设计... 声表面波滤波器(SAWF)工作频率在宽温度范围内高度稳定是电子系统频谱控制的关键。已成为当前SAWF发展的主要技术方向。该文提出了基于多层微结构压电材料的的SAWF温度补偿技术方案,实现了基于钽酸锂(LT)压电基片上的温度补偿SAWF设计、仿真,并获得了满意的实验结果。基于LT/Si复合片法实现的SAWF频率温度系数在全温范围(-55^+85℃)内达到25×10^(-6)/℃;基于SiO_2/LT薄膜补偿法实现的SAWF频率温度系数在全温范围(-55^+85℃)内小于10×10^(-6)/℃。研制的温度补偿声表面波滤波器(TC-SAWF)达到要求,已在系统中得到应用。 展开更多

关键词 声表面波 温补滤波器 多层微结构

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多层结构声表面波滤波器的研究进展

6

作者 李健雄 杨成韬 +1 位作者 王锐 张树人 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期12-15,共4页

无线通讯系统向高频率、高可靠性的发展要求声表面波滤波器(SAWF)同时具备高声速、高机电耦合系数、低插入损耗、高温度稳定性,而多层结构SAWF能够满足这些要求,因此多层结构SAWF近年来引起了人们极大的关注,并取得了较大的进展。简述了... 无线通讯系统向高频率、高可靠性的发展要求声表面波滤波器(SAWF)同时具备高声速、高机电耦合系数、低插入损耗、高温度稳定性,而多层结构SAWF能够满足这些要求,因此多层结构SAWF近年来引起了人们极大的关注,并取得了较大的进展。简述了SAWF的基本结构和原理,回顾了近年来多层结构SAWF的研究进展,包括理论研究和实验研究,展望了其今后的发展趋势。 展开更多

关键词 多层结构 声表面波滤波器 压电薄膜 金刚石

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AIN/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性研究

7

作者 陈岗 《湖南师范大学自然科学学报》 CAS 1991年第3期227-231,共5页

本文对A1N/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性进行了研究。得到此层结构在较小的A1N膜厚时,不但具有延时温度系数(TCD)为零的特性;而且,在零TCD时,有高的机电耦合系数(k)及良好的频响特性。

关键词 层结构 声表面波 延时温度系数

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声表面波器件用Y36°切LiTaO_3晶片表面加工研究 被引量：14

8

作者 夏宗仁 李春忠 崔坤 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期419-421,共3页

采用双晶摆动曲线法测量了钽酸锂晶片的加工损伤层 ,其平均值在 2 6 .2～ 5 2 .8μm之间 ;根据工序要求 ,选取加工余量为 15 0 μm左右 ,采用天然石榴石研磨粉 ,适当的磨料浓度、添加悬浮剂、分散剂以避免产生缺陷 ,并采用化学机械抛光... 采用双晶摆动曲线法测量了钽酸锂晶片的加工损伤层 ,其平均值在 2 6 .2～ 5 2 .8μm之间 ;根据工序要求 ,选取加工余量为 15 0 μm左右 ,采用天然石榴石研磨粉 ,适当的磨料浓度、添加悬浮剂、分散剂以避免产生缺陷 ,并采用化学机械抛光法 ,可获得较高加工质量的声表面波器件用Y36°切LiTaO3 展开更多

关键词 LITAO3晶体 损伤层 Beiliby层 声表面波器件 锂酸锂晶片 表面加工 终端机

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基于电活性高分子声表面波CO气体传感器研究 被引量：2

9

作者 张朋 陈明 +1 位作者 何鹏举 马戎 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第5期709-712,716,共5页

为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,对基于聚苯胺敏感膜的多层结构声表面波气体传感器进行了试验与理论研究,并推导了声表面波气体传感器的敏感作用公式。传感器采用声表面波双通道带延迟线的谐振器结构,将电活性... 为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,对基于聚苯胺敏感膜的多层结构声表面波气体传感器进行了试验与理论研究,并推导了声表面波气体传感器的敏感作用公式。传感器采用声表面波双通道带延迟线的谐振器结构,将电活性高分子CO气体敏感材料(掺杂有In2O3的聚苯胺)覆盖在一条延迟线路上形成敏感膜(0.5～1.2μm)。将此声表面波CO气体传感器放在CO气体中在-40～+85℃范围内进行测试实验,实验结果显示,该声表面波CO传感器的敏感性好,敏感速度和恢复速度快,精度高。 展开更多

关键词 声表面波CO气体传感器 电活性高分子 聚苯胺 多层结构声表面波器件

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ZnO/IDT/SiO_2结构声表面波传感器仿真和分析

10

作者 梅红芳 《科学技术与工程》 2011年第21期5029-5033,5038,共6页

针对现有声表面波理论模型难以分析多层结构声表面波传感器器件的缺点,利用周期性介质的矩阵本征算子模型,成功对ZnO/IDT/SiO2多层结构中IDT电极的机械特性对装置性能的影响进行了建模。基于此模型,仿真和分析了此结构装置的波传播速度... 针对现有声表面波理论模型难以分析多层结构声表面波传感器器件的缺点,利用周期性介质的矩阵本征算子模型,成功对ZnO/IDT/SiO2多层结构中IDT电极的机械特性对装置性能的影响进行了建模。基于此模型,仿真和分析了此结构装置的波传播速度、机械耦合系数等参数与波导层厚度以及电极厚度的关系。并将仿真结果得到的装置传输频率响应与试验结果进行比较,二者基本一致。 展开更多

关键词 ZnO/IDT/SiO2 声表面波传感器 矩阵本征算子 多层声表面波器件

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基于LN/LT-POI多层结构的SAW器件发展 被引量：5

11

作者 何杰 马晋毅 +1 位作者 胡少勤 许昕 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第6期864-870,874,共8页

绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI)为研制高性能、可集成的声表面波(SAW)器件提供了新的解决途径和方案,可满足射频(RF)前端在集成化、小型化发展趋势下对新一代压电声学器件的需求。该文介绍了POI的制备工艺技术。总结了基于铌酸锂/... 绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI)为研制高性能、可集成的声表面波(SAW)器件提供了新的解决途径和方案,可满足射频(RF)前端在集成化、小型化发展趋势下对新一代压电声学器件的需求。该文介绍了POI的制备工艺技术。总结了基于铌酸锂/钽酸锂-POI(LN/LT-POI)多层结构的高性能SAW器件的最新研究成果,并展望了其未来的发展。 展开更多

关键词 绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI) 声表面波(SAW)器件 5G无线通信 射频前端 键合剥离

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用于无线测温系统的声表面波反射型延迟线的耦合模精确仿真

12

作者 王文 薛蓄峰 《声学技术》 CSCD 2013年第S1期173-174,共2页

0引言声表面波(SAW)反射型延迟线以其无源、抗干扰能力强、较长的反射时延而广泛应用于无线传感器之中,表现出良好的应用前景[1]。德国弗赖堡大学及奥地利CTR公司相继开展了采用这种器件结构的SAW无线测温系统的研究[2-3],该传感器结构... 0引言声表面波(SAW)反射型延迟线以其无源、抗干扰能力强、较长的反射时延而广泛应用于无线传感器之中,表现出良好的应用前景[1]。德国弗赖堡大学及奥地利CTR公司相继开展了采用这种器件结构的SAW无线测温系统的研究[2-3],该传感器结构可以轻易实现多功能集成,通过评价传播时延相位变化来实现对外围扰动的传感检测。 展开更多

关键词 声表面波 反射型 耦合模理论 无线测温 传播时延 测温系统 弗赖堡 传感检测 精确仿真 器件结构

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跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究 被引量：2

13

作者 李志鹏 孟旭 +1 位作者 王博男 张超 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第3期32-35,共4页

利用COMSOL有限元软件建立了复合膜声表面波(SAW)器件结构,并将通常使用的平面叉指换能器(IDT)更新为跨层布局形式。通过COMSOL软件对新结构进行了模态分析与频率响应分析,计算了机电耦合系数,研究了异性电极间距与同性电极间距的改变... 利用COMSOL有限元软件建立了复合膜声表面波(SAW)器件结构,并将通常使用的平面叉指换能器(IDT)更新为跨层布局形式。通过COMSOL软件对新结构进行了模态分析与频率响应分析,计算了机电耦合系数,研究了异性电极间距与同性电极间距的改变对复合膜SAW器件产生的影响。结果表明:跨层IDT布局形式,可以在现有制备条件与水平不变的前提下,大幅度降低器件尺寸,提高特征频率。 展开更多

关键词 声表面波 复合膜结构 叉指换能器 跨层布局 COMSOL软件

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基于ZnO/Al_(2)O_(3)缓冲层制备耐高温SAW器件电极

14

作者 李海鸥 刘晶晶 +3 位作者 彭斌 王博文 刘兴鹏 郭磊 《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第3期365-369,共5页

为了声表面波(SAW)器件能在高温环境(不小于1000℃)中工作,该文设计并在La_(3)Ga_(5)SiO_(14)压电衬底上制作Pt/ZnO/Al_(2)O_(3)多层复合薄膜电极,利用ZnO/Al_(2)O_(3)组合缓冲层增强了Pt薄膜电极在极端高温条件下的导电稳定性。制备的... 为了声表面波(SAW)器件能在高温环境(不小于1000℃)中工作,该文设计并在La_(3)Ga_(5)SiO_(14)压电衬底上制作Pt/ZnO/Al_(2)O_(3)多层复合薄膜电极,利用ZnO/Al_(2)O_(3)组合缓冲层增强了Pt薄膜电极在极端高温条件下的导电稳定性。制备的SAW器件在经历3次1000℃高温热处理后仍保持稳定的回波损耗系数S_(11)。实验结果表明,ZnO/Al_(2)O_(3)组合缓冲层结构在提高SAW器件电极高温导电稳定性方面具有一定的潜在应用价值。 展开更多

关键词 高温 缓冲层 电极稳定性 声表面波器件 压电衬底

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多层SAW器件叉指换能器错层布局研究

15

作者 李志鹏 孟旭 +1 位作者 王博男 张超 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第2期14-16,20,共4页

利用COMSOL软件建立了采用平层叉指换能器(IDT)布局及错层IDT布局的两种多层声表面波(SAW)器件模型,通过有限元法分别计算了两种模型在不同的薄膜层厚度、电极间距条件下的特征频率、机电耦合系数以及导纳比,并将这些结果进行了对比分... 利用COMSOL软件建立了采用平层叉指换能器(IDT)布局及错层IDT布局的两种多层声表面波(SAW)器件模型,通过有限元法分别计算了两种模型在不同的薄膜层厚度、电极间距条件下的特征频率、机电耦合系数以及导纳比,并将这些结果进行了对比分析。结果表明:采用错层IDT布局的多层SAW器件在保证器件性能的条件下,结构尺寸可以缩小一倍,同时也降低了继续提高多层SAW器件特征频率的难度。 展开更多

关键词 声表面波 多层结构 叉指换能器 错层布局

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深化改革增活力 逆水行舟求发展——景华电子有限责任公司的调查

16

作者 肖争鸣 《求实》 CSSCI 1997年第9期43-45,共3页

深化改革增活力逆水行舟求发展———景华电子有限责任公司的调查●肖争鸣在建立社会主义市场经济体制过程中，如何搞好搞活大中型国有企业，这是当前我国面临的一个事关全局的迫切需要解决的重大问题。最近，根据省委组织部和省委党校... 深化改革增活力逆水行舟求发展———景华电子有限责任公司的调查●肖争鸣在建立社会主义市场经济体制过程中，如何搞好搞活大中型国有企业，这是当前我国面临的一个事关全局的迫切需要解决的重大问题。最近，根据省委组织部和省委党校的安排，我带着这个问题随组到景德镇... 展开更多

关键词 深化改革 有限责任公司 求发展 大中型国有企业 知识分子 电子陶瓷 后勤服务社会化 微调电容器 声表面波器件 优化产品结构

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